VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Hrsg)

MikroSystemTechnik Kongress 2013

Von Bauelementen zu Systemen 14.-16. Oktober 2013 in Aachen

2013, 880 pages, Kartonhülle, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-3555-6
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Content

Die Mikrosystemtechnik und die Elektronik mit ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Leistungselektronik haben sich in den letzten Jahren zunehmend von der Realisierung reiner Komponenten hin zur Realisierung vernetzter intelligenter Systeme entwickelt.
Dieser Kongress hat sich mit ca. 900 Teilnehmern zum bedeutendsten nationalen Forum für Elektronik- und Mikrosysteme entwickelt.

1

LabTube – eine innovative Plattform zur Assay-Automatisierung in Laborzentrifugen

Authors:
Fiebach, Ana R.; Zhang, Shuo; Drechsel, Lisa; Kloke, Arne; Fritzemeier, Nina; Wulff, Dörte; Steigert, Jürgen; Stetten, Felix von; Zengerle, Roland; Paust, Nils
2

Zentrifugo-thermopneumatisches Aliquotieren auf der LabDisk und Anwendung zum DNA-basierten Nachweis verschiedener Bakterien

Authors:
Keller, M.; Focke, M.; Strohmeier, O.; Reith, P.; Roth, G.; Mark, D.; Zengerle, R.; Stetten, F. von
3

Räumlich modulierte Fluoreszenz für die miniaturisierte Durchflusszytometrie

Authors:
Baßler, Michael; Myagmar, Khaliun; Sommer, Christian; Quint, Stephan
4

Fluidischer Partikeltransport an Grenzflächen durch aktorisch bewegte Mikrohaare mit schaltbarer Nanostrukturierung

Authors:
Rockenbach, A.; Kunder, M.; Uhlmann, P.; Brücker, C.; Hess, A.; Schnakenberg, U.
5

Mikrofluidisches Modell der Blut-Hirn-Schranke

Authors:
Kiessling, Heiko; Stelzle, Martin; Schütte, Julia
6

Mehrachsiger piezoelektrischer Aktuator für optische Komponenten

Authors:
Kampmann, Michael; Stoppel, Fabian; Quenzer, Hans-Joachim; Kaden, Dirk; Janes, Joachim; Wagner, Bernhard
7

Freiform Einzelschicht-Biegewandler: Neue Designfreiheit für Piezoaktoren

Authors:
Wapler, Matthias C.; Brunne, Jens; Wallrabe, Ulrike
8

Vom Sattel bis zur Sphäre: Piezobiegeaktoren mit variabler Oberflächenkrümmung

Authors:
Stürmer, Moritz; Wapler, Matthias C.; Brunne, Jens; Wallrabe, Ulrike
9
10
11

AMR vs. GMR vs. TMR – Eigenschaften, Unterschiede, Anwendungen

Authors:
Doms, Marco; Paul, Johannes; Lehndorff, Ronald; Grimm, Hubert
12

Implementierung einer magnetischen Δ-Σ-Rückkopplung zur Regelung der Auslese eines AMR-Magnetfeldsensors

Authors:
Kuderer, M.; Nouna, R.; Keller, M.; Mintenbeck, D.; Manoli, Y.
13

MEMS based magnetoelectric field sensor characteristics under vacuum and after heat treatment

Authors:
Lofink, F.; Marauska, S.; Jahns, R.; Kirchhof, Ch.; Claus, M.; Knöchel, R.; Quandt, E.; Wagner, B.
14

Gedruckte ferritkernbasierte Ringkernspulen als Magnetfeldsensoren

Authors:
Keck, J.; Polzinger, B.; Eberhardt, W.; Kück, H.; Giousouf, M.; A. Kießling,; Schreivogel, A.; J. Kostelnik,
15
16

Silicium-Platin Nanostrukturen für hochgradig Infrarot-emissive Oberflächen in Hotplate-Emittern

Authors:
Müller, Lutz; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Biermann, Steffen
17

