Mikro-Nano-Integration (GMM-FB 63)

GMM

Mikro-Nano-Integration (GMM-FB 63)

Beiträge des 2. GMM-Workshops 3. - 4. März 2010 in Erfurt

GMM-Fachbericht Band 63

2010, CD-ROM, Jewelcase,
ISBN 978-3-8007-3216-6
Rebate

Contents

Dass der Mikro-Nano-Integration eine bedeutende Rolle zukommt, wurde auch auf dem Mikrosystemtechnik-Kongress in Berlin 2009 deutlich. Im Januar 2010 wird das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) die Bekanntmachung "Mikro-Nano-Integration als Schlüsseltechnologie für die nächste Generation von Sensoren und Aktoren" veröffentlichen. Der Workshop bietet eine einmalige Gelegenheit, aktuelle Forschungsergebnisse zur Mikro-Nano-Integration kennen zu lernen und mit den Wissenschaftlern zu diskutieren. Die Kombination kurzer Vorträge mit folgender Diskussion am Poster unterstreicht den Workshop-Charakter. Ergänzende Übersichtsvorträge aus Wissenschaft, Wirtschaft und Politik geben vertiefte Einblicke zu spezifischen Themen.

 

This conference proceeding contains the following papers, purchasable as PDF download with payment via credit card:
Search Conference Papers
1

Hochtemperaturtaugliche Chip-Substrat-Kontaktierung opto-elektronischer Bauelemente mittels Fineplacer-Verbindungstechnik (FpV)

Authors:
Kähler, Julian; Stranz, Andrej; Heuck, Nicolas; Fündling, Sönke; Palm, Gerhard; Waag, Andreas; Peiner, Erwin
2

Selbst ausbreitende exotherme Reaktionen als interne Wärmequelle für die Aufbau- und Verbindungstechnik von Mikrosystemen

Authors:
Bräuer, Jörg; Wiemer, Maik; Gessner, Thomas; Böttge, Bianca; Petzold, Matthias
3

Drucken von mikro- und nanoskaligen Funktionsschichten auf Thermoplasten zur Erhöhung der Integration mikrosystemtechnischer Packages

Authors:
Eberhardt, W.; Keck, J.; Willeck, H.; Polzinger, B.; Kück, H.
4

Nanochemisches legieren von Zinn-Basis-Loten

Authors:
Zerrer, Patrick; Fix, Andreas
5

Nanoporöse Goldkontakte für das Niedertemperaturbonden

Authors:
Oppermann, Hermann; Dietrich, Lothar; Klein, Matthias
6

CNTs - a Comparable Study of CNT-filled Adhesives with Common Materials

Authors:
Heimann, Matthias; Boehme, Bjoern; Scheffler, Sebastian; Wirts-Ruetters, Martin; Wolter, Klaus-Juergen
7

Bondverfahren für Selbstjustierung und Mehrfachbonden basierend auf nasschemisch präparierten Si-Oberflächen

Authors:
Jonnalagadda, P.; Mescheder, U.; Kovacs, A.; Nimo, A.
8

AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIE

Authors:
Sökmen, Ü.; Waag, A.; Ababneh, A.; Seidel, H.; Schmid, U.; Peiner, E.
9

"Glas Gras" in Kieselglas für neue Integrationsmöglichkeiten in MEMS, MOEMS und BIOMEMS

Authors:
Lilienthal, Katharina; Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Schober, Andreas
10

Zwei-Photonen-Polymerisation zur Herstellung von polymeren dreidimensionalen Zellträgerstrukturen

Authors:
Weiß, T.; Hildebrand, G.; Schade, R.; Berg, A.; Schnabelrauch, M.; Liefeith, K.
11

Untersuchung zur selbst-organisierten Nanomaskierung in zyklischen Tiefenätzprozessen für die reproduzierbare Erzeugung von nanostrukturiertem Silicium

Authors:
Kremin, Christoph; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin
12

Nasschemisches Ätzen von nahezu beliebigen 3D-Strukturen in Silizium

Authors:
Ivanov, Alexey; Kovacs, Andras; Mescheder, Ulrich
13

Nanostrukturierte Systemfenster aus porösem Silizium für MIR

Authors:
Frank, Th.; Will, M.; Long, L.
14

Automatisierte nanorobotische Mikro-Nano-Integration zur Herstellung prototypischer Mikrosysteme mit Nanostrukturen

Authors:
Eichhorn, V.; Jasper, D.; Dahmen, C.; Fatikow, S.
15

Contactless Handling and Precision Positioning of Smallest Components for Assembly of Microelectronics

