GMM (Hrsg.)

Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik (GMM-FB 65)

Vorträge des 2. GMM-Workshops vom 10. bis 11. Mai 2010 in Darmstadt

GMM-Fachbericht Band 65

2010, CD-ROM, Jewelcase,
ISBN 978-3-8007-3253-1
Rebate

79.00 €

CD-ROM

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Der Workshop soll einerseits den Anwendern aus der Industrie einen konzentrierten Überblick über den aktuellen Stand und Reifegrad der verschiedenen Materialsysteme und Technologien geben. Andererseits sollen Experten aus Industrie und Wissenschaft ein ausführliches Diskussionsforum der aktuellen Themen und Trends finden. Auf der Basis der vorgestellten Forschungs- und Entwicklungsergebnisse sollen die Entwicklungsperspektiven und Trends, aber auch die Grenzen und Defizite in wichtigen Fertigungstechnologien und Materialsystemen aufgezeigt sowie der jeweilige Forschungsbedarf ermittelt werden.

This conference proceeding contains the following papers, purchasable as PDF download with payment via credit card:


1	Anwendung des ICP-DRIE-Kryotrockenätzprozesses für anisotrope Strukturen in Silizium Authors: Sökmen, Ü.; Fündling, S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Neumann, R.; Li, S. F.; Wehmann, H.-H.; Peiner, E.; Waag, A.

2	Structural and Mechanical Properties of Sintered Porous Silicon Authors: Angelopoulos, Evangelos A.; Wacker, Nicoleta; Burghartz, Joachim N.

3	Technologiekompatible 3D-Strukturierung zur Herstellung integrierter Mikrosysteme Authors: Völlmeke, Stefan; Preuß, Klaus-Dieter; Steinke, Arndt

4	Magnetic print head chips comprising 3D-redistribution layers, MEMS coils and magnetic circuits in a Multi-Chip-Module for serial production Authors: Doms, Marco; Braun, Franz J.; Krämer, Kurt; Espanet, Anne

5	Integration von feinmechanischen Verfahren in die Mikrotechnik zur kostengünstigen Herstellung von magnetischen Mikrosystemarrays Authors: Staab, Matthias; Schlaak, Helmut F.

6	Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen Authors: Schlosser, Michael; Staab, Matthias; Schlaak, Helmut F.

7	Fabrication of 3D nanostructures by direct laser writing Authors: Radke, A.; Radke, A.; Wolff, F.; Giessen, H.; Klotzbücher, T.

8	Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial Authors: Kohlstedt, Anika; Schlaak, Helmut F.

9	Mechanische Eigenschaften und Stressuntersuchungen von SU-8-Schichten für mikromechanische Anwendungen und Bauelemente Authors: Schönfeld, Maik; Cappek, Manfred; Aßmann, Heiko; Saupe, Jens; Feige, Hans-Jürgen; Vogel, Jürgen; Grimm, Jürgen

10	Mikrospezifische Festigkeitssteigerung von keramischen Mikrobiegebalken durch Oberflächendefektausheilung während der thermischen Entbinderung Authors: Çetinel, Fatih A.; Müller, Marcus; Bauer, Werner; Haußelt, Jürgen

11	Herstellung und Replikation von großformatigen Formeinsätzen mit Mikrodüsenarrays durch Galvanoformung von geprägten Kunststoffbauteilen mit hohem Aspektverhältnis Authors: Kaiser, Konradin; Kolew, Alexander; Guttmann, Markus; Wissmann, Markus

12	Integration von Sensor-Aktor-Funkionsmaterialien für die Realisierung energieautarker binärer Sensoren Authors: Frank, Thomas; Gerlach, Gerald; Steinke, Arndt

13	Aktivierung mittels Niederdruckplasma zur Herstellung von Si-Verbunden im Niedertemperatur-Bereich und deren Charakterisierung mittels Mikro-Chevron-Test Authors: Wünsch, Dirk; Müller, Benedikt; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Mischke, Helge

14	Pulvertechnologische Herstellung von metallischen und keramischen Mikrobauteilen Authors: Piotter, V.; Haußelt, J.

15	Herstellung von komplexen Mikrobauteilen durch Ein- und Zweikomponenten-Pulverspritzgießen Authors: Müller, Tobias; Ruh, Andreas; Piotter, Volker; Ritzhaupt-Kleissl, Hans-Joachim

16	Vollfeld Nanoimprintlithographie mit flexiblen Stempeln Authors: Hornung, Michael; Ji, Ran

17	Mikrostrukturierung von dünnen Kunststofffolien durch Heißprägen Authors: Baum, Mario; Vetter, Christian; Haehnel, Markus; Hänel, Jens; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Geßner, Thomas

18	Optimierung von piezoelektrischen Pumpaktoren für adaptive Linsen mit großer Apertur Authors: Draheim, Jan; Kamberger, Robert; Burger, Tobias; Schneider, Florian; Wallrabe, Ulrike; Wallrabe, Ulrike

19	Overlay (Top-to-bottom) Metrologie an Si-Waferpacks mittels IR optimiertem Mikroskop - und andere Anwendungen Authors: Scheuring, Gerd; Döbereiner, Stefan; Brück, Hans-Jürgen

20	Hermetischer Verschluss biomedizinischer Geräte mittels Solderjet Bumping Authors: Burkhardt, T.; Hornaff, M.; Burkhardt, T.; Beckert, E.; Possner, T.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.

21	Mikro-Nano-Silberpulver für die Chip-Substrat-Kontaktierung mittels Drucksintern Authors: Kähler, Julian; Stranz, Andrej; Heuck, Nicolas; Fündling, Sönke; Palm, Gerhard; Waag, Andreas; Peiner, Erwin

22	Generative Herstelltechnologien im Mikro- und Nanobereich zu Aufbau und Kontaktierung von Mikro-Mechatronischen Systeme Authors: Ansorge, Frank; Stigler, Thomas; Heumann, Katja; Ifland, David; Reichl, Herbert

23	Ferroelektrische Polymere und Ferroelektrete als piezoelektrische Wandler in großflächigen taktilen Sensor-Arrays Authors: Wegener, Michael; Schuberth, Reinhard; Morschhauser, Andreas; Otto, Thomas

24	Zentrifugales System für das Rapid Prototyping in der Mikrofluidik Authors: Sterck, Albert; Hipp, Thomas; Reiner, Thomas; Gehring, Frank K.

25	Polymer-Keramik-Komposite mit hoher Dielektrizitätskonstante für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik Authors: Hanemann, Thomas; Schumacher, Benedikt; Schumacher, Benedikt

26	Sensitive Feuchtesensoren auf der Basis von Nanokompositen Authors: Martin, Jörg; Piasta, Doreen; Hammacher, Jens; Wegener, Michael; Dittrich, Claus; Otto, Thomas

27	Neue TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen Authors: Paul, Johannes; Gerken, Anna; Marien, Jan; Negulescu, Beatrice; Hehn, Michel; Duret, Christophe

28	Dotierte Ba0,6Sr0,4TiO3-Dickschichten für steuerbare passive Mikrowellenkomponenten Authors: Zhou, X.; Zhou, X.; Sazegar, M.; Geßwein, H.; Binder, J. R.; Jakoby, R.; Haußelt, J.

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