Authors:
Voigt, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Leidich, S.; Meinig, M.; Kurth, S.; Geßner, T.; Geßner, T.; Keutel, T.; Zhao, Xinming; Kanoun, O.; Lissek, S.; Lissek, S.; During, H.; Rusek, B.; Brockmann, C.; Großer, V.; Braunschweig, M.; Krumm, R.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011