Authors:
Braun, T.; Bauer, J.; Becker, K.-F.; Kahle, R.; Jung, E.; Koch, M.; Mollath, G.; Aschenbrenner, R.; Reichl, H.
16

Biologische und physikalische Oberflächenprogrammierung für die Selbstassemblierung von kleinen Objekten

Authors:
Alberti, Martin; Yacoub-George, Erwin; Landesberger, Christof; Scherbaum, Sabine; Hell, Waltraud; Bock, Karlheinz
17

Nanopositionier- und Nanomessmaschinen - universelle skalenübergreifende Werkzeuge für die Mikro-Nano-Integration

Authors:
Manske, Eberhard; Theska, René; Schott, Walter
18

Numerische Analyse der Spannungsrelaxation nanostrukturierter siliziumbasierter optischer Wellenleiter zur Erzeugung nicht-linearer optischer Effekte

Authors:
Naumann, Falk; Schriever, Clemens; Schilling, Jörg
19

Hochauflösende Metrologie für die Mikro-Nanointegration

Authors:
Krause, Michael; Klengel, Robert; Cismak, Andreas; Petzold, Matthias; Altmann, Frank
20

Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten

Authors:
Mescheder, U. M.; Jonnalagadda, P.; Kovacs, A.; Meng, X.
21

Statische und dynamische Prüfung von Silizium-Nano-Klettverschlüssen

Authors:
Stubenrauch, Mike; Schwandt, Morris; Kremin, Christoph; Hecht, Siegmar; Hoffmann, Martin
22

Messung von thermoelektrischen Eigenschaften an Silizium-basierten Nanosäulen

Authors:
Stranz, A.; Sökmen, Ü.; Kähler, J.; Peiner, E.; Waag, A.
23

Hochgenaue Positionsbestimmung und Topologievermessung

Authors:
Petter, Jürgen; Nicolaus, Ralf; Wienke, Olaf
24

Facilitating Innovation in Advanced Multimaterial Micro and Nanotechnologies

Authors:
Obermaier, Georg
25

Richtungsselektive strukturierte Photodioden für Anwendungen in der Fluoreszenzsensorik

Authors:
Will, Matthias; Brodersen, Olaf; Hechler, Stefan; Kley, Ernst-Bernhard
26

Neuartige Zahnsensoren auf GMR-Basis für anspruchsvolle Winkel- und Längenmessaufgaben

Authors:
Slatter, Rolf; Buss, René
27

Großflächige Integration von ZnO-Nanopartikel-Transistoren

Authors:
Wolff, Karsten; Hilleringmann, Ulrich; Hilleringmann, Ulrich
28

Aluminiumnitrid Dünnschicht-Membranen - Nanokristalline Materialstruktur als Basis hoher mechanischer Stabilität

Authors:
Polster, T.; Hoffmann, M.
29

Einsatz von nanokristallinem Aluminiumnitrid (AlN) in mikrosystemtechnischen Aktorkonzepten

Authors:
Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Pätz, Daniel; Hoffmann, Martin
30

Direct UV-nanoimprint of polymer microring resonators as optical transducers

Authors:
Kirchner, Robert; Kirchner, Robert; Landgraf, René; Landgraf, René; Bertram, Marion; Fischer, Wolf-Joachim; Fischer, Wolf-Joachim
31

Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik

Authors:
Quednau, S.; Greiner, F.; Schlaak, H. F.; Rauber, M.; Rauber, M.; Neumann, R.; Ensinger, W.
32

Biomembran-Brennstoffzelle auf Basis modifizierter Kohlenstoff Nanoröhrchen

Authors:
Bogner, M.; Schnaithmann, M.; Sägebarth, J.; Sandmaier, H.
33

Nanoaktoren auf Basis metallischer Schichtsysteme

Authors:
Hartbaum, Julian; Jakobs, Peter; Kohl, Manfred
34

Mikroelektroden - Theorie und Praxis

Authors:
Pliquett, Uwe; Nacke, Thomas; Barthel, Andreas; Frense, Dieter; Beckmann, Dieter
35

Mikrosysteme für die Medizintechnik und Biotechnologie - durch Nanoliter zur optimierten Kryokonservierung

Authors:
Wiedemeier, Stefan; Grodrian, A.; Meiser, I.; Katsen-Globa, A.; Mettler, E.; Weber, M. M.; David, K.; Zimmermann, H.; Metze, J.
36

Nanopartikel-Lithografie: eine kostengünstige Methode zur großflächigen Integration von Nanostrukturen in Mikrosystemen

Authors:
Burkhardt, Claus; Fuchsberger, Kai; Heusel, Gerhard; Schröppel, Birgit; Stelzle, Martin; Stett, Alfred

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