Neuartige laserinduzierte ITO Nanodrähte für Gassensorik-Anwendungen

Authors:
Afshar, M.; Preiß, E.; Sauerwald, T.; Schütze, A.; Feili, D.; Seidel, H.
18

Gold-Nanodrähte auf Mikroelektroden zur extrazellulären Ableitung elektrogener Zellen

Authors:
Nick, C.; Quednau, S.; Sarwar, R.; Thielemann, C.; Schlaak, H. F.
19

Nano-modifiziertes flexibles Mikroelektroden-Array mit integriertem CMOS-Chip für medizinische Anwendungen

Authors:
Winkin, N.; Gierth, U.; Michaelis, A.; Mokwa, W.; Rabbow, T.
20

Enabling efficient design of self-supplied SSHI-circuit for piezoelectric MEMS energy harvester

Authors:
Hohlfeld, Dennis; Sayed, Fatma; Eker, Muharrem; Rudnyi, Evgenii; Bechtold, Tamara; Korvink, Jan G.
21

Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie

Authors:
Mescheder, Ulrich; Gu, Qingyun; Müller, Bernhard
22
23
24

Gehäusetechnologien für SAW-Filter, MEMS-Mikrofone und Drucksensoren

Authors:
Feiertag, Gregor; Waber, Tobias; Bauer, Christian; Krüger, Hans; Leidl, Anton; Pahl, Wolfgang; Seitz, Stefan
25

TSVs mit hohem Aspektverhältnis und Kupfer-Bonden für MEMS

Authors:
Hofmann, Lutz; Baum, Mario; Schulz, Stefan. E.; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas
26

Aufbau konfigurierbarer Kamera-Mikrosysteme durch Kombination mikrotechnischer Verfahren

Authors:
Barth, M.; Beyer, S.; Graf, H.-G.; Scheithauer, H.; Keßler, U.; Eberhardt, W.; Kück, H.
27

3D-Assemblierungsverfahren für intrakortikale Sondenarrays

Authors:
Barz, Falk; Paul, Oliver; Ruther, Patrick
28

Elektrostatische und fluidische Selbstassemblierung für die hochgenaue Mikro-Montage von MEMS

Authors:
Mouselimis, Konstantinos; Gan, Yifei; Huhn, Andreas; Wilde, Jürgen
29

Opto-mechanische Mikrosysteme zur hyperspektralen Bildgebung

Authors:
Grewe, A.; Endrödy, C.; Fütterer, R.; Cu-Nguyen, P.-H.; Steiner, S.; Hillenbrand, M.; Correns, M.; Hoffmann, M.; Linß, G.; Zappe, H.; Seifert, A.; Kley, E. B.; Sinzinger, S.
30

Flachbauende Multiaperturkameras mit Freiformarrays hergestellt in Wafer Level Technologie

Authors:
Dunkel, J.; Brückner, A.; Reimann, A.; Wippermann, F.; Bräuer, A.
31

Mikrooptisches head-mounted Display

Authors:
Schreiber, Peter; Sieler, Marcel
32

Planar integrierte opto-fluidische Mikrosysteme aus PMMA für die Partikelanalyse

Authors:
Hofmann, Meike; Müller, Ralf; Grewe, Adrian; Brodersen, Olaf; Sinzinger, Stefan
33
34

Ein CMOS-Stresskartierungssystem mit 24 FET-basierten Stresssensoren für intelligente kieferorthopädische Brackets

Authors:
Kuhl, Matthias; Gieschke, Pascal; Paul, Oliver; Manoli, Yiannos
35

Smart Tooth

Authors:
Becker, Felix; Sander, Christian; Schmidt, Falko; Lapatki, Bernd; Paul, Oliver
36

Klinische Erprobung eines intraoralen Medikamentendosiersystems mit telemedizinischem Therapiemonitoring

Authors:
Herrlich, S.; Nouna, Rachid; Spieth, Sven; Zengerle, R.
37

Kapazitive integrierte Drucksensoren für ein implantierbares System zur drahtlosen Druckmessung in der Pulmonalarterie

