VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Hrsg)

GMM-Fb. 74: Mikro-Nano-Integration

Beiträge ses 4. GMM-Workshops 12. bis 13. November 2012 in Berlin

GMM-Fachberichte

2012, 94 pages, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-3473-3
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title

Content

Mikro-Nano-Integration rückt näher an die Anwendungen heran - so kann man sicher den aktuellen Trend zusammenfassen. So werden derzeit in zahlreichen Forschungsprojekten die Möglichkeiten der Mikro-Nano-Integration für die unterschiedlichsten Anwendungsbereiche evaluiert, das Kick-Off fand am Vortag des dritten Workshops Mikro-Nano-Integration in Stuttgart statt.

1

1D-Nanostructures for 3D-Packaging

Authors:
Aryasomayajula, Lavanya; Graf, Matthias; Wolter, Klaus-Jürgen
2

Nanotechnologien im Packaging – Neue Materialien und Verfahren für die Mikrosystemtechnik

Authors:
Roscher, Frank; Bräuer, Jörg; Baum, Mario; Besser, Jan; Seifert, Tobias; Wiemer, Maik; Gessner, Thomas
3

Health Monitoring durch In-situ Messung der Eigenspannungen im Package

Authors:
Rost, F.; Schindler-Saefkow, F.; Otto, A.; Rzepka, S.; Michel, B.
4

DNA-Hybridisierungs-assay basierend auf der Biofunktionalisierung von Nanodrähten

Authors:
Leiterer, Christian; Seise, Barbara; Slowik, Irma; Brönstrup, Gerald; Niepelt, Raphael; Weber, Karina; Ronning, Carsten; Christiansen, Silke; Fritzsche, Wolfgang
5

Direct integration of carbon nanotubes on CMOS with high-temperature tungsten metallization

Authors:
Jupe, A.; Hoeren, A.; Goehlich, A.; Meißner, F.; Endler, I.; Vogt, H.
6

Thermische und mechanische Eigenschaften von Widerständen aus gedruckten Kohlenstoffnanoröhren

Authors:
Ilchmann, A.; Keck, J.; Eberhardt, W.; Borgiel, F.; Polzinger, B.; Kück, H.
7
8

Enhancement of Humidity Barrier Properties of Polymers with Micro- and Nano-sized Filler Particles

Authors:
Braun, T.; Bauer, J.; Georgi, L.; Becker, K.-F.; Koch, M.; Aschenbrenner, R.; Lang, K.-D.
9

Charakterisierung des feuchteinduzierten Schwellverhaltens von mikroelektronisch relevanten Werkstoffsystemen

Authors:
Walter, H.; Bauer, J.; Braun, T.; Hölck, O.; Wunderle, B.; Keller, J.; Wittler, O.; Lang, K.-D.
10
11

Sensorfilter – ein intelligentes Mikro-Filtersystem in Folientechnologie für Anwendungen in Prozesskontrolle, Zellkultur und Life Sciences

Authors:
Alberti, Martin; Meixner, Leonhard; Rückerl, Andreas; Eder, Maximilian; Endres, Hanns-Erik; Bock, Karlheinz
12

Concept of the PaTra - particle transporter with Simulated Particle movement

Authors:
Rockenbach, Alexander; Brücker, Christoph; Schnakenberg, Uwe
13

Flüssigkeitsanalyse mittels Fractional-Order Sensoren

Authors:
Schmitt, Bastian; Schütze, Andreas; Biswas, Karabi
14

Erkennung von flüchtigen organischen Verbindungen mit Hilfe von mikro-nanostrukturierten Sensoren

Authors:
Schüler, Marco; Sauerwald, Tilman; Reimann, Peter; Schütze, Andreas
15

Nanorobotische Strategien zur Handhabung, Charakterisierung und Synthese von Graphen

Authors:
Zimmermann, S.; Eichhorn, V.; Fatikow, S.
16

Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen

Authors:
Kovacs, A.; Ivanov, A.; Malisauskaite, A.; Mescheder, U.
17

Einsatz von integrierten Nanostrukturen in Mikrosystemen

Authors:
Dassinger, Florian; Quednau, Sebastian; Greiner, Felix; Schlaak, Helmut F.; Hottes, Martin; Stegmann, Christian; Rauber, Markus; Ensinger, Wolfgang; Trautmann, Christina