Rubrik: Proceedings - Allgemeine Proceedings

BMBF ; VDE ; GMM ; VDI/VDE-IT (Hrsg.)

MikroSytemTechnik Kongress 2012

10.-12. Oktober 2011/ Darmstadt

2011, 1017 Seiten, CD-ROM, Hülle,
ISBN 978-3-8007-3367-5
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Inhaltsverzeichnis

In vielen Branchen basieren Produktinnovationen auf Neuerungen aus dem Bereich der Mikrosystemtechnik, wo nach wie vor zweistellige Wachstumsraten erzielt werden.
Mit einer Vielzahl von aktiven, oft mittelständisch aufgestellten Unternehmen, die von innovativen Forschung-einrichtungen unterstützt werden, ist es Deutschland gelungen, eine weltweit führende Rolle im Bereich der Mikrosystemtechnik einzunehmen.
Der Mikrosystemtechnik Kongress findet 2011 zum vierten Mal statt, diesmal im Wissenschafts- und Kongresszentrum „darmstadtium“ in Darmstadt.
Dieser Tagungsband enthält folgende Beiträge, die Sie einzeln als PDF-Download erwerben können:
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1

Magnetische Mikrosysteme in Industrie-, Automobil- und Raumfahrtanwendungen

Autoren:
Slatter, Rolf
2

Soft Inhaler Respimat(R) - ein Mikrosystem revolutioniert die Inhalationstherapie

Autoren:
Eicher, Joachim
3

Magnetpartikel-basiertes Mikrosystem zum magnetoresistiven Schnellnachweis Sepsis-relevanter Pathogene

Autoren:
Sandetskaya, Natalia; Carstens, Cornelia; Gärtner, Claudia; Zilch, Christian; Lorenzen, Maren; Nachsel, Roman; Pötter, Harald; Kuhlmeier, Dirk
4

Piezoelektrischer Mikroaktor für ein Rundfensterimplantat

Autoren:
Kaltenbacher, D.; Zenner, H.-P.; Wildenstein, D.; Dalhoff, E.; Goll, E.; Schächtele, J.
5

Drucksensor-Implantat als Schlüsselkomponente für neue Behandlungsansätze bei Herzinsuffizienz - Projekt COMPASS

Autoren:
Urbaszek, Albrecht; Trieu, Hoc-Khiem; Traulsen, Tim; Mokwa, Wilfried; Schmitz-Rode, Thomas
6

BuccalDose - Miniaturisiertes intraorales Medikamentendosiersystem mit externer Auslesestation

Autoren:
Herrlich, S.; Lorenz, T.; Marker, M.; Spieth, S.; Messner, S.; Zengerle, R.
7

A novel mass sensitive sensor

Autoren:
Goehlich, A.; Jonville, C.; Klieber, R.; Mao, X.; Martens, K.; Jansen, T.; Trieu, H. K.; Vogt, H.
8

Intelligente Mikropumpe mit integrierter Strömungsregelung

Autoren:
Woitschach, O.; Lang, W.; Uckelmann, J.
9

Mikrofluidische Sensorplattform für das inline Hämostase-Monitoring

Autoren:
Sterck, A.; Müller, L.; Drechsel, H.; Wandel, M.; Gronmaier, R.; Sinn, S.; Steger, R.; Haeberle, S.; Zengerle, R.; Wendel, H.-P.; Northoff, H.; Gehring, F. K.
10

Verfahren zur DNA Aufreinigung mit magnetischen Partikeln auf einer zentrifugal-mikrofluidischen Einweg-Foliendisk

Autoren:
Strohmeier, O.; Czilwik, G.; Emperle, A.; Focke, M.; Roth, G.; Roth, G.; Roth, G.; Mark, D.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Stetten, F. von; Stetten, F. von
11

Elektrisch geschaltete Mikrofluidsegmente für die 'Segment-on-Demand'-Technik

Autoren:
Schneider, S.; Budden, M.; Günther, P. M.; Schwieger, S.; Kielpinski, M.; Henkel, Th.; Köhler, J. M.
12

Entwicklung einer energieeffizienten piezoelektrischen Hochfluss- Mikropumpe für Methanol-Brennstoffzellen

Autoren:
Herz, M.; Kibler, S.; Söllner, M.; Scheufele, B.; Richter, M.; Lueth, T. C.; Bock, K.
13

Mikrofluidischer Split-and-Recombine-Mischer für die (Bio-)chemische Analytik

Autoren:
Rajabi, Negar; Bahnemann, Janina; Zeng, An-Ping; Müller, Jörg
14

Microfluidic Extractor based on Droplet Flow in Microchannels

Autoren:
Pertaya-Braun, Natalya; Hardt, Steffen
15

Bistabiles Formgedächtnis-Mikroventil

Autoren:
Megnin, C.; Barth, J.; Kohl, M.
16

Biosensor System with Polymer Microring Resonators Manufactured by Multilevel-Nanoimprint

Autoren:
Landgraf, Rene; Landgraf, Rene; Kirchner, Robert; Kirchner, Robert; Finn, Andreas; Finn, Andreas; Haugwitz, Toni; Haugwitz, Toni; Deicke, Frank; Arndt, Susann; Fischer, Wolf-Joachim; Fischer, Wolf-Joachim
17

Mikrosensorsystem auf Basis paralleler integriert-optischer Mach-Zehnder-Interferometer in neuartigem Polymer

Autoren:
Sieber, Heinrich; Boehm, Hans-Jürgen; Schüle, Sven; Hollenbach, Uwe; Mohr, Jürgen; Ostrzinski, Ute; Pfeiffer, Karl
18

Hochintegrierte optische Koppler und Resonatoren aus amorphem Silizium

Autoren:
Lipka, Timo; Amthor, Julia; Horn, Oliver; Müller, Jörg
19

Einbettung von plasmonischen Elementen in photonische Kristall-Resonatoren für Licht-Materiekopplung

Autoren:
Schoengen, M.; Nüsse, N.; Probst, J.; Kronast, F.; Barth, M.; Wolters, J.; Löchel, B.; Benson, O.
20

Neuartiges Frequenz- und Amplitudenabstimmbares Infrarotfilter

Autoren:
Specht, H.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Ebermann, M.; Neumann, N.; Gittler, E.; Geßner, T.
21

Adaptive piezoelektrische Axiconspiegel für ultrakurze Laserpulse

Autoren:
Brunne, J.; Grunwald, R.; Wallrabe, U.
22

Variable fluidische Blende auf Basis einer adaptiven Linse mit integrierter piezoelektrischer Aktuierung

Autoren:
Draheim, J.; Burger, T.; Korvink, J. G.; Korvink, J. G.; Wallrabe, U.
23

Optische Mikrostrukturen in Photovoltaik Modulen

Autoren:
Backes, Andreas; Adamovic, Nadja; Meinhardt, Gerald; Schmid, Ulrich
24

Einsatzmöglichkeiten mikrooptischer Komponenten für Mask Aligner Belichtungssysteme

Autoren:
Hornung, M.; Schindler, K.; Vogler, U.; Voelkel, R.
25

Ultra-kompakter digitaler Array-Projektor

Autoren:
Sieler, Marcel; Schreiber, Peter; Dannberg, Peter; Bräuer, Andreas
26

Positionserfassung von flexiblen Roboterarmen mit einem optischen Mikrotrackersystem

Autoren:
Weinberger, Stefan; Markweg, Eric; Nguyen, Tran Trung; Hoffmann, Martin; Ament, Christoph
27

Flachbauendes Mikroskop: Ein mikrooptisches Abbildungssystem für digitale Nahaufnahmen

