GMM (Hrsg.)

Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik (GMM-FB 65)

Vorträge des 2. GMM-Workshops vom 10. bis 11. Mai 2010 in Darmstadt

GMM-Fachbericht Band 65

2010, CD-ROM, Jewelcase,
ISBN 978-3-8007-3253-1
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Der Workshop soll einerseits den Anwendern aus der Industrie einen konzentrierten Überblick über den aktuellen Stand und Reifegrad der verschiedenen Materialsysteme und Technologien geben. Andererseits sollen Experten aus Industrie und Wissenschaft ein ausführliches Diskussionsforum der aktuellen Themen und Trends finden. Auf der Basis der vorgestellten Forschungs- und Entwicklungsergebnisse sollen die Entwicklungsperspektiven und Trends, aber auch die Grenzen und Defizite in wichtigen Fertigungstechnologien und Materialsystemen aufgezeigt sowie der jeweilige Forschungsbedarf ermittelt werden.

Dieser Tagungsband enthält folgende Beiträge, die Sie einzeln als PDF-Download erwerben können:


1	Anwendung des ICP-DRIE-Kryotrockenätzprozesses für anisotrope Strukturen in Silizium Autoren: Sökmen, Ü.; Fündling, S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Neumann, R.; Li, S. F.; Wehmann, H.-H.; Peiner, E.; Waag, A.

2	Structural and Mechanical Properties of Sintered Porous Silicon Autoren: Angelopoulos, Evangelos A.; Wacker, Nicoleta; Burghartz, Joachim N.

3	Technologiekompatible 3D-Strukturierung zur Herstellung integrierter Mikrosysteme Autoren: Völlmeke, Stefan; Preuß, Klaus-Dieter; Steinke, Arndt

4	Magnetic print head chips comprising 3D-redistribution layers, MEMS coils and magnetic circuits in a Multi-Chip-Module for serial production Autoren: Doms, Marco; Braun, Franz J.; Krämer, Kurt; Espanet, Anne

5	Integration von feinmechanischen Verfahren in die Mikrotechnik zur kostengünstigen Herstellung von magnetischen Mikrosystemarrays Autoren: Staab, Matthias; Schlaak, Helmut F.

6	Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen Autoren: Schlosser, Michael; Staab, Matthias; Schlaak, Helmut F.

7	Fabrication of 3D nanostructures by direct laser writing Autoren: Radke, A.; Radke, A.; Wolff, F.; Giessen, H.; Klotzbücher, T.

8	Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial Autoren: Kohlstedt, Anika; Schlaak, Helmut F.

9	Mechanische Eigenschaften und Stressuntersuchungen von SU-8-Schichten für mikromechanische Anwendungen und Bauelemente Autoren: Schönfeld, Maik; Cappek, Manfred; Aßmann, Heiko; Saupe, Jens; Feige, Hans-Jürgen; Vogel, Jürgen; Grimm, Jürgen

10	Mikrospezifische Festigkeitssteigerung von keramischen Mikrobiegebalken durch Oberflächendefektausheilung während der thermischen Entbinderung Autoren: Çetinel, Fatih A.; Müller, Marcus; Bauer, Werner; Haußelt, Jürgen

11	Herstellung und Replikation von großformatigen Formeinsätzen mit Mikrodüsenarrays durch Galvanoformung von geprägten Kunststoffbauteilen mit hohem Aspektverhältnis Autoren: Kaiser, Konradin; Kolew, Alexander; Guttmann, Markus; Wissmann, Markus

12	Integration von Sensor-Aktor-Funkionsmaterialien für die Realisierung energieautarker binärer Sensoren Autoren: Frank, Thomas; Gerlach, Gerald; Steinke, Arndt

13	Aktivierung mittels Niederdruckplasma zur Herstellung von Si-Verbunden im Niedertemperatur-Bereich und deren Charakterisierung mittels Mikro-Chevron-Test Autoren: Wünsch, Dirk; Müller, Benedikt; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Mischke, Helge

14	Pulvertechnologische Herstellung von metallischen und keramischen Mikrobauteilen Autoren: Piotter, V.; Haußelt, J.

15	Herstellung von komplexen Mikrobauteilen durch Ein- und Zweikomponenten-Pulverspritzgießen Autoren: Müller, Tobias; Ruh, Andreas; Piotter, Volker; Ritzhaupt-Kleissl, Hans-Joachim

16	Vollfeld Nanoimprintlithographie mit flexiblen Stempeln Autoren: Hornung, Michael; Ji, Ran

17	Mikrostrukturierung von dünnen Kunststofffolien durch Heißprägen Autoren: Baum, Mario; Vetter, Christian; Haehnel, Markus; Hänel, Jens; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Geßner, Thomas

18	Optimierung von piezoelektrischen Pumpaktoren für adaptive Linsen mit großer Apertur Autoren: Draheim, Jan; Kamberger, Robert; Burger, Tobias; Schneider, Florian; Wallrabe, Ulrike; Wallrabe, Ulrike

19	Overlay (Top-to-bottom) Metrologie an Si-Waferpacks mittels IR optimiertem Mikroskop - und andere Anwendungen Autoren: Scheuring, Gerd; Döbereiner, Stefan; Brück, Hans-Jürgen

20	Hermetischer Verschluss biomedizinischer Geräte mittels Solderjet Bumping Autoren: Burkhardt, T.; Hornaff, M.; Burkhardt, T.; Beckert, E.; Possner, T.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.

21	Mikro-Nano-Silberpulver für die Chip-Substrat-Kontaktierung mittels Drucksintern Autoren: Kähler, Julian; Stranz, Andrej; Heuck, Nicolas; Fündling, Sönke; Palm, Gerhard; Waag, Andreas; Peiner, Erwin

22	Generative Herstelltechnologien im Mikro- und Nanobereich zu Aufbau und Kontaktierung von Mikro-Mechatronischen Systeme Autoren: Ansorge, Frank; Stigler, Thomas; Heumann, Katja; Ifland, David; Reichl, Herbert

23	Ferroelektrische Polymere und Ferroelektrete als piezoelektrische Wandler in großflächigen taktilen Sensor-Arrays Autoren: Wegener, Michael; Schuberth, Reinhard; Morschhauser, Andreas; Otto, Thomas

24	Zentrifugales System für das Rapid Prototyping in der Mikrofluidik Autoren: Sterck, Albert; Hipp, Thomas; Reiner, Thomas; Gehring, Frank K.

25	Polymer-Keramik-Komposite mit hoher Dielektrizitätskonstante für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik Autoren: Hanemann, Thomas; Schumacher, Benedikt; Schumacher, Benedikt

26	Sensitive Feuchtesensoren auf der Basis von Nanokompositen Autoren: Martin, Jörg; Piasta, Doreen; Hammacher, Jens; Wegener, Michael; Dittrich, Claus; Otto, Thomas

27	Neue TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen Autoren: Paul, Johannes; Gerken, Anna; Marien, Jan; Negulescu, Beatrice; Hehn, Michel; Duret, Christophe

28	Dotierte Ba0,6Sr0,4TiO3-Dickschichten für steuerbare passive Mikrowellenkomponenten Autoren: Zhou, X.; Zhou, X.; Sazegar, M.; Geßwein, H.; Binder, J. R.; Jakoby, R.; Haußelt, J.

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