Authors:
Gembaczka, P.; Görtz, M.; Kordas, N.; Lerch, R.; Müntjes, J.; Kraft, M.; Mokwa, W.
38

Adaptive Mikrolinsen basierend auf Aluminiumnitrid Membranen

Authors:
Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
39

Thermisch aktuierbare asphärische Mikrospiegel

Authors:
Pauls, M.; Brunne, J.; Wallrabe, U.
40

7mm-MEMS-Spiegel für einen omnidirektionalen Laserscanner

Authors:
Hofmann, Ulrich; Senger, Frank; Stenchly, Vanessa; Hagge, Jürgen; Mallas, Christian; Wantoch, Thomas von; Janes, Joachim; Benecke, Wolfgang
41

Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten

Authors:
Kovacs, A.; Malisauskaite, A.; Ivanov, A.; Mescheder, U.
42
43

Heterogeneous 3D Integration for Smart Systems

Authors:
Wolf, Juergen; Lang, Klaus-Dieter
44

Smart Packaging in der Fertigung von Elektroniksystemen

Authors:
Wolf, J.; Kostelnik, J.
45
46

Flexible Systeme in Folie – Intelligente Haut für Maschinen

Authors:
Harendt, Christine; Burghartz, Joachim N.
47
48

Laser-Rangefinder auf Basis von MEMS-Spiegeln für adaptive Robo-tik

Authors:
Bogatscher, Siegwart; Streck, Andreas; Fox, Maik; Meinzer, Sebastian; Stork, W.
49

Absolute Positionsbestimmung mit magnetoresistiven Sensoren

Authors:
Voss, A.; Meisenberg, A.; Pieper, R.; Bartos, A.
50
51

Mobile Robotik in der Halbleiterfertigung

Authors:
Pollack, Steffen
52
53

Kohlenstoff-dotierter-Fotolack als Elektrodenmaterial für die in-situ Messung von Nitrit

Authors:
Wahn, L.; Behrendt, L.; Hemanth, S.; Trieu, H. K.
54

Echtzeit Analyse von Spurenkontaminationen in wässrigen Lösungen im ppb-Bereich

Authors:
Bauhuber, Michael; Hutterer, Albert; Hummel, Helmut; Lechner, Alfred
55
56

Mikro-Helmholtzspule mit austauschbaren, mikrofluidischen Probenbehältern für MRT-Mikroskopie und -Spektroskopie

Authors:
Spengler, N.; Moazenzadeh, A.; Meier, R. Ch.; Badilita, V.; Korvink, J. G.; Wallrabe, U.
57

Mikrokraftsensor als Transfernormal für die Kalibrierung von Antastkräften

Authors:
Bütefisch, S.; Weimann, T.; Danzebrink, H.-U.; Flügge, J.; Solzbacher, F.
58

Sensitivitätssteigerung von piezoelektrischen, resonant angetriebenen Mikrosensoren durch digitale Q-Faktorverstärkung

Authors:
Kucera, Martin; Hofbauer, Franz; Wistrela, Elisabeth; Bittner, Achim; Schmid, Ulrich
59

Resonanter berührungsloser Mikrotastkopf in Silicium-Mikromechanik

Authors:
Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
60

MEMS-Testeinrichtung für die Wafer-Level-Charakterisierung von integrierten Kohlenstoffnanoröhren

Authors:
Shaporin, A.; Voigt, S.; Bonitz, J.; Hermann, S.; Hartmann, S.; Kaufmann, C.; Mehner, J.; Schulz, S. E.; Wunderle, B.; Gessner, T.
61

Funktionale 3D-Strukturierung von Keramiken zur Herstellung sensorischer Mikrosysteme

Authors:
Ziesche, Steffen; Lenz, Christian; Lohrberg, Carolin
62

CMOS basierte Mikrosystemplattformen - Integrierte Hochfrequenz-, MEMS- und Photonic-Module