Autoren:
Brückner, Andreas; Wippermann, Frank; Leitel, Robert; Dannberg, Peter; Buß, Wolfgang; Höfer, Bernd; Bräuer, Andreas; Duparré, Jacques
28

Tragbares Stopped-Flow Gerät basierend auf Mikrofluidik und optischer Detektion

Autoren:
Frese, I.; Bleul, R.; Höth, J.; Brunklaus, S.; Kresanek, B.; Ritzi-Lehnert, M.; Drese, K. S.
29

LIGA - Neues von Tiefenlithographie und Abformung

Autoren:
Schulz, Joachim; Lemke, Stephanie; Schulz, Joachim; Mohr, Juergen; Voigt, Anja; Walter, Marco; Worgull, Matthias
30

Neuer hochauflösender und laminierbarer Epoxid-Trockenresistfilm für extreme Schichtdicken

Autoren:
Wangler, N.; Beck, S.; Ahrens, G.; Voigt, A.; Grützner, G.; Müller, C.; Reinecke, H.
31

Lokale Modifikation dielektrischer Eigenschaften von glaskeramischen Hochfrequenzsubstraten

Autoren:
Bittner, Achim; Schmid, Ulrich
32

Galvanische Abscheidung von hochporösen Platin-Elektroden mit einstellbarer spezifischer Oberfläche für die implantierbare Glukose-Brennstoffzelle

Autoren:
Kloke, A.; Köhler, C.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Kerzenmacher, S.
33

Entwicklung von galvanisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperaturanwendungen

Autoren:
Teutsch, M.; Burns, D.; Bade, K.; Hemker, K. J.; Aktaa, J.
34

Materialcharakterisierung eines komplexen Metallschichtstapels für einen monolithisch-integrierten RF-MEMS Schalter

Autoren:
Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Kurth, S.; Erler, B.; Tillack, B.; Tillack, B.
35

Bestimmung der NETD von Fern-Infrarot Imagern auf Wafer-Level unter Umgebungsdruck in der Serienproduktion

Autoren:
Utz, A.; Gendrisch, L.; Brögger, D.; Weiler, D.; Vogt, H.
36

Charakterisierung eines neuen mikrostrukturierten Substrats für gassensitive, nanokristalline Metalloxide

Autoren:
Kühn, Karsten; Kannan, Srinivasan; Bütefisch, Sebastian; Rieth, Loren; Solzbacher, Florian; Schütze, Andreas
37

Kalibrierung thermischer Strömungssensoren mit monolithisch integrierten Kanälen durch Prozessparameter

Autoren:
Brauns, E.; Kropp, M.; Lang, W.
38

Hermetic Glass-Thin-Film for Wafer-Level-Packaging of Sensors and ICs

Autoren:
Leib, Jürgen; Hansen, Ulli; Maus, Simon; Zoschke, Kai; Hauck, Karin; Töpper, Michael
39

Si Stencil-Masken für die Herstellung organischer Dünnschicht-Transistoren

Autoren:
Letzkus, F.; Zaki, T.; Richter, H.; Butschke, J.; Burghartz, J. N.; Klauck, H.; Ante, F.
40

Kostengünstige und ressourceneffiziente Herstellung flexibler Leiterplatten, RFID-Antennen und Biosensoren mittels Plasma Printing & Packaging Technologie

Autoren:
Borris, Jochen; Thomas, Michael; Dohse, Antje; Lachmann, Kristina; Hochsattel, Torsten; Weidlich, Ernst-Rudolf; Klages, Claus-Peter
41

Stoffschlüssiges Laserfügen von faseroptischen Glasverbindungen für Kommunikation und Sensorik

Autoren:
Queisser, M.; Schröder, H.; Hermanns, Ch.; Lang, K.-D.
42

3D Rapid-Prototyping durch Drucken von flüssigem Metall unter Verwendung der StarJet Technologie

Autoren:
Lass, N.; Tropmann, A.; Riegger, L.; Riegger, L.; Zengerle, R.; Koltay, P.; Koltay, P.
43

Können Sensoren in Fahrzeug-Regelsystemen auch drahtlos arbeiten?

Autoren:
Acker, H.; Grasshoff, H.
44

Entwicklung von kapazitiven Dehnungsmessstreifen in Dünnschichttechnologie für drahtlose, intelligente Systeme

Autoren:
Zeiser, R.; Jörger, T.; Fellner, T.; Wilde, J.
45

Kostengünstiges zweiachsiges hochgenaues Inklinometersystem

Autoren:
Schwenck, A.; Kück, H.; Mayer, V.; Pojtinger, A.; Philipp, N.; Remer, U.
46

Entwicklung eines mechanisch hoch belastbaren Sensors für Rollkontaktbeanspruchung

Autoren:
Winkelmann, Cord; Woitschach, Ole; Meyer, Eva-Maria; Lang, Walter
47

Hybridintegration von MEMS-Strömungssensoren zur Messung kleinster Differenzdrücke

Autoren:
Billat, S.; Storz, M.; Spreitzer, W.; Moser, W.; Remer, U.; Philipp, N.; Dobmeier, M.; Reinecke, H.
48

Empfangsmikrospulenarray für Magnetresonanztomographie

Autoren:
Gruschke, O. G.; Clad, L.; Baxan, N.; Kratt, K.; Mohmmadzadeh, M.; Elverfeldt, D. von; Peter, A.; Hennig, J.; Badilita, V.; Wallrabe, U.; Korvink, J. G.; Korvink, J. G.
49

Optimierung eines Paramagnetischen Sauerstoffsensors in Mikrosystemtechnik

Autoren:
Vonderschmidt, Stefan; Müller, Jörg
50

Mikrotechnisches Sensorsystem zur Bestimmung des absoluten Feuchtegehalts von Gasen

Autoren:
Kunze, M.; Merz, J.; Kattinger, G.; Ashauer, M.; Zengerle, R.; March, B.; Steinke, A.; Hummel, W.
51

Mikrokraftsensor für Herzkatheterisierungen: Ergebnisse zur Vektorauflösung und Ausblick auf weitere Anwendungen

Autoren:
Meiss, T.; Rossner, T.; Faria, C. Minamisava; Opitz, T.; Winterholler, A.; Sossalla, A.; Werthschützky, R.
52

Mobile Diagnostiksysteme: Aktuelle Herausforderungen

Autoren:
Hartwig, Kristina; Seydack, Matthias
53

Erarbeitung eines mobilen mikrosystemtechnischen Gesamtsystems für Anreicherung, Nachweis und Charakterisierung von zirkulierenden Tumorzellen - "MiNa-CTC"

Autoren:
Weber, Jörg; Clement, Joachim; Weber, Karina; Grimm, Volker; Hoyer, Olaf
54

[RES]Check: Dezentrales Diagnostiksystem zur schnellen Erfassung viraler oder bakterieller Erreger respiratorischer Erkrankungen

Autoren:
Himmelreich, Ralf; Dahlke, Rainer; Dostatni, Ralf; Drexler, Josef; Englert, Ralf; Gerstenecker, Bernhard; Hufert, Frank; Kruska, Lothar; Luppa, Peter; Resch, Ute; Rosenkranz, Roman; Eberhard, Michael
55

Labor im Zentrifugenröhrchen zur dezentralen patientennahen Diagnostik (EasyTube)

Autoren:
Steigert, Juergen; Stetten, Felix von; Paust, Nils; Kloke, Arne; Lorenz, Michael; Beller, Klaus; Sakka, Samir G.; Detmers, Jan; Daub, Martina
56

