GMM

Mikro-Nano-Integration (GMM-FB 63)

Beiträge des 2. GMM-Workshops 3. - 4. März 2010 in Erfurt

GMM-Fachbericht Band 63

2010, CD-ROM, Jewelcase,
ISBN 978-3-8007-3216-6
Rebate

105.00 €

CD-ROM

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Dass der Mikro-Nano-Integration eine bedeutende Rolle zukommt, wurde auch auf dem Mikrosystemtechnik-Kongress in Berlin 2009 deutlich. Im Januar 2010 wird das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) die Bekanntmachung "Mikro-Nano-Integration als Schlüsseltechnologie für die nächste Generation von Sensoren und Aktoren" veröffentlichen. Der Workshop bietet eine einmalige Gelegenheit, aktuelle Forschungsergebnisse zur Mikro-Nano-Integration kennen zu lernen und mit den Wissenschaftlern zu diskutieren. Die Kombination kurzer Vorträge mit folgender Diskussion am Poster unterstreicht den Workshop-Charakter. Ergänzende Übersichtsvorträge aus Wissenschaft, Wirtschaft und Politik geben vertiefte Einblicke zu spezifischen Themen.

This conference proceeding contains the following papers, purchasable as PDF download with payment via credit card:


1	Hochtemperaturtaugliche Chip-Substrat-Kontaktierung opto-elektronischer Bauelemente mittels Fineplacer-Verbindungstechnik (FpV) Authors: Kähler, Julian; Stranz, Andrej; Heuck, Nicolas; Fündling, Sönke; Palm, Gerhard; Waag, Andreas; Peiner, Erwin

2	Selbst ausbreitende exotherme Reaktionen als interne Wärmequelle für die Aufbau- und Verbindungstechnik von Mikrosystemen Authors: Bräuer, Jörg; Wiemer, Maik; Gessner, Thomas; Böttge, Bianca; Petzold, Matthias

3	Drucken von mikro- und nanoskaligen Funktionsschichten auf Thermoplasten zur Erhöhung der Integration mikrosystemtechnischer Packages Authors: Eberhardt, W.; Keck, J.; Willeck, H.; Polzinger, B.; Kück, H.

4	Nanochemisches legieren von Zinn-Basis-Loten Authors: Zerrer, Patrick; Fix, Andreas

5	Nanoporöse Goldkontakte für das Niedertemperaturbonden Authors: Oppermann, Hermann; Dietrich, Lothar; Klein, Matthias

6	CNTs - a Comparable Study of CNT-filled Adhesives with Common Materials Authors: Heimann, Matthias; Boehme, Bjoern; Scheffler, Sebastian; Wirts-Ruetters, Martin; Wolter, Klaus-Juergen

7	Bondverfahren für Selbstjustierung und Mehrfachbonden basierend auf nasschemisch präparierten Si-Oberflächen Authors: Jonnalagadda, P.; Mescheder, U.; Kovacs, A.; Nimo, A.

8	AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIE Authors: Sökmen, Ü.; Waag, A.; Ababneh, A.; Seidel, H.; Schmid, U.; Peiner, E.

9	"Glas Gras" in Kieselglas für neue Integrationsmöglichkeiten in MEMS, MOEMS und BIOMEMS Authors: Lilienthal, Katharina; Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Schober, Andreas

10	Zwei-Photonen-Polymerisation zur Herstellung von polymeren dreidimensionalen Zellträgerstrukturen Authors: Weiß, T.; Hildebrand, G.; Schade, R.; Berg, A.; Schnabelrauch, M.; Liefeith, K.

11	Untersuchung zur selbst-organisierten Nanomaskierung in zyklischen Tiefenätzprozessen für die reproduzierbare Erzeugung von nanostrukturiertem Silicium Authors: Kremin, Christoph; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin

12	Nasschemisches Ätzen von nahezu beliebigen 3D-Strukturen in Silizium Authors: Ivanov, Alexey; Kovacs, Andras; Mescheder, Ulrich

13	Nanostrukturierte Systemfenster aus porösem Silizium für MIR Authors: Frank, Th.; Will, M.; Long, L.

14	Automatisierte nanorobotische Mikro-Nano-Integration zur Herstellung prototypischer Mikrosysteme mit Nanostrukturen Authors: Eichhorn, V.; Jasper, D.; Dahmen, C.; Fatikow, S.

15	Contactless Handling and Precision Positioning of Smallest Components for Assembly of Microelectronics Authors: Braun, T.; Bauer, J.; Becker, K.-F.; Kahle, R.; Jung, E.; Koch, M.; Mollath, G.; Aschenbrenner, R.; Reichl, H.

