Rubric: Proceedings - GMM Reports
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik (GMM-FB 53)

VDE ; VDI ; GMM

Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik (GMM-FB 53)

GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai 2007 in Karlsruhe

GMM-Fachbericht Band 53

2007, 264 Seiten, DIN A4, kartoniert,
ISBN 987-3-8007-3033-9
CD
Rebate

Contents Preface

Der Workshop wird aus der Vielzahl der Forschungsergebnisse den aktuellen Stand der Technik in konzentrierter Form vermitteln, neue Entwicklungsperspektiven in wichtigen Fertigungstechnologien und Materialsystemen aufzeigen und nicht zuletzt Anregungen für neue Ideen geben. Auch wirtschaftliche Aspekte der Fertigungsverfahren werden behandelt.

 

This conference proceeding contains the following papers, purchasable as PDF download with payment via credit card:
Search Conference Papers
1

Mikrosystemtechnik – eine Zukunftstechnologie mit wirtschaftlichem Risiko?

Authors:
Herrnsdorf, Johannes
2

Oberflächenmikromechanik - Schlüsseltechnologie für Automotive und Consumersensoren

Authors:
Bischof, Udo
3

Bulksiliziummikromechanik, Entwicklungstendenzen und Beispiele

Authors:
Wiemer, M.; Frömel, J.; Hiller, K.; Reuter, D.; Jia, C.
4

Silizium-Technologien für leistungsfähige, multi-axiale Sensorcluster auf einem Chip

Authors:
Link, Thomas; Trächtler, Martin; Nommensen, Peter; Auber, Johannes; Reinecke, Holger
5

Neue Technologie zur Herstellung monokristalliner Silizium-Membranen auf Basis von porösem Silizium

Authors:
Knese, K.; Armbruster, S.; Benzel, H.; Schelling, C.; Brasas, J.; Lammel, G.; Illing, M.; Seidel, H.
6

Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44

Authors:
Schirmer, Matthias
7

Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8

Authors:
Eicher, Dirk; Schlaak, Helmut F.
8

Fertigung von Formeinsätzen über die galvanische Replikation von polymeren Mikrobauteilen

Authors:
Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.; Manegold, S.; Matthis, B.; Heckele, M.
9

Galvanoformung von Mikro-Trennmembranen

Authors:
Wohlgemuth, Christian; Werthschüztky, Roland
10

Anwendung des Direkt-LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis

Authors:
Löchel, Bernd; Bednarzik, Martin; Waberski, Christoph
11

Legierungsabscheidung für LIGA-Mikroteile und Werkzeugen am Beispiel von Ni-Fe und Ni-W

Authors:
Bade, K.; Haj-Taieb, M.; Haseeb, A. S. M. A.
12

Innovative Mikrofertigung: Mehrkomponenten-Mikrospritzgießen

Authors:
Piotter, V.; Plewa, K.; Prokop, J.; Ruprecht, R.; Haußelt, J.
13

Modifizierung von Polymereigenschaften durch nanoskalige Dotierstoffe

Authors:
Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas; Böhm, Johannes; Böhm, Johannes; Ritzhaupt-Kleissl, Eberhard; Ritzhaupt-Kleissl, Eberhard; Schumacher, Benedikt; Schumacher, Benedikt; Haußelt, Jürgen; Haußelt, Jürgen
14

Alternative Kunststoffreplikationstechniken als zukünftige Fertigungstechniken in der Mikro- und Nanotechnik

Authors:
Heckele, M.; Mehne, C.; Truckenmüller, R.; Worgull, M.
15

Erfahrungen zum Einsatz von niedrigviskosen Bindersystemen beim Spritzgießen von keramischen Mikrobauteilen

Authors:
Bauer, Werner; Hanemann, Thomas; Heldele, Richard; Müller, Marcus
16

Mikrostrukturierung von Glas am Beispiel mikrofluidischer Produkte

Authors:
Dietrich, Thomas R.
17

Mikrostrukturierung von Glas

Authors:
Hülsenberg, Dagmar; Brokmann, Ulrike; Hesse, Annett; Ludwig, Yvonne; Mrotzek, Susanne
18

Formwerkzeuge für Anwendungen von Mikro bis Nano

Authors:
Kouba, Josef; Schondelmaier, Daniel; Rudolph, Ivo; Walter, Antje; Schleunitz, Arne; Ropers, Greta; Mai, Alexander; Loechel, Bernd
19

Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Mikrozerspanung

Authors:
Gietzelt, T.; Eichhorn, L.
20

Erosives Drehen für Mikro- und Nanostrukturierung als Technologieerweiterung

Authors:
Neumann, Frank; Kunz, Stefan
21

Lasergestützte Prozesse für Polymerwerkstoffe in der Mikro- und Nanotechnik - Strukturierung, Modifizierung und Verbindungstechnik