Authors:
Mai, A.; Tillack, B.; Knoll, D.; Heinemann, B.; Kaynak, M.; Lischke, S.; Sorge, R.; Zimmermann, L.; Mehr, W.
63

Farb- und Multispektralsensoren mit CMOS-Nanostrukturen zur LED-Lichtsteuerung

Authors:
Junger, Stephan; Verwaal, Nanko; Tschekalinskij, Wladimir; Weber, Norbert
64

Ultradünne Siliziumchips in flexiblen Mikrosystemen

Authors:
Wolf, J.; Berschauer, K.; Gneiting, T.; Harendt, C.; Kostelnik, J.; Kugler, A.; Lorenz, E.; Rempp, H.
65

CMOS integrierte Spannungsversorgung basierend auf Mikro-Brennstoffzellen

Authors:
Moranz, C.; Kuhl, M.; Zimmermann, D.; Becker, J.; Müller, C.; Reinecke, H.; Manoli, Y.
66

LTCC Membranen mit integrierter Heizern, Temperatur- und Deh-nungssensorik

Authors:
Gutzeit, N.; Appelfelder, M.; Reinlein, C.; Fischer, M.; Müller, J.
67

Integrierte LC-Glieder in keramische LTCC-Schaltungsträger

Authors:
Bartsch, H.; Löhnert, R.; Bierlich, S.; Töpfer, J.; Barth, S.; Capraro, B.; Müller, J.
68

Entwicklung eines robusten, keramischen MEMS - Packaging als hermetisch dichtes und hoch-schockfestes SMD-Bauteil

Authors:
Goldberg, Adrian; Ihle, Martin; Ziesche, Steffen; Külls, Robert
69

Herstellung textilverstärkter Verbundbauteile mit strukturintegrierten Sensornetzwerken

Authors:
Heinig, Andreas; Weder, Andreas; Fischer, Wolf-Joachim
70

Innovationsbeschleunigung: Vorteile für Start-ups durch strategische Clusterentwicklung

Authors:
Nestle, V.; Neuy, C.; Sautter, B.; Schmierer, C.
71

Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher Güte

Authors:
Hiller, K.; Hahn, S.; Küchler, M.; Billep, D.; Forke, R.; Köhler, D.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Geßner, T.
72

Verbesserter Herstellungsprozess für dreidimensionale mikromechanische Sensoren aus SU-8-Fotoresist

Authors:
Oerke, Alexa; Büttgenbach, Stephanus; Dietzel, Andreas
73

Neues LIGA2.X Verfahren zur industriellen Fertigung von hochpräzisen Kunststoff-Mikrobauteilen

Authors:
Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Mohr, J.; Saile, V.
74

Herstellung ferroelektrischer Dünnschichten mittels direkter UV-Lithografie

Authors:
Benkler, Manuel; Paul, Florian; Hanemann, Thomas
75
76
77

Effiziente Energiewandlung mit GaN-basierter Leistungselektronik

Authors:
Waltereit, Patrick; Reiner, Richard; Müller, Stefan; Czap, Heiko; Mikulla, Michael; Ambacher, Oliver
78
79

Hocheffiziente Leistungsverstärker für drahtlose Kommunikationssysteme

Authors:
Paulo, Robert; Wolf, Robert; Fritsche, David; Ihle, David; Kreißig, Martin; Schulze, Johannes; Tzschoppe, Christoph; Ellinger, Frank
80

Energieeffiziente Sensornetze zur Anlagenüberwachung

Authors:
Niedermayer, Michael; Guttowski, Stephan; Lang, Klaus-Dieter
81
82

Kapazitive Dosierüberwachung für die Mikroschmierung von Präzisionslagern in Hochleistungsspindeln

Authors:
Kibler, S.; Meier, C.; Möller, B.; Richter, M.; Kutter, C.
83

Mikrotropfenerzeuger Hergestellt mit Rapid Manufacturing Verfahren

Authors:
Kagerer, Markus; Eiler, Kenji L.; Ottnad, Thomas; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.
84