MEMS in Global Volume Markets - Opportunities and Risks

Autoren:
Finkbeiner, Stefan
57

Entwicklung einer Verkappungstechnologie für optisch transparente NEMS/MEMS Gehäuse mit niedrigem Temperatureintrag

Autoren:
Haubold, Marco; Schubert, Ina; Leidich, Stefan; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Geßner, Thomas
58

Zuverlässigkeitsuntersuchungen an einem auf Waferlevel 3D umverdrahteten Raddrehzahlsensorsystem

Autoren:
Schmid, Bernhard; Gerner, Mathias; Loreit, Uwe; Gebhardt, Carola; Hölzl, Joachim; Rothermund, Mario; Töpper, Michael
59

Verwebbare Elektronik

Autoren:
Zysset, Christoph; Kinkeldei, Thomas; Cherenack, Kunigunde; Münzenrieder, Niko; Tröster, Gerhard
60

Herstellung und AVT von hochtemperaturtauglichen piezoresistiven Wheatstone-Brücken für Sensorik in rauen Umgebungen

Autoren:
Kaehler, J.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Peiner, E.
61

Miniaturisierte Signal-Schaltmatrix auf Basis von bistabilen Mikrorelais

Autoren:
Staab, Matthias; Büttgen, Christoph; Riemer, Darina; Schlaak, Helmut F.
62

AlN-basierte mikroelektromechanische Strukturen für Implantate

Autoren:
Heidrich, Nicola; Knöbber, Fabian; Knöbber, Fabian; Hampl, Stefan; Pletschen, Wilfried; Sah, Ram Ekwal; Cimalla, Volker; Lebedev, Vadim; Ambacher, Oliver; Ambacher, Oliver
63

Konzept und Fertigung von Komponenten eines ferrofluidischen Mikroaktors

Autoren:
Hoheisel, Dominik; Schultheis, Thanin; Schultheis, Thanin; Molella, Luca Spani; Reithmeier, Eduard; Reithmeier, Eduard; Rissing, Lutz
64

Mikrogreifer als Baukastensystem

Autoren:
Niesel, Thalke; Hoxhold, Björn; Büttgenbach, Stephanus
65

Erzeugung von elektroaktiven Polymeraktoren mittels Inkjet Drop-on-Demand zur Anwendung in mikrofluidischen Systemen

Autoren:
Pabst, Oliver; Pabst, Oliver; Perelaer, Jolke; Beckert, Erik; Schubert, Ulrich S.; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas; Tünnermann, Andreas
66

Monolothisch integrierte GMR/TMR Sensoren für Automobilanwendungen

Autoren:
Zimmer, J.; Bever, T.; Raberg, W.; Schmitt, S.; Prügl, K.
67

Integration eines Beschleunigungssensors in das ESP(R)-Steuergerät

Autoren:
Kaack, R.; Bunse, M.; Hofsäß, M.; Emmerich, H.
68

Ressourceneffizienz am Beispiel magnetoresistiver Sensoren

Autoren:
Paul, Johannes; Lehndorff, Ronald; Duret, Christophe
69

Energieautarke Mikrosysteme für automobile Anwendungen

Autoren:
Frey, Alexander; Li, Xiaoming; Hehn, Thorsten; Thewes, Marcell; Wagner, Dieter; Seidel, Julian; Schreiter, Matthias; Schienle, Meinrad; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos; Scholl, Gerd; Kühne, Ingo
70

Entwicklung von integrierten Mikrobatterien als Pufferspeicher - Li4Ti5O12 / LiMn2O4 Zellen mit organischem Gel-Elektrolyt

Autoren:
Marquardt, K.; Thunman, M.; Stolle, T.; Blechert, M.; Hahn, R.
71

Brennstoffzellen-Akkumulator mit integrierter fotoaktiver Schicht zur solaren Beladung

Autoren:
Hertkorn, D.; Bretthauer, C.; Büker, F.; Herr, B.; Müller, C.; Reinecke, H.
72

AlN-basierte piezoelektrische Mikrogeneratoren zur Energieversorgung miniaturisierter Implantate

Autoren:
Hampl, S.; Hampl, S.; Laqua, D.; Laqua, D.; Heidrich, N.; Cimalla, V.; Lebedev, V.; Polster, T.; Polster, T.; Hoffmann, M.
73

Energy Harvesting aus Vibrationsenergie: 3D-MEMS-Design und low-cost Verfahren zum Laden von Elektreten

Autoren:
Mescheder, Ulrich; Saad, Awad; Nimo, Antwi; Müller, Bernhard
74

Electric power generator for a micro heat engine

Autoren:
Ravindran, S. K. T.; Huesgen, T.; Huesgen, T.; Kroener, M.; Woias, P.
75

Nickel-Kohlenstoffschichten für Druck- und Kraftsensoren

Autoren:
Schultes, Günter; Schmid-Engel, Hanna; Probst, Anne-Catherine; Uhlig, Steffen; Göttel, Dirk; Bock, Jochen; Bambauer, Jörn; Speicher, Tobias; Lambert, Martin; Koppert, Ralf; Werner, Ulf; Berger, Shlomo; Zohar, Keren
76

Methoden für die Automatisierte Handhabung von Biomaterialien für die Verwendung als Nano-Bonddrähte in der AVT

Autoren:
Weigel-Jech, Michael; Mikczinski, Manuel; Bartenwerfer, Malte; Fatikow, Sergej
77

Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen

Autoren:
Greiner, F.; Eberhardt, J.; Schlaak, H. F.
78

Silizium Nanodraht-Transistoren für biomedizinische Anwendungen

Autoren:
Vu, Xuan-Thang; Koppenhöfer, Dieter; Ingebrandt, Sven
79

MicroTEC Südwest - Intelligente Lösungen für globale Herausforderungen

Autoren:
Neuy, Christine
80

mst-Netzwerk Rhein-Main e.V. - Steigerung der regionalen Wertschöpfung durch Forschungskooperationen und nachhaltige Vernetzung

Autoren:
Slatter, R.; Ralle, T.; Schlaak, H. F.
81

Mittelstand in der Mikrosystemtechnik - veränderte Rahmenbedingungen erfordern neue Kooperationskonzepte

Autoren:
Kleinkes, Uwe
82

Lessons learnt - Erfahrungen bei der Entwicklung mit Elementen der Mikro- und Nanotechnologie

Autoren:
Herrnsdorf, Johannes
83

Sensornetzwerke integriert in textilverstärkten Verbundwerkstoffen

Autoren:
Heinig, Andreas; Kunadt, Andreas; Fischer, Wolf-Joachim; Pfeifer, Günther
84

Autarkes Sensornetzwerk zur Überwachung von Hochspannungsleitungen

Autoren:
Voigt, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Leidich, S.; Meinig, M.; Kurth, S.; Geßner, T.; Geßner, T.; Keutel, T.; Zhao, Xinming; Kanoun, O.; Lissek, S.; Lissek, S.; During, H.; Rusek, B.; Brockmann, C.; Großer, V.; Braunschweig, M.; Krumm, R.
85

Flexibles taktiles Sensorarray für Robotik- und Prothetikanwendungen

Autoren:
Häfner, Joachim; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried
86

Herausforderungen der verteilten Ereigniserkennung in drahtlosen Sensornetzen

Autoren:
Dziengel, Norman; Ziegert, Marco; Adler, Stephan; Kasmi, Zakaria; Schiller, Jochen
87

Vergleichende Tests von Mikrobrennstoffzellensystemen

Autoren:
Hahn, R.; Wagner, S.; Blechert, M.; Lang, K.-D.; Lang, K.-D.
88

Strukturierung von Siliziumsubstraten für integrierte 3D-Dünnschichtbatterien

Autoren:
Bohne, L.; Trautmann, A.; Pirk, T.; Jaegermann, W.
89

Biobrennstoffzellen zur Energieversorgung von Mikrosystemen: vom energieautarken Implantat hin zum dezentralen Umwelt-Monitoring