Authors:
Pfleging, Wilhelm; Lorenz, Julia; Schierjott, Phillip; Welle, Alexander; Wilson, Sandra; Wilson, Sandra
22

Mikro-Nano-Integration für die Mikrosystemtechnik

Authors:
Coskina, Paradiso
23

Neue piezoelektrische Materialien für die Mikroaktorik

Authors:
Kügeler, Carsten; Pithan, Christian; Böttger, Ulrich; Waser, Rainer; Waser, Rainer
24

Toroid-Mikroinduktoren mit magnetischen Nanokompositen für HF-Anwendungen

Authors:
Schürmann, Ulrich; Greve, Henry; Hettstedt, Falk; Quandt, Eckhard; Quandt, Eckhard; Gerber, Andreas; Schmutz, Clemens; Zaporojtchenko, Vladimir; Knöchel, Reinhard; Faupel, Franz
25

Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS

Authors:
Böhm, S.; Dilger, K.; Raatz, A.; Hemken, G.; Rathmann, S.
26

Technologie pyrotechnischer Bauelemente mit porösem Silizium

Authors:
Völlmeke, Stefan; Bartuch, Herbert
27

SU-8 als Material für die Fertigung hochpräziser LIGA-Röntgenlinsen

Authors:
Last, A.; Reznikova, E.; Last, A.; Nazmov, V.; Nazmov, V.; Simon, M.
28

Großflächige Erzeugung nanoskaliger Punktstrukturen im Sub-100nm-Bereich durch Kantenabscheidung

Authors:
Wolff, Karsten; Hilleringmann, Ulrich
29

Vom Mini- zum Mikrogetriebe mit Hilfe der Direkt-LIG

Authors:
Kirsch, Udo; Degen, Reinhard
30

Herstellung mikrostrukturierter Metallteile durch Mikroguss

Authors:
Baumeister, Gundi
31

Heißprägen mit einem Silikonkautschukprägestempel

Authors:
Mayr, Andreas; Sommer, Stefanie; Strobelt, Tilo; Osterwinter, Heinz
32

PDMS – Möglichkeiten und Designrichtlinien zur Prototypen- und Kleinserienfertigung funktioneller Strukturen in Silikon

Authors:
Göttsche, Thorsten; Gronmaier, Roland
33

Herstellung von polymeren Permanentstrukturen durch Nanoimprint

Authors:
Schleunitz, Arne; Kouba, Josef; Schondelmaier, Daniel; Löchel, Bernd
34

Hybridtechnologie zur Herstellung von Formeinsätzen

Authors:
Jurischka, R.; Blattert, C.; Tahhan, I.; Schoth, A.; Müller, C.; Reinecke, H.
35

Entwicklung und Optimierung der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Formeinsätzen

Authors:
Guttmann, Markus; Erdmann, Gunnar; Laier, Rupert; Winkler, Frank
36

Modelluntersuchungen zum Verschleiß- und Entformungsverhalten von Formeinsatz-Werkstoffen für das Mikro-Pulverspritzgießen

Authors:
Schneider, Johannes; Milich, Marcel; Gahr, Karl-Heinz zum
37

Untersuchung der Biegebruchfestigkeit beschichteter Hartmetall- Mikrofräser

Authors:
Muster, Frank; Füting, Manfred; Theumer, Torsten; Petzold, Matthias; Schauer, Kai
38

Laser Trimming of Micro Mirror Devices

Authors:
Hänel, Jens; Keiper, Bernd; Bleul, Karsten; Kaufmann, Christian; Bonitz, Jens
39

Laserbearbeitung von glasartigem Kohlenstoff zur Produktion von Mikrofluidstrukturen für die Herstellung von Radiopharmaka

Authors:
Scheuenpflug, Michael; Schmöller, Markus; Lüth, Tim
40

Entwicklung eines elektronenstrahlbasierten MikroProduktions-Zentrums

Authors:
Böhm, S.; Dilger, K.; Tanasie, G.; Zäh, M.; Reiter, A.; Franzkowiak, M.; Baertle, J.; Löwer, T.
41

Untersuchung der Grenzflächenreaktionen Glaslot-gebondeter Mikrosysteme

Authors:
Böttge, Bianca; Graff, Andreas; Dresbach, Christian; Bagdahn, Jörg
42

Mikrofertigungstechniken zur Strukturierung von porösen Materialien für die Dünnschichtchromatografie

Authors:
Chemnitz, Steffen; Kugelbrey, Karl; Stoyanov, Ivan; Werner, Martin; Bornemeier, Jan; Tewes, Michael
43

ESPI für MST und Life Sciences

Authors:
Foitzik, Andreas H.; Göpfrich, Armin; Pfüger, Markus; Uhlig, Katja; Chrzumnicka, Ewa; Vogt, Thomas; Inwersen, Jan

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