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Rubrik: Proceedings
- GMM-Fachberichte
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GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai 2007 in Karlsruhe GMM-Fachbericht Band 53
2007, 264 Seiten, DIN A4, kartoniert,
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115,00 € Fachbuch
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Der Workshop wird aus der Vielzahl der Forschungsergebnisse den aktuellen Stand der Technik in konzentrierter Form vermitteln, neue Entwicklungsperspektiven in wichtigen Fertigungstechnologien und Materialsystemen aufzeigen und nicht zuletzt Anregungen für neue Ideen geben. Auch wirtschaftliche Aspekte der Fertigungsverfahren werden behandelt.
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Mikrosystemtechnik – eine Zukunftstechnologie mit wirtschaftlichem Risiko?Autoren:
Herrnsdorf, Johannes
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Oberflächenmikromechanik - Schlüsseltechnologie für Automotive und ConsumersensorenAutoren:
Bischof, Udo
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| 3 |
Bulksiliziummikromechanik, Entwicklungstendenzen und BeispieleAutoren:
Wiemer, M.; Frömel, J.; Hiller, K.; Reuter, D.; Jia, C.
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| 4 |
Silizium-Technologien für leistungsfähige, multi-axiale Sensorcluster auf einem ChipAutoren:
Link, Thomas; Trächtler, Martin; Nommensen, Peter; Auber, Johannes; Reinecke, Holger
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| 5 |
Neue Technologie zur Herstellung monokristalliner Silizium-Membranen auf Basis von porösem SiliziumAutoren:
Knese, K.; Armbruster, S.; Benzel, H.; Schelling, C.; Brasas, J.; Lammel, G.; Illing, M.; Seidel, H.
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| 6 |
Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44Autoren:
Schirmer, Matthias
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| 7 |
Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8Autoren:
Eicher, Dirk; Schlaak, Helmut F.
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| 8 |
Fertigung von Formeinsätzen über die galvanische Replikation von polymeren MikrobauteilenAutoren:
Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.; Manegold, S.; Matthis, B.; Heckele, M.
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| 9 |
Galvanoformung von Mikro-TrennmembranenAutoren:
Wohlgemuth, Christian; Werthschüztky, Roland
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| 10 |
Anwendung des Direkt-LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem AspektverhältnisAutoren:
Löchel, Bernd; Bednarzik, Martin; Waberski, Christoph
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| 11 |
Legierungsabscheidung für LIGA-Mikroteile und Werkzeugen am Beispiel von Ni-Fe und Ni-WAutoren:
Bade, K.; Haj-Taieb, M.; Haseeb, A. S. M. A.
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| 12 |
Innovative Mikrofertigung: Mehrkomponenten-MikrospritzgießenAutoren:
Piotter, V.; Plewa, K.; Prokop, J.; Ruprecht, R.; Haußelt, J.
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| 13 |
Modifizierung von Polymereigenschaften durch nanoskalige DotierstoffeAutoren:
Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas; Böhm, Johannes; Böhm, Johannes; Ritzhaupt-Kleissl, Eberhard; Ritzhaupt-Kleissl, Eberhard; Schumacher, Benedikt; Schumacher, Benedikt; Haußelt, Jürgen; Haußelt, Jürgen
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| 14 |
Alternative Kunststoffreplikationstechniken als zukünftige Fertigungstechniken in der Mikro- und NanotechnikAutoren:
Heckele, M.; Mehne, C.; Truckenmüller, R.; Worgull, M.
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| 15 |
Erfahrungen zum Einsatz von niedrigviskosen Bindersystemen beim Spritzgießen von keramischen MikrobauteilenAutoren:
Bauer, Werner; Hanemann, Thomas; Heldele, Richard; Müller, Marcus
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| 16 |
Mikrostrukturierung von Glas am Beispiel mikrofluidischer ProdukteAutoren:
Dietrich, Thomas R.
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| 17 |
Mikrostrukturierung von GlasAutoren:
Hülsenberg, Dagmar; Brokmann, Ulrike; Hesse, Annett; Ludwig, Yvonne; Mrotzek, Susanne
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| 18 |
Formwerkzeuge für Anwendungen von Mikro bis NanoAutoren:
Kouba, Josef; Schondelmaier, Daniel; Rudolph, Ivo; Walter, Antje; Schleunitz, Arne; Ropers, Greta; Mai, Alexander; Loechel, Bernd
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| 19 |
Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch MikrozerspanungAutoren:
Gietzelt, T.; Eichhorn, L.