Herausforderungen für die Anwendung von kontaktfreien Dosiertechniken in in-vitro Diagnostik (IVD) Analysesystemen

Authors:
Losleben, Nadine; Spinke, Jürgen; Zengerle, Roland; Oranth, Norbert
85

Erzeugung von Verdünnungsreihen auf einer Laborzentrifuge

Authors:
Strohmeier, O.; Rombach, M.; Mark, D.; Roth, G.; Zengerle, R.; Stetten, F. von
86

Entwicklung und Simulation passiver Mikromischer für Strömungen im Bereich niedriger Reynolds-Zahlen

Authors:
Lorenz, T.; Al-Halhouli, A. T.; Mohsen, M.; Matar, M.; Büttgenbach, S.; Dietzel, A.
87

Entwicklung von Kanalstrukturen mit dem Anwendungsziel Zytometer

Authors:
Freundlieb, M.; Schütte, H.; Schlüter, M.; Lilienhof, H. J.
88

Gasaustauschsystem mit hochgradig parallelisierten Mikrokanälen

Authors:
Rieper, T.; Wehrstein, B.; Maurer, A. N.; Müller, C.; Reinecke, H.
89

Topological microfluidic structures for rapid mixing of emulsions

Authors:
Land, K. J.; Mbanjwa, M. M.; Korvink, J. G.
90

Mikrofluidisches Chipsystem mit integriertem Elektrodenlayout für zellbasierte toxikologische Analysen

Authors:
Büttner, B.; Ott, J.; Priem, M.; Hofmann, U.; Michaelis, S.; Wegener, J.; Feller, K.-H.
91

Automatisierte Vor-Ort-Detektion von Botulinum Toxin auf der LabDisk Plattform

Authors:
Oordt, T. van; Stevens, G.; Vashist, S.; Urban, G.; Zengerle, R.; Stetten, F. von
92

DNA-Gelelektrophorese in offenen mikrofluidischen Systemen

Authors:
Gutzweiler, Ludwig; Riegger, Lutz; Koltay, Peter; Zengerle, Roland; Tanguy, Laurent
93
94

Mikrofluidisches System für Agglutinationsuntersuchungen

Authors:
Morschhauser, A.; Geidel, S.; Große, A.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
95
96

Segmentierte, geschlossene Mikrobioreaktoren für Hochdurchsatzapplikationen humaner embryonaler Stammzellen

Authors:
Meiser, I.; Primavessy, D. A. A.; Beier, A. F. J.; Gastrock, G.; Lemke, K.; Zimmermann, H.; Neubauer, J. C.
97

Mikrofluidische Partikelmanipulation mit elektrischen Feldkräften

Authors:
Ruffert, Christine; Müller, Stefan; Rissing, Lutz
98

Automatisierung der DNA Extraktion aus Vollblut unter Verwendung magnetischer Partikel auf der LabDisk Plattform

Authors:
Wadle, S.; Strohmeier, O.; Rombach, M.; Mark, D.; Zengerle, R.; Stetten, F. von
99

Immunoassay auf der LabDisk Plattform auf Basis einer Grundopera-tion zum Transfer magnetischer Partikel

Authors:
Czilwik, G.; Jin, J.; Roth, G.; Vashist, S.; Oordt, T. van; Strohmeier, O.; Stetten, F. von; Zengerle, R.; Mark, D.
100

Automatisierte elektrochemische On-Chip-Medikamentenüberwachung mit Mikropartikeln auf integrierten Magnetstrukturen

Authors:
Moschallski, Meike; Templin, Markus; Maier, Sandra; Stelzle, Martin; Becker, Holger; Möller, Andreas; Boven, Karl-Heinz
101
102

Entwicklung einer Mikrochip navigierten Zellsortieranlage

Authors:
Kahnert, S.; Goehlich, A .; Greifendorf, D.; Vogt, H.; Lennartz, K.; Kirstein, U.; Goellner, B.; Michelsen, U.; Bartels, F.
103

