Mikro-Nano-Integration (GMM-FB 60)

Die Querschnittstechnologien „Mikrosystemtechnik“ und „Nanotechnologie“ haben in den letzten Jah-ren umfangreiche neue Erkenntnisse und Ideen aus der Forschung geliefert. Es ist naheliegend, dass durch die Kombination von Nanomaterialien und Nanoobjekten in Mikrosystemtechnik-Bauelementen zahlreiche neue oder verbesserte Produkte zu erwarten sind. Allerdings sind die besonderen Eigen-schaften der oft wenige Nanometer messenden Objekte mit ihrer komplexen Fertigungstechnologie zu beachten, die sich doch oft von der klassischen Mikrosystemtechnik unterscheiden. Auch die Mes-sung oder Nutzung der speziellen Effekte erfordert völlig neue Technologien.
Die daraus erwachsende Herausforderung der Mikro-Nano-Integration stellt sich an der Schnittstelle zwischen Nanostruktur und Mikrosystem, die die Nutzung in der Makrowelt erst ermöglicht. Als Bei-spiel sei die Nutzung von Carbon Nano-Tubes (CNT) in der Sensorik oder als Bestandteil elektroni-scher Schaltungen genannt. Wie gelingt es, die winzigen CNT geordnet an den erforderlichen Stellen im Mikrosystem zu erzeugen oder einzubringen? Zahlreiche weitere Technologien wie Nanowires, nanostrukturiertes Silicium oder abgeformte Nanostrukturen erlauben Nanostrukturen mit neuer Funk-tionalität, müssen aber den Weg der Integration in das Mikrosystem beschreiten.
Dieser Workshop lädt Forscher und Anwender ein, in Kontakt miteinander zu kommen und die Mikro-Nano-Integrationsthematik zu diskutieren.