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| 20 |
Erosives Drehen für Mikro- und Nanostrukturierung als TechnologieerweiterungAutoren:
Neumann, Frank; Kunz, Stefan
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| 21 |
Lasergestützte Prozesse für Polymerwerkstoffe in der Mikro- und Nanotechnik - Strukturierung, Modifizierung und VerbindungstechnikAutoren:
Pfleging, Wilhelm; Lorenz, Julia; Schierjott, Phillip; Welle, Alexander; Wilson, Sandra; Wilson, Sandra
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| 22 |
Mikro-Nano-Integration für die MikrosystemtechnikAutoren:
Coskina, Paradiso
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| 23 |
Neue piezoelektrische Materialien für die MikroaktorikAutoren:
Kügeler, Carsten; Pithan, Christian; Böttger, Ulrich; Waser, Rainer; Waser, Rainer
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| 24 |
Toroid-Mikroinduktoren mit magnetischen Nanokompositen für HF-AnwendungenAutoren:
Schürmann, Ulrich; Greve, Henry; Hettstedt, Falk; Quandt, Eckhard; Quandt, Eckhard; Gerber, Andreas; Schmutz, Clemens; Zaporojtchenko, Vladimir; Knöchel, Reinhard; Faupel, Franz
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| 25 |
Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMSAutoren:
Böhm, S.; Dilger, K.; Raatz, A.; Hemken, G.; Rathmann, S.
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| 26 |
Technologie pyrotechnischer Bauelemente mit porösem SiliziumAutoren:
Völlmeke, Stefan; Bartuch, Herbert
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| 27 |
SU-8 als Material für die Fertigung hochpräziser LIGA-RöntgenlinsenAutoren:
Last, A.; Reznikova, E.; Last, A.; Nazmov, V.; Nazmov, V.; Simon, M.
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Großflächige Erzeugung nanoskaliger Punktstrukturen im Sub-100nm-Bereich durch KantenabscheidungAutoren:
Wolff, Karsten; Hilleringmann, Ulrich
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Vom Mini- zum Mikrogetriebe mit Hilfe der Direkt-LIGAutoren:
Kirsch, Udo; Degen, Reinhard
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Herstellung mikrostrukturierter Metallteile durch MikrogussAutoren:
Baumeister, Gundi
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Heißprägen mit einem SilikonkautschukprägestempelAutoren:
Mayr, Andreas; Sommer, Stefanie; Strobelt, Tilo; Osterwinter, Heinz
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PDMS – Möglichkeiten und Designrichtlinien zur Prototypen- und Kleinserienfertigung funktioneller Strukturen in SilikonAutoren:
Göttsche, Thorsten; Gronmaier, Roland
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| 33 |
Herstellung von polymeren Permanentstrukturen durch NanoimprintAutoren:
Schleunitz, Arne; Kouba, Josef; Schondelmaier, Daniel; Löchel, Bernd
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| 34 |
Hybridtechnologie zur Herstellung von FormeinsätzenAutoren:
Jurischka, R.; Blattert, C.; Tahhan, I.; Schoth, A.; Müller, C.; Reinecke, H.
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| 35 |
Entwicklung und Optimierung der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten FormeinsätzenAutoren:
Guttmann, Markus; Erdmann, Gunnar; Laier, Rupert; Winkler, Frank
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Modelluntersuchungen zum Verschleiß- und Entformungsverhalten von Formeinsatz-Werkstoffen für das Mikro-PulverspritzgießenAutoren:
Schneider, Johannes; Milich, Marcel; Gahr, Karl-Heinz zum
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| 37 |
Untersuchung der Biegebruchfestigkeit beschichteter Hartmetall- MikrofräserAutoren:
Muster, Frank; Füting, Manfred; Theumer, Torsten; Petzold, Matthias; Schauer, Kai
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| 38 |
Laser Trimming of Micro Mirror DevicesAutoren:
Hänel, Jens; Keiper, Bernd; Bleul, Karsten; Kaufmann, Christian; Bonitz, Jens
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| 39 |
Laserbearbeitung von glasartigem Kohlenstoff zur Produktion von Mikrofluidstrukturen für die Herstellung von RadiopharmakaAutoren:
Scheuenpflug, Michael; Schmöller, Markus; Lüth, Tim
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Entwicklung eines elektronenstrahlbasierten MikroProduktions-ZentrumsAutoren:
Böhm, S.; Dilger, K.; Tanasie, G.; Zäh, M.; Reiter, A.; Franzkowiak, M.; Baertle, J.; Löwer, T.
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| 41 |
Untersuchung der Grenzflächenreaktionen Glaslot-gebondeter MikrosystemeAutoren:
Böttge, Bianca; Graff, Andreas; Dresbach, Christian; Bagdahn, Jörg
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| 42 |
Mikrofertigungstechniken zur Strukturierung von porösen Materialien für die DünnschichtchromatografieAutoren:
Chemnitz, Steffen; Kugelbrey, Karl; Stoyanov, Ivan; Werner, Martin; Bornemeier, Jan; Tewes, Michael
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ESPI für MST und Life SciencesAutoren:
Foitzik, Andreas H.; Göpfrich, Armin; Pfüger, Markus; Uhlig, Katja; Chrzumnicka, Ewa; Vogt, Thomas; Inwersen, Jan
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