Autoren:
Kerzenmacher, S.; Danzer, J.; Kipf, E.; Kloke, A.; Kloke, A.; Köhler, C.; Rubenwolf, S.; Sané, S.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Gescher, J.
90

Piezoelektrische Multilayer-Generatoren aus PVDF-Folie

Autoren:
Bischur, Enrico; Schwesinger, N.
91

Entwicklung eines Brennstoffzellenakkumulators zur Energieversorgung von autonomen Mikrosystemen

Autoren:
Zimmermann, Dominik; Zimmermann, Dominik; Becker, Jing; Müller, Claas; Reinecke, Holger
92

Wasserstofferzeugung im NaBH4-Mikroreaktor - Katalysatorentwicklung

Autoren:
Hahn, T.; Höppner, K.; Hahn, R.; Lang, K.-D.; Lang, K.-D.
93

Mikrostrukturierter Plasmareaktor für Atmosphärendruck-Brennstoffreformierung

Autoren:
Marchesseault, Andrew; Büttgemach, Stephanus
94

Entwicklung und Design von selbstatmenden Mikrobrennstoffzellen für autarke Sensoren mit pulsförmiger Last

Autoren:
Weiland, M.; Wagner, S.; Hahn, R.; Reichl, H.
95

Neue Bearbeitungsstrategie und Fügetechnik für mikrooptische Bauteile und Systeme

Autoren:
Wagner, Mario; Dilger, Klaus
96

Realisierung eines integrierten mikro-optischen Fluoreszenzdetektors

Autoren:
Grewe, A.; Amberg, M.; Stoebenau, S.; Sinzinger, S.
97

Modular Adaptierbare Mikrooptische Systeme für die Mess- und Nachrichtentechnik

Autoren:
Schüle, S.; Hengsbach, S.; Sieber, H.; Müller, F.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Leuthold, J.
98

Piston-Effekt freier Mikrodrehspiegel für Laserinterferometrie in SOI Technologie

Autoren:
Kronast, Wolfgang; Mescheder, Ulrich; Müller, Bernhard; Nimo, Antwi
99

Erster Prototyp eines Siliziumphotomultipliers im CiS

Autoren:
Long, L.; Brodersen, O.; Hiller, E.; John, W.; Ortlepp, H. G.; Preuß, D.; Röder, R.; Ziegler, S.; Schneider, F.; Pulko, J.; Renker, D.
100

Herstellung großflächiger optischer Gitter mittels Röntgentiefenlithographie und anschließender Stapelung

Autoren:
Börner, Martin; Hofmann, Andreas; Hummel, Benjamin; Mohr, Jürgen; Lohrke, H.; Brunner, Robert
101

Miniaturisierte Wolter-Optiken für harte Röntgenstrahlen

Autoren:
Last, A.; Marschall, F.; Mohr, J.; Nazmov, V.; Simon, M.; Vogt, H.
102

Einsatz von Bidirektionalen Mikrodisplays in der Messtechnik als invers-konfokaler Sensor

Autoren:
Großmann, C.; Großmann, C.; Zwick, S.; Perske, F.; Baumgarten, J.; Herold, R.; Brenner, S.; Vogel, U.; Riehemann, S.; Notni, G.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
103

SiO2 Membransysteme zur Abstimmung von photonischen SOI-Wellenleitern

Autoren:
Amthor, Julia; Horn, Oliver; Lipka, Timo; Savov, Angel; Müller, Jörg
104

Anwendungen der Schwingquarzsensorik in der Hämostaseologie - Miniaturisierung und Automatisierung

Autoren:
Oberfrank, S.; Drechsel, H.; Northoff, H.; Gehring, F. K.; Gehring, F. K.
105

INHUEPRO: Sensorsystem für den Einsatz in Implantaten

Autoren:
Holland, Hans-Jürgen; Grätz, Hagen; Braunschweig, Markus; Kuntz, Michael
106

Herstellung eines Mikroaktors zur Anregung der Perilymphe bei Schwerhörigkeit

Autoren:
Creutzburg, T.; Cvetkovi?, S.; Rissing, L.
107

Polymerbasierte neuronale Mikroelektrode mit integriertem Lichtwellenleiter

Autoren:
Rubehn, Birthe; Stieglitz, Thomas
108

Vollautomatisches Lab-on-a-Chip-System mit integrierter Probenaufarbeitung zur Durchführung von ELISA-Tests

Autoren:
Brunklaus, Sabine; Stein, Volkmar; Jakubowski, Michael; Welzel, Knut; Frese, Ines; Ritzi-Lehnert, Marion; Drese, Klaus Stefan
109

Mikrosensorimplantat (MSI) für das Monitoring von Fremdkörperreaktionen

Autoren:
Kubon, M.; Moschallski, M.; Ensslen, T.; G. Link; Werner, S.; Burkhardt, C.; Urban, G.; Stelzle, M.
110

Mikrofluidisches Lab-on-a-Chip System zur Prozessierung von Immunoassays mit integrierter Probenvorbereitung

Autoren:
Roth, G.; Roth, G.; Roth, G.; Lutz, S.; Welte, G.; Mark, D.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Stetten, F. von; Stetten, F. von
111

Wachstumsstimulation von Fibroblasten mit Platin/PEDOT Elektroden auf hochflexiblen Folien

Autoren:
Saß, Wiebke; Blume, Grit; Faschian, Rebecca; Goepfert, Christiane; Müller, Jörg
112

Micropatterned ultrathin polymer films for the design of live-cell microchips

Autoren:
Petersen, S.; Prucker, O.; Rühe, J.; Biesalski, M.
113

Querschnittslähmungsimplantat QLIMP

Autoren:
Voß, Christian; Müller, Jörg
114

Entwicklung eines Arrays aus Mikronadelelektroden für biomedizinische Anwendungen

Autoren:
Röhler, S.; Held, J.; Nisch, W.; Kern, D. P.; Burkhardt, C.; Stett, A.
115

MEMS Strömungssensoren für die Notfallbeatmung

Autoren:
Hedrich, F.; Billat, S.; Storz, M.; Kattinger, G.; Dietz, F.
116

Hochflexibles Endoskop aus Silikon

Autoren:
Kaiser, Kristina; Born, André; Gast, Freia; Zehlicke, Thorsten; Zehlicke, Thorsten; Pau, Hans-Wilhelm; Müller, Jörg
117

Raman-aktiviertes Zellsortieren zur Identifikation von Tumorzellen

Autoren:
Dochow, S.; Krafft, C.; Neugebauer, U.; Freitag, I.; Henkel, T.; Popp, J.
118

Zeitlich-diskrete Oberflächenvermessung an einem Trommelfell- Spritzen-Modell mittels eines optisch aktiven Triangulationsverfahrens

Autoren:
Stamer, M.; Zehlicke, T.; Müller, J.
119

?Contact Printing: Alginat-Kapselfolien als lebende, transplantierfähige Hormonpflaster

Autoren:
Gepp, Michael M.; Ehrhart, Friederike; Böse, Thomas; Zimmermann, Heiko; Zimmermann, Heiko
120

CA-LRTI Diagnostik - Automatisierte Probenvorbereitung zur Analyse von Abstrichproben

Autoren:
Roeser, Tina; Heirstraeten, Liesbet Van; Spang, Peter; Schwind, Carmen; Álvarez, Benjamín Nieto; Serra, Marta Camps; Landgraf, Bryan E.; Guasch, Francesc; Corbera, Antoni Homs; Goossens, Herman; Malhotra-Kumar, Surbhi; Drese, Klaus Stefan; Ritzi-Lehnert, Marion
121

