Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen

Konferenz: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
10.05.2010 - 11.05.2010 in Darmstadt, Germany

Tagungsband: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik

Seiten: 5Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Schlosser, Michael; Staab, Matthias; Schlaak, Helmut F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Merckstraße 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)

Inhalt:
Photolithographisch hergestellte Lackformen ermöglichen es Metall galvanisch abzuformen. Für Strukturhöhen über 150 µm ist der Photoresist SU-8 verbreitet. Vollständig vernetzter SU-8 weist eine hohe chemische Resistenz auf, die das Entfernen stark erschwert. In dieser Arbeit werden angepasste Prozessparameter vorgestellt, die einen geringeren Vernetzungsgrad des SU-8 erzeugen. Hierdurch ist es nun möglich, SU-8 mit einfachen nasschemischen Methoden wieder zu entfernen. Signifikante Auswirkungen auf den Vernetzungsgrad haben unter anderem Temperatur, Belichtungsdosis und Backzeiten. Das Reduzieren der Temperatur auf 50 °C für 30 min nach der UV-Belichtung resultiert in einer Resistenz gegen den Lackentwickler, ermöglicht aber ein Herauslösen mit dem Lösungsmittel N-Methyl-2-pyrrolidon auch aus schmalen Metallstrukturen.