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Rubric: Proceedings
- GMM Reports
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Beiträge des 3. GMM-Workshops 3.-4. März 2011 in Stuttgart GMM Fachbericht Band 68
2011, CD-ROM, Slimline-Box,
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60.00 € CD-ROM
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Der Einsatz von nanotechnologiebasierten Effekten in Mikrosystemen und die Integration von Nanostrukturen in die Mikrowelt, die so genannte Mikro-Nano-Integration, schafft wesentliche Voraussetzungen,
um damit einhergehende Integrations- und Miniaturisierungsanforderungen zu erfüllen und bietet so die Chance auf einen Innovationsschub.
Insbesondere für Unternehmen bietet der Workshop eine exzellente Gelegenheit, mit potenziellen Kooperationspartnern auf dem Gebiet der Mikro-Nano-Integration in Kontakt zu treten. Der Workshop lässt bewusst viel Zeit für die Diskussion der Fragestellungen und soll den aktuellen Stand der Technik aus Sicht der Forschung und industriellen Umsetzung in kompakter Form vermitteln.
Insbesondere für Unternehmen bietet der Workshop eine exzellente Gelegenheit, mit potenziellen Kooperationspartnern auf dem Gebiet der Mikro-Nano-Integration in Kontakt zu treten. Der Workshop lässt bewusst viel Zeit für die Diskussion der Fragestellungen und soll den aktuellen Stand der Technik aus Sicht der Forschung und industriellen Umsetzung in kompakter Form vermitteln.
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| 1 |
Multilayer Nano-Imprint-Lithography Mold Fabrication ProcessAuthors:
Finn, A.; Jahn, A.; Kirchner, R.; Künzelmann, U.; He, J.; Waegner, M.; Fischer, W.-J.; Fischer, W.-J.
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| 2 |
Integration von passiven und aktiven Bauelementen mittels innovativer DrucktechnikenAuthors:
Schön, F.; Keck, J.; Willeck, H.; Eberhardt, W.; Polzinger, B.; Kück, H.; Strecker, M.; Frühauf, N.
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| 3 |
Erzeugung nadelförmiger Nanostrukturen aus Aluminiumnitrid (AlN) durch reaktives PlasmaätzenAuthors:
Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Geiling, Thomas; Hoffmann, Martin
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| 4 |
In-Situ Erzeugung von Arrays aus metallischen Mikro- und Nanodrähten in Silizium-MikrosystemenAuthors:
Quednau, Sebastian; Schlaak, Helmut F.
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| 5 |
Niedrigtemperatur-Transfer von vertikal ausgerichteten Kohlenstoff Nanoröhren auf MikrostrukturenAuthors:
Nick, Christoph; Joshi, Ravi; Schneider, Jörg J.; Thielemann, Christiane
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| 6 |
Simulation der Selbstorganisierten Mikromontage auf Mikro-NanostrukturenAuthors:
Boufercha, Nourdin; Schnaithmann, Matthias; Sägebarth, Joachim; Sandmaier, Hermann
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| 7 |
Erste Ergebnisse elektrostatischer Aktuatorik auf Basis UV-aushärtender PolymereAuthors:
Lange, N.; Lange, N.; Wippermann, F.; Leitel, R.; Bruchmann, C.; Bruchmann, C.; Beckert, E.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
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| 8 |
Mikrointegration von Nanostrukturen mittels Dielektrophorese (DEP)Authors:
Leiterer, Christian; Jahr, Norbert; Berg, Steffen; Brönstrup, Gerald; Csaki, Andrea; Christiansen, Silke; Fritzsche, Wolfgang
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| 9 |
Bestimmung von Eigenspannungen im Mikro-Nano-Übergangsbereich mit verschiedenen Analysemethoden - Möglichkeiten und GrenzenAuthors:
Vogel, D.; Auerswald, E.; Gollhardt, A.; Michel, B.
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| 10 |
Non-destructive testing of integrated nanostructures using 3D polarization control in an optical microscopeAuthors:
Härtling, Thomas; Olk, Phillip; Kullock, René; M. Eng, Lukas
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| 11 |
Untersuchungen zur Nanoporosität von AlN MembranenAuthors:
Polster, T.; Leopold, S.; Stauden, T.; Hoffmann, M.
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| 12 |
Grenzflächendiffusion und Adhäsionsverhalten nanostrukturierter Epoxidharzverbunde in SensorapplikationenAuthors:
Walter, H.; Bauer, J.; Keller, J.; Hölck, O.; Hölck, O.; Becker, K.-F.; Wunderle, B.; Braun, T.; Wittler, O.
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| 13 |
Methode zur Herstellung eines portablen, hierarchisch strukturierten und multifunktionalen MikropartikelarraysAuthors:
Hensel, René; Braun, Hans-Georg
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| 14 |
Prozessoptimierung zur Herstellung von zweidimensionalen photonischen Kristallen mittels Nanoimprint LithografieAuthors:
Bischoff, Janika; Senn, Tobias; Nüsse, Nils; Schoengen, Max; Löchel, Bernd
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| 15 |
Integration von nanoskaligen Feldeffekttransistoren mit Zinkoxid-Nanopartikeln auf GlassubstratAuthors:
Assion, Fabian; Wolff, Karsten; Hilleringmann, Ulrich
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| 16 |
Inkjet-Druck und Niedertemperatur-Sintern von Ag-Nanopartikeltinten auf PolymersubstratenAuthors:
Pabst, Oliver; Pabst, Oliver; Perelaer, Jolke; Hornaff, Marcel; Beckert, Erik; Becker, Holger; Schubert, Ulrich S.; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas; Tünnermann, Andreas
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| 17 |
Fabrication of Sub-500 nm Source and Drain Electrodes for Organic Field Effect Transistor using UV Nanoimprint Lithography with Low-Cost Silicon Mold and Lift-Off ProcessAuthors:
Teng, Lichao; Kirchner, Robert; Kirchner, Robert; Plötner, Matthias; Jahn, Andreas; He, Jian; Hagemann, Falk; Fischer, Wolf-Joachim; Fischer, Wolf-Joachim
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| 18 |
EUMINAfab - A European Infrastructure for micro and nano fabrication and characterisationAuthors:
Anson, Susan; Meyer, Tanja
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Enrichment of Rare Cells from Whole Blood for Chip-based AnalysisAuthors:
Roeser, Tina; Hauch, Sigfried; Fetisch, Jasmin; Schwind, Carmen; Stein, Volkmar; Strobach, Xenia; Drese, Klaus Stefan; Ritzi-Lehnert, Marion
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| 20 |
Energieeffiziente, miniaturisierte magnetoresistive Sensoren auf TMR-Basis für Anwendungen im AutomobilAuthors:
Paul, Johannes; Gerken, Anna; Slatter, Rolf; Duret, Christophe; Negulescu, Beatrice; Hehn, Michel
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| 21 |
Automatisierte Handhabung und Montage von anpassbaren AFM-MessspitzenAuthors:
Bartenwerfer, M.; Eichhorn, V.; Jasper, D.; Fatikow, S.
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