Mikro-Bioreaktorsysteme zur 3D-Kultivierung mit polymeren Zellträgern

Autoren:
Hampl, J.; Weise, F.; Fernekorn, U.; Schober, A.
122

A System for Orientation and Acceleration Estimation in an Artificial Vestibular System

Autoren:
Al-Jawad, A.; Romanovas, M.; Klingbeil, L.; Traechtler, M.; Mergner, T.; Fennell, L.; Manoli, Y.
123

Neue In-Vitro Assays mit der "CellCartridge": Kombination von Kryokonservierung und Lebend-Zell Mikroskopie

Autoren:
Gepp, Michael M.; Ehrhart, Friederike; Zimmermann, Heiko; Zimmermann, Heiko
124

Cilia-based Micro Actuators - Efficient Production of Carbon-Fiber Cilia

Autoren:
Carrasco, A.; Pott, P.; Schlaak, H.
125

Entwicklung einer neuen Verbindungstechnik für Smart Labels

Autoren:
Hemken, Gregor; Dilger, Klaus
126

Stromdurchführung für den Hochdruckbereich zur Signalübertragung in der Prozessmesstechnik

Autoren:
Heinickel, Patrick; Kober, Timo; Wang, Yu; Werthschützky, Roland
127

Optimierung des Mikro-Fertigungsprozesses durch Kombinationsbearbeitung

Autoren:
Neumann, F.; Kunz, St.
128

Membran- und Cantileverherstellung mittels ICP-Kryo-Tiefenätzverfahren aus Silizium-Bulk-Material

Autoren:
Merzsch, S.; Wasisto, H. S.; Waag, A.; Peiner, E.
129

Mikrostanzen - Einsatz von einkristallinem Silizium als Werkzeugwerkstoff für Schneidprozesse von dünnen Folien

Autoren:
Becsi, L.; Hildering, S.; Mescheder, U.; Engel, U.
130

Integration von Metallfolien in Polymerschichtsysteme mittels Laserdurchstrahlschweißens

Autoren:
Brettschneider, Thomas; Dorrer, Christian; Czurratis, Daniel; Zengerle, Roland; Daub, Martina
131

Laser-Mikroschneiden von schrägen Durchkontaktierungen

Autoren:
Kagerer, Markus; Behlert, Regine; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.
132

Experimentelle Untersuchung und theoretische Betrachtung zur gravimetrisch kontrollierten IR-Trocknung dicker SU-8-Schichten

Autoren:
Schönfeld, Maik; Saupe, Jens; Vogel, Jürgen; Aßmann, Heiko; Cappek, Manfred; Lemke, Stephanie; Löchel, Bernd; Grimm, Jürgen
133

Fertigung & Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten

Autoren:
Chen, Jue; Ruffert, Christine; Rissing, Lutz
134

Auslegung, Fertigung und Charakterisierung von galvanogeformten Miniaturfaltenbälgen

Autoren:
Kuehn, Matthias; Schroeer, Stefan; Berger, Nadine; Mueller, Claas; Reinecke, Holger; Reinecke, Holger
135

Stickpacks zur langzeitstabilen Vorlagerung von Reagenzien in Lab-on-a-Chip-Systemen

Autoren:
Oordt, T. van; Smetana, J.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.
136

Fertigungskette zur nachbearbeitungsfreien Herstellung von polymeren Mikrohohlnadelarrays

Autoren:
Rieper, Tina; Welte, Gregor; Müller, Claas; Hochstein, David; Auber, Johannes; Schumacher, Axel; Spieth, Sven; Reinecke, Holger; Reinecke, Holger
137

Zylindrische Kupfer-Mikrospulen eingebettet in SU-8

Autoren:
Jakobs, Frank; Hertzberg, Thomas; Lang, Walter; Güttler, Jens
138

DLC-Beschichtung auf SU-8-Fotoresist für piezoresistive Anwendungen in der Kraftsensorik

Autoren:
Jordan, Alexa; Petersen, Mirjana; Bandorf, Ralf; Büttgenbach, Stephanus; Klages, Claus-Peter; Klages, Claus-Peter
139

Piezowiderstände aus polykristallinem Silizium durch Aluminiuminduzierte Kristallisation

Autoren:
Uhlig, Steffen; Rau, Stephan; Schultes, Günter
140

Einsatz von verlorenen Formen für die Herstellung von mikrofluidischen Strukturen mittels der Hot Melt Ink Drucktechnologie

Autoren:
Kain, A.; Müller, C.; Reinecke, H.; Reinecke, H.
141

Druckluft-unterstütztes thermisches Deckeln folienbasierter Lab-on-a-Chip Kartuschen

Autoren:
Kosse, Dominique; Buselmeier, Dirk; Müller, Claas; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Stetten, Felix von; Stetten, Felix von
142

Mikrosysteme auf Basis der Mehrkomponentenmikrospritzgießtechnologie

Autoren:
Schulze, Robert; Heinrich, Michael; Wegener, Michael; Schüller, Martin; Kroll, Lothar; Gessner, Thomas; Gessner, Thomas
143

Smarte adaptive-optische Mikrosysteme - Aufbautechnologie und thermomechanische Charakterisierung

Autoren:
Burkhardt, T.; Burkhardt, T.; Bruchmann, C.; Bruchmann, C.; Kamm, A.; Hornaff, M.; Beckert, E.; Gebhardt, S.; Müller, J.; Hoffmann, M.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
144

Ultrakurzpuls-Laserbearbeitung von Silizium-Mikrosystemen

Autoren:
Hänel, J.; Bleul, K.; Zolk, M.; Keiper, B.; Petsch, T.; Bonitz, J.; Kaufmann, C.
145

Aktivierungsverfahren für das Niedertemperatur-Silizium-Direkt-Bonden

Autoren:
Täschner, Robert; Hiller, Erik
146

AVT bei normal geschlossenen, piezoelektrischen Mikroventilen

Autoren:
Menacher, M.; Zähringer, S.; N. Schwesinger
147

Aufbau- und Verbindungstechnik für intelligente Implantate am Beispiel eines Druckmesssystems für die Pulmonalarterie (COMPASS)

Autoren:
Müntjes, Jutta; Meine, Sonja; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried
148

Automatisierte Bestückung von LEDs basierend auf Self-Assembly

Autoren:
Burgard, Matthias; Mai, Uwe; Verl, Alexander
149

Lokales Mikroschweißen als post-process Technologie zur permanen-ten Reduzierung des Elektrodenabstandes von HARMS

Autoren:
Nowack, Markus; Leidich, Stefan; Reuter, Danny; Kurth, Steffen; Küchler, Matthias; Bertz, Andreas; Gessner, Thomas
150

Automatisierung der Fertigungstechnik für hochintegrierte 12x aktive optische Kabel

Autoren:
Blank, T.; Wohlfeld, D.; Lemke, F.; Brüning, U.; Twardy, S.; Riemer, O.
151

Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren

Autoren:
Ionescu, E.; Crespiera, S. Martinez; Schlosser, M.; Schlaak, H. F.; Riedel, R.
152

Wirtschaftliche Fertigung dünnwandiger Mikrobauteile in technischen Polymeren mittels Tiefziehen (μ-Blistering)

Autoren:
Schmidt, Thomas; Müller, Claas; Reinecke, Holger
153

Hochintegrierte hermetische Durchführungen für implantierbare Neuroprothesen

Autoren:
Ordonez, Juan S.; Keller, Mark; Schuettler, Martin; Günther, Thomas; Wilde, Jürgen; Suaning, Gregg Jørgen; Stieglitz, Thomas
154