16	Biologische und physikalische Oberflächenprogrammierung für die Selbstassemblierung von kleinen Objekten Authors: Alberti, Martin; Yacoub-George, Erwin; Landesberger, Christof; Scherbaum, Sabine; Hell, Waltraud; Bock, Karlheinz

17	Nanopositionier- und Nanomessmaschinen - universelle skalenübergreifende Werkzeuge für die Mikro-Nano-Integration Authors: Manske, Eberhard; Theska, René; Schott, Walter

18	Numerische Analyse der Spannungsrelaxation nanostrukturierter siliziumbasierter optischer Wellenleiter zur Erzeugung nicht-linearer optischer Effekte Authors: Naumann, Falk; Schriever, Clemens; Schilling, Jörg

19	Hochauflösende Metrologie für die Mikro-Nanointegration Authors: Krause, Michael; Klengel, Robert; Cismak, Andreas; Petzold, Matthias; Altmann, Frank

20	Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten Authors: Mescheder, U. M.; Jonnalagadda, P.; Kovacs, A.; Meng, X.

21	Statische und dynamische Prüfung von Silizium-Nano-Klettverschlüssen Authors: Stubenrauch, Mike; Schwandt, Morris; Kremin, Christoph; Hecht, Siegmar; Hoffmann, Martin

22	Messung von thermoelektrischen Eigenschaften an Silizium-basierten Nanosäulen Authors: Stranz, A.; Sökmen, Ü.; Kähler, J.; Peiner, E.; Waag, A.

23	Hochgenaue Positionsbestimmung und Topologievermessung Authors: Petter, Jürgen; Nicolaus, Ralf; Wienke, Olaf

24	Facilitating Innovation in Advanced Multimaterial Micro and Nanotechnologies Authors: Obermaier, Georg

25	Richtungsselektive strukturierte Photodioden für Anwendungen in der Fluoreszenzsensorik Authors: Will, Matthias; Brodersen, Olaf; Hechler, Stefan; Kley, Ernst-Bernhard

26	Neuartige Zahnsensoren auf GMR-Basis für anspruchsvolle Winkel- und Längenmessaufgaben Authors: Slatter, Rolf; Buss, René

27	Großflächige Integration von ZnO-Nanopartikel-Transistoren Authors: Wolff, Karsten; Hilleringmann, Ulrich; Hilleringmann, Ulrich

28	Aluminiumnitrid Dünnschicht-Membranen - Nanokristalline Materialstruktur als Basis hoher mechanischer Stabilität Authors: Polster, T.; Hoffmann, M.

29	Einsatz von nanokristallinem Aluminiumnitrid (AlN) in mikrosystemtechnischen Aktorkonzepten Authors: Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Pätz, Daniel; Hoffmann, Martin

30	Direct UV-nanoimprint of polymer microring resonators as optical transducers Authors: Kirchner, Robert; Kirchner, Robert; Landgraf, René; Landgraf, René; Bertram, Marion; Fischer, Wolf-Joachim; Fischer, Wolf-Joachim

31	Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik Authors: Quednau, S.; Greiner, F.; Schlaak, H. F.; Rauber, M.; Rauber, M.; Neumann, R.; Ensinger, W.

32	Biomembran-Brennstoffzelle auf Basis modifizierter Kohlenstoff Nanoröhrchen Authors: Bogner, M.; Schnaithmann, M.; Sägebarth, J.; Sandmaier, H.

33	Nanoaktoren auf Basis metallischer Schichtsysteme Authors: Hartbaum, Julian; Jakobs, Peter; Kohl, Manfred

34	Mikroelektroden - Theorie und Praxis Authors: Pliquett, Uwe; Nacke, Thomas; Barthel, Andreas; Frense, Dieter; Beckmann, Dieter

35	Mikrosysteme für die Medizintechnik und Biotechnologie - durch Nanoliter zur optimierten Kryokonservierung Authors: Wiedemeier, Stefan; Grodrian, A.; Meiser, I.; Katsen-Globa, A.; Mettler, E.; Weber, M. M.; David, K.; Zimmermann, H.; Metze, J.

36	Nanopartikel-Lithografie: eine kostengünstige Methode zur großflächigen Integration von Nanostrukturen in Mikrosystemen Authors: Burkhardt, Claus; Fuchsberger, Kai; Heusel, Gerhard; Schröppel, Birgit; Stelzle, Martin; Stett, Alfred

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