Niedrigtemperatur-Direktbonden von Silizium-, Borosilikat- und Quarzglaswafern und der Einfluss von Funktionsschichten

Autoren:
Eichler, Marko; Hennecke, Phillip; Michel, Benedikt; Klages, Claus-Peter; Klages, Claus-Peter
155

Photostrukturierbares Glas und Glaskeramiken als mechanisches Bauteil

Autoren:
Link, Stefan; Häfner, M.; Dietrich, T.
156

Untersuchungen zum Inkjet-Druck von SU-8

Autoren:
Wegener, Thomas; Wegener, Michael
157

Elektrochemisches Polieren von 3D-Mikrosystemen hergestellt mittels Mikrofunkenerosion

Autoren:
Lesche, Claudia; Stegemann, Daniel; Krah, Thomas; Büttgenbach, Stephanus
158

Elektrochemische Abscheidung von Pd/Zn-Multilagen für das Fügen mit reaktiven Materialsystemen

Autoren:
Besser, J.; Braeuer, J.; Wiemer, M.; Gessner, T.; Gessner, T.
159

Elektromotorischer Greifer für die Montage feinwerktechnischer und mikrotechnischer Systeme

Autoren:
Firat, Özgür; Hofmann, Andreas; Hummel, Benjamin; Bertsch, Benjamin; Bretthauer, Georg; Bretthauer, Georg
160

Mikrobearbeitung von Polymeren auf Basis nachwachsender Rohstoffe für mikrofluidische Systeme

Autoren:
Otto, T.; Enderlein, T.; Nestler, J.; Morschhauser, A.; Klenert, P.; Geßner, T.
161

Ein Verfahren zur Herstellung von funktionalen Mikrostrukturen mit sehr hohem Aspektverhältnis durch komplementäre Stützstrukturen

Autoren:
Nazmov, Vladimir; Last, Arndt; Marschall, Felix; Mohr, Jürgen; Simon, Markus; Vogt, Harald
162

Entwicklung und Integration eines Hochratensputterprozesses für Blei-Zirkonat-Titanat-Dünnschichten

Autoren:
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.; Ortner, K.; Jung, T.; Jakob, A.; Tiefensee, F.
163

Schneller und kostengünstiger Herstellprozess eines Messing-Abformwerkzeugs für das Mikroheißprägen

Autoren:
Kögler, Daniela; Kaese, Wolfgang; Strobelt, Tilo
164

Konstruktionskatalog für mechanische, elektrische und magnetische Eigenschaften von galvanisch abgeschiedenem Nickel

Autoren:
Winterstein, Thomas; Staab, Matthias; Riemer, Darina; Schlaak, Helmut F.
165

Mikrofluidisches Multifunktionsbauteil aus sterilisierbarem thermoplastischem Elastomer zur Integration von Siliziumchips in Polymere

Autoren:
Naegele, Lars; Müller, Claas; Schoth, Andreas; Reinecke, Holger; Reinecke, Holger
166

Mikroaktor zur Manipulation von Nanopartikeln zum Gentransfer

Autoren:
Kaiser, Matthias; Flick, Eva; Rissing, Lutz
167

Neuartiges Mikroventil mit dielektrischen Elastomeraktoren für den Einsatz in einem Mikrobrennerarray

Autoren:
Schlosser, M.; Flittner, K.; Ionescu, E.; Toma, L.; Riedel, R.; Schlaak, H. F.
168

A Multifunction pump based on microfabricated electromagnetic actuator

Autoren:
Al-Halhouli, Ala’aldeen; Waldschik, Andreas; Kilani, Mohammed; Büttgenbach, Stephanus
169

Nutzung UV aushärtender Polymere zum Aufbau elektrostatischer Aktuatorik

Autoren:
Lange, N.; Lange, N.; Wippermann, F.; Beckert, E.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
170

Messung der thermoelektrischen Eigenschaften von Silizium-Nanosäulen

Autoren:
Stranz, A.; Kähler, J.; Merzsch, S.; Waag, A.; Peiner, E.
171

Optisch gepulste Mikroplasmaquelle für die Integration von Nanotomographie in eine Nanomessmaschine

Autoren:
Polster, Tobias; Mehner, Hannes; Oeder, Andreas; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
172

CNT- und CNT/Polymer-Komposit-Elektroden für die Neuronale Diagnostik

Autoren:
Gerwig, R.; Fuchsberger, K.; Herrmann, T.; Stelzle, M.
173

Mittels Nanostrukturierung optimierte Bimorph-Biegeaktoren großer Auslenkung

Autoren:
Müller, Lutz; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin
174

Oberflächenverstärkte Raman-Spektroskopie (SERS) auf laserlithografisch nano-strukturierten Oberflächen für empfindliche Analytik

Autoren:
Mohammadi, L. Ben; Hundertmark, N.; Kullmann, F.; Fleißner, F.; Klotzbücher, T.
175

Magnetisches Nanoaktorsystem

Autoren:
Hartbaum, J.; Jakobs, P.; Leiste, H.; Kohl, M.
176

Mikrothermoformen und Mikroblasformen nanostrukturierter Polymerfilme - Replikationsverfahren zur Mikro-Nano-Integration

Autoren:
Heilig, Markus; Schneider, Marc; Hamm, Veronika; Dinglreiter, Heinz; Worgull, Matthias
177

Multielektroden Array mit Elektroden aus Kohlenstoff Nanoröhren für die extrazelluläre Ableitung von Aktionspotentialen

Autoren:
Nick, C.; Nick, C.; Joshi, R.; Schlaak, H. F.; Schneider, J. J.; Thielemann, C.
178

Strukturierte Herstellung und In-Situ Erzeugung von metallischen Mikro- und Nanodrahtarrays in Mikrosystemen

Autoren:
Quednau, Sebastian; Schlaak, Helmut F.
179

Mechanical Stress Measurements with the microDAC Stress Chip

Autoren:
Schindler-Saefkow, F.; Schindler-Saefkow, F.; Rose, F.; Otto, A.; Rzepka, S.; Wunderle, B.; Wunderle, B.; Michel, B.
180

Dreidimensionale Verformungsanalyse von MEMS/NEMS mittels Röntgencomputertomographie

Autoren:
Hammacher, Jens; Dost, Michael; Faust, Wolfgang; Scheiter, Lutz; Erb, Rolf; Rzepka, Sven; Michel, Bernd
181

Bestimmung der mechanischen Stabilität ultradünner Chips

Autoren:
Endler, S.; Angelopoulos, E. A.; Harendt, C.; Hoang, T.; Rempp, H.; Burghartz, J. N.
182

SPR Technologie zur Multi-Parameter-Analyse auf polymeren Chips

Autoren:
Danz, Norbert; Kick, Alfred; Sonntag, Frank; Schmieder, Stefan; Mertig, Michael; Mertig, Michael; Klotzbach, Udo
183

Produktionsbegleitende Prozesskontrolle und Qualitätssicherung für die Sensorchip-Fertigung in mittleren und hohen Volumen: Konzepte und Beispiele

Autoren:
Doms, Marco; Schug, Christoph
184

Bestimmung des Gütefaktors bei hochresonanten Mikrostrukturen mittels eines logarithmischen Verstärkers

Autoren:
Voigt, Sebastian; Tenholte, Dirk; Franke, David; Geßner, Thomas; Mehner, Jan
185

Breitbandige On-Wafer-Kalibriernormale in Membrantechnologie

Autoren:
Rohland, Martina; Rohland, Martina; Arz, Uwe; Kuhlmann, Karsten; Büttgenbach, Stephanus
186

Optisches Vermessen von Mikrosystemen in Abhängigkeit von der Beleuchtungsfarbe

Autoren:
Boese, Christoph; Büttgenbach, Stephanus
187

Ein Smart Label zum Auslesen und Übertragen von Temperaturwerten basierend auf organischer Elektronik

Autoren:
Pankalla, Sebastian; Ganesan, Ramkumar; Glesner, Manfred; Krumm, Jürgen; Ludwig, Klaus
188

Entwicklung von Dünnschichtsensoren mit kleiner Strukturbreite auf dünnen isolierenden Schichten

Autoren:
Schmaljohann, F.; Hagedorn, D.; Buß, A.; Kumme, R.; Löffler, F.
189

Multisensormodul für die Mikroverfahrenstechnik

Autoren:
Frank, Thomas; Brokmann, Geert; Herbst, Steffen; Steinke, Arnd
190

5-Loch-Sonde mit integrierter Sensorik zur Messung hochfrequenter Druckschwankungen

Autoren:
Beutel, Tobias; Niesel, Thalke; Leester-Schädel, Monika; Pa?es, Pavel; Büttgenbach, Stephanus
191

AlN basierte Sensoren auf Basis flexibler Substrate für energieautarke Sensorsysteme

Autoren:
Grosser, Michaela; Braun, Timo; Seidel, Helmut; Feili, Dara
192

Sensorentwicklung für energieautarke Mikrosysteme in Werkzeugmaschinen

Autoren:
Staufenbiel, Sebastian; Biehl, Saskia; Lampe, Christina; Bertram, Oliver
193

Piezoresistive Dünnschichtsensorik auf Basis amorpher Kohlenwasserstoffschichten

Autoren:
Biehl, Saskia; Staufenbiel, Sebastian; Hauschild, Frank; Wolf, Lisa; Wagner, Hannes
194

Dünnschichtsensorik zur Online-Überwachung von Scherschneidprozessen

Autoren:
Biehl, Saskia; Staufenbiel, Sebastian; Hauschild, Frank; Kräusel, Verena; Mintenbeck, Dieter
195

Kapazitive Sensormessungen innerhalb eines piezogetriebenen Mikrosystems

Autoren:
Warkentin, Karsten; Baumann, Ulrich
196

Materialintegrierte Sensorschicht basierend auf Quantum-Dot- Lumineszenz

Autoren:
Martin, Jörg; Piasta, Doreen; Kießling, Torsten; Otto, Thomas; Gessner, Thomas; Staudinger, Ulrike; Demir, Emrah; Pötschke, Petra; Voit, Brigitte
197

Kontaktfreie quantitative Volumenbestimmung dispensierter Nanolitertropfen mittels eines kapazitiven Tropfensensors

Autoren:
Ernst, A.; Ernst, A.; Zengerle, R.; Koltay, P.; Koltay, P.
198

Performance Modeling and Characterization of AlN Resonator

Autoren:
Qiu, H. C.; Qiu, H. C.; Schwarz, P.; Feili, D.; Wu, X. Z.; Seidel, H.
199

Untersuchungen zur Kombination von Heißfilmen und piezoresistiver Drucksensorik auf einem Chip

Autoren:
Beutel, Tobias; Holle, Ansgar; Leester-Schädel, Monika; Büttgenbach, Stephanus
200

Combined Simulation of a Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor

Autoren:
Gao, J.; Gao, J.; Müller, W. F. O.; Greiner, F.; Eicher, D.; Weiland, T.; Weiland, T.; Schlaak, H. F.
201

Entwurf und Herstellung hybrider dreiachsiger Sensormodulkonzepte

Autoren:
Goj, Boris; Dittrich, Lars; Dumstorff, Gerrit; Erbe, Torsten; Hoffmann, Martin
202

Softwaregesteuerte Kalibrierung eines Si-Kraftsensors für die automatisierte Zellinjektion

Autoren:
Ferreira, Nelson; Beutel, Tobias; Bergmann, Christian; Büttgenbach, Stephanus
203

PIMMS, ein universell einsetzbares Mikromassenspektrometer

Autoren:
Quiring, Grigoriy; Reinhardt-Szyba, Maria; Müller, Jörg
204

Mikroelektromechanischer Acoustic Emission Sensor mit inhärenter Störunterdrückung und Bandpass-Charakteristik

Autoren:
Sorger, Alexander; Auerswald, Christian; Dienel, Marco; Shaporin, Alexey; Mehner, Jan
205

Geregelte Auslese eines AMR-Sensors mit impliziter Digitalisierung des magnetischen Eingangssignals

Autoren:
Kuderer, M.; Monastyrnyy, S.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
206

Simulation und Verifikation der Vibrationsempfindlichkeit von mikromechanischen Drehratensensoren im Automobilbereich

Autoren:
Lohmann, Jasmin; Albrecht, Veit; Schmid, Bernhard
207

Optoelektronischer Rauheitssensor auf Basis kompakter Strahler-Empfänger-Baugruppen Roughness sensor based

Autoren:
Will, Matthias
208

Fehlerfrüherkennungssystem für Flugzeugpropeller auf Basis integrierter MFC-Sensoren

Autoren:
Ruemmler, Norbert; Schlott, Friedrich; Riesberg, Florian; Gesch, Helmuth; Harasim, Anton; Leschik, Josef; Schmitt-Walter, Stefan; Albrecht, Martin G.
209

Architektur eines Integrierten AMR Stromsensor (IACS) Systems für einen weiten Anwendungsbereich

Autoren:
Nebeling, Andreas; Schreiber-Prillwitz, Wolfgang; Manteuffel, Glenn von
210

Messanordnung zur Optimierung mechanischer Spannungen an Siliziumsensoren

Autoren:
Strutzberg, H.; Geiler, H.
211

Adaptive Digital Signal Processor based on Floating Point Units for Rapid Prototyping of Electronic Units in Adaptronic Systems

Autoren:
Samman, Faizal Arya; Samman, Faizal Arya; Glesner, Manfred; Glesner, Manfred
212

MicroSpec - Portables multispektrales Analysesystem

Autoren:
Dornbusch, K.; Schimmelpfennig, M.; Feller, K.-H.
213

Design and modeling of thermally excited microcantilever sensors for airborne nanoparticles mass detection

Autoren:
Wasisto, H. S.; Doering, L.; Merzsch, S.; Kaehler, J.; Waag, A.; Uhde, E.; Peiner, E.
214

Kompaktes photoakustisches Gasmesssystem und Strategien zur weiteren Miniaturisierung

Autoren:
Müller, Andreas; Müller, Andreas; Eberhardt, André; Schmitt, Katrin; Wöllenstein, Jürgen; Wöllenstein, Jürgen
215

Ein neuartiger paramagnetischer Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnik auf Basis eines Anisotropen-Magnetoresistiven-Effekt-Magnetfeldsensors

Autoren:
König, Florian; Müller, Jörg
216

Sensorsystem zur thermischen Analyse von Gasgemischen

Autoren:
Kliche, Kurt; Billat, Sophie; Messner, Stephan; Zengerle, Roland
217

Digitaler Druck einer Hydrogelmatrix für das Einbetten von Zellen in künstlichen Zellverbänden

Autoren:
Rubenwolf, Stefanie; Niekrawietz, Sonja; Schöndube, Jonas; Gross, André; Yusof, Azmi; Liang, Dong; Koltay, Peter; Koltay, Peter; Zengerle, Roland; Roth, Günter
218

Kostengünstige Fertigung großflächiger Druckköpfe durch Lamination von Trockenlacken auf vorstrukturierte Polymersubstrate

Autoren:
Kalkandjiev, Kiril; Gutzweiler, Ludwig; Zengerle, Roland; Koltay, Peter; Koltay, Peter
219

Freistehende Siliziumoxid-Mikrokanäle für biophysikalische Messungen und Mikroskopie

Autoren:
Feindt, H.; Zhang, D.; Wang, Y.; Burg, T. P.
220

Improved Machine Vision for Single Cell Printing

Autoren:
Liang, D.; Gross, A.; Schöndube, J.; Rubenwolf, S.; Yusof, A.; Ernst, A.; Ernst, A.; Zengerle, R.; Roth, G.; Koltay, P.; Koltay, P.
221

Silicium-Membranpumpe in Oberflächen-Mikromechanik

Autoren:
Dannenberg, A.; Dorrer, C.; Reichenbach, R.; Zengerle, R.
222

Strömungssimulation als Methode zur Optimierung von mikrofluidischen Chipsystemen

Autoren:
Schimmelpfennig, M.; Harz, S.; Büttner, B.; Feller, K.-H.
223

Automatisiertes Drucken einzelner Zellen mittels eines kontaktfreien Druckverfahrens im Picoliterbereich

Autoren:
Schöndube, J.; Yusof, A.; Gross, A.; Rubenwolf, S.; Liang, D.; Roth, G.; Zengerle, R.; Koltay, P.; Koltay, P.
224

Herstellung und Charakterisierung perforierter und poröser Membranmodulen für Mikro- und Nanofiltration

Autoren:
Kovacs, A.; Mescheder, U.
225

Theoretische Analyse und Simulation eines Zellkultur-Arrays mit integrierter Konzentrationsreihe für Drug Discovery-Anwendungen

Autoren:
Kreher, Heike; Kireenko, Ludmilla; Feili, Dara; Seidel, Helmut
226

Zwei Lab-on-a-Chip-Einweg-Kartuschen zur DNA-Aufreinigung bzw. Genotypisierung in leicht modifizierten Standard-Laborgeräten

Autoren:
Focke, Maximilian; Müller, Martina; Mark, Daniel; Stumpf, Fabian; Roth, Günter; Roth, Günter; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland
227

IR thermocycler for centrifugal microfluidic platform with direct on-disk wireless temperature measurement system

Autoren:
Burger, J.; Gross, André; Mark, Daniel; Stetten, Felix von; Stetten, Felix von; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Roth, Günter; Roth, Günter; Roth, Günter
228

Fluidischer Separator für Zweiphasengemische

Autoren:
Eichler, Marko; Nagel, Krees; Hennecke, Philipp; Klages, Claus-Peter
229

Mikropumpe für Mikrobioreaktoren

Autoren:
Weise, F.; Hampl, J.; Klett, M.; Schober, A.
230

Hochgeschwindigkeits-3D-Geometrievermessung von Phasengrenzen in Mikrokanälen

Autoren:
Malsch, Daniell; Mayer, Günter; Kielpinski, Mark; Henkel, Thomas
231

Microfluidic-Laboratory-Disc: Basisplattform für die Implementierung von Einweg-Lab-on-a-Chip-Systemen

Autoren:
Kielpinski, M.; Steinbrecht, B.; Mayer, G.; Henkel, T.
232

Kontinuierliche Flüssig-Flüssig-Extraktion in Mikrosystemtechnik

Autoren:
Bohne, Sven; Fagaschewski, Janosch; Liese, Andreas; Hilterhaus, Lutz; Müller, Jörg
233

3D-Mikroelektroden als Werkzeuge für die Manipulation von Partikeln in Mikrofluidikkanälen

Autoren:
Boettcher, M.; Jaeger, M.; Stuke, M.; Duschl, C.
234

Erzeugung monodisperser Mikropartikel aus wässrigen Lösungen

Autoren:
Tropmann, Artur; Lass, Nils; Paust, Nils; Ziegler, Christoph; Zengerle, Roland; Koltay, Peter
235

Adressierung mehrdimensionaler Konzentrationsräume in der Mikrofluidsegmenttechnik

Autoren:
Günther, P. M.; Schneider, S.; Groß, A.; Köhler, J. M.
236

Abbildung von Erfahrungswissen zur Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikrotechnik

Autoren:
Albers, Albert; Turki, Tarak
237

Fehlertolerante und fertigungsgerechte Entwurfsauslegung mikrooptischer Systeme

Autoren:
Sieber, Ingo
238

Ein Funktionskatalog zur Unterstützung verteilter und hybrider Produktentstehungsprozesse in der Mikrosystemtechnik

Autoren:
Albers, Albert; Börsting, Peter; Matthiesen, Sven
239

Methodik und Werkzeuge für die kundenspezifische Produktentwicklung von Mikro- und Nanosystemen

Autoren:
Schmidt, Thilo; Hahn, Kai; Ortloff, Dirk; Popp, Jens; Mielke, Matthias; Brück, Rainer
240

Numerische Multiphysiksimulationen für mikrofluidische LifeScience- Anwendungen

Autoren:
Hagmeyer, B.; Zibek, S.; Zibek, S.; Stelzle, M.
241

Realization of nonlinear hardening springs with predefined characteristic for vibration transducers based on beam structures

Autoren:
Spreemann, D.; Folkmer, B.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
242

System-Simulation eines MEMS-basierten piezoelektrischen Energy-Harvester Moduls

Autoren:
Hohlfeld, Dennis; Bechtold, Tamara; Rudnyi, Evgenii; Schaijk, Rob van
243

HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung

Autoren:
Leidich, Stefan; Kurth, Steffen; Nowack, Markus; Bertz, Andreas; Frömel, Jörg; Kaufmann, Christian; Gessner, Thomas; Akiba, Akira; Ikeda, Koichi
244

Steuerbares MEMS-Irisfilter für W-Band Hohlleiteranwendungen

Autoren:
Dassinger, F.; Kohlstedt, A.; Fritzsch, C.; Jakoby, R.; Schlaak, H. F.
245

Inductively coupled RF resonators for wireless NMR analysis

Autoren:
Badilita, Vlad; Fassbender, Birgit; Kratt, Kai; Sakellariou, Dimitris; Korvink, Jan G.; Korvink, Jan G.; Wallrabe, Ulrike
246

Kapazitiver MEMS-Mischer und Signalfilter für wake up receiver

Autoren:
Kurth, S.; Voigt, S.; Leidich, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Geßner, T.; Geßner, T.
247

Einsatz energieautarker Mikrosysteme zur Zustandserfassung von Kugelgewindetrieben in Werkzeugmaschinen

Autoren:
Denkena, B.; Möhring, H.-C.; Bertram, O.
248

ThermoHarvesting - Lebenslang kostenlose Energie für Funksensoren und Mikrosysteme

Autoren:
Habbe, Burkhard
249

Hocheffizientes piezoelektrisches Energy Harvesting System mit neuartiger selbstregelnder 'Direct-SSHI' Interfaceschaltung

Autoren:
Becker, P.; Hong, W.; Hoffmann, D.; Hymon, E.; Folkmer, B.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
250

Neuartige hochohmige Dünnschicht-Folien-DMS für Wireless Condition Monitoring

Autoren:
Fellner, T.; Wilde, J.; Zeiser, R.; Jörger, T.; Törk, M.; Reindl, L.
251

Energieautarker EDW-Sensor im Fahrzeug

Autoren:
Li, X.; Li, X.; Spreemann, D.; Hehn, T.; Kühne, I.; Thewes, M.; Frey, A.; Scholl, G.; Wagner, D.; Manoli, Y.

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