Mikrosysteme für die Zellmanipulation

Authors:
Garcés Diedrich, Mayra; Hoxhold, Björn; Beutel, Tobias; Ferreira, Nelson; Leester-Schädel, Monika; Büttgenbach, Stephanus; Dietzel, Andreas
104

Nanoabguss von rauen Glasoberflächen für die optische Lichtstreuung

Authors:
Döring, Christoph; Hein, Eric; Saiad, Mohamed Oulad; Fouckhardt, Henning
105

Hocheffizienter piezoelektrischer Mikrospiegel mit hohen Frequenzen und Amplituden

Authors:
Gu-Stoppel, Shanshan; Janes, Joachim; Quenzer, Hans-Joachim; Hofmann, Ulrich; Benecke, Wolfgang
106

Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsfreie aktive Membranspiegel in SOI Technologie

Authors:
Kronast, Wolfgang; Mescheder, Ulrich; Müller, Bernhard; Huster, Rolf
107
108

Parallelisierte Fertigung mikro-optischer Kameraobjektive

Authors:
Wippermann, F. C.; Reimann, A.; Dunkel, J.; Bräuer, A.
109

Mikrosystemtechnische Realisierung eines Zeitbereichsfilters für ultrakurze optische Pulse

Authors:
Bohling, M.; Jahns, J.; Mohr, J.; Börner, M.
110

Fertigung laminarer optischer Gitter am HZB

Authors:
Lemke, Stephanie; Seliger, Tino; Naß, Christopher; Göttert, Philipp; Rudolph, Ivo; Kutz, Oliver; Gwalt, Grzegorz; Nelles, Bruno; Senf, Fridmar; Löchel, Bernd
111

Gitterstrukturen mit hohem Aspektverhältnis für eine neuartige auf Phasen- und Dunkelfeldkontrast beruhende Röntgenbildgebung

Authors:
Meiser, Jan; Kunka, Danays; Meyer, Pascal; Koch, Frieder; Amberger, Maximilian; Schulz, Joachim; Walter, Marco; Mohr, Jürgen
112

Refraktive Röntgenlinsen zur Intensitätserhöhung im Spot einer Röntgenröhre

Authors:
Vogt, H.; Last, A.; Mohr, J.; Marschall, F.; Kluge, M.; Nazmov, V.; Mettendorf, K.-U.; Eisenhower, R.
113

Polarisationsunabhängige SOI-Wellenleiter und integrierte SOI-Polarisationsdreher

Authors:
Amthor, Julia; Horn, Oliver; Gong, Lin; Lipka, Timo; Trieu, Hoc Khiem; Müller, Jörg
114

Neuer optischer Sensor zur Bestimmung des Ecklastfehlers in Waagen

Authors:
Müller, Ralf; Völlmeke, Stefan; Förster, Erik
115

Miniaturisierte optische Integrationsplattform für III-N basierte opto-chemische Detektoren

Authors:
Kleindienst, R.; Cimalla, V.; Eickhoff, M.; Grewe, A.; Holc, K.; Schätzle, J.; Schörmann, J.; Schwarz, U.; Teubert, J.; Sinzinger, S.
116

Mikrolasertracker zur multisensorischen 3D-Koordinatenmessung

Authors:
Markweg, Eric; Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin
117

Prototyp eines Reachthrough-Siliziumphotomultipliers

Authors:
Long, L.; Brodersen, O.; Hiller, E.; John, W.; Ortlepp, H. G.; Röder, R.
118

Folienaktor aus einer ferromagnetischen Formgedächtnislegierung

Authors:
Pinneker, V.; Sozinov, A.; Kohl, M.
119
120
121

Herstellung von robusten und kostengünstigen Nickel-Wanderkeilaktoren

Authors:
Lämmle, D.; Schlosser, M.; Schlaak, H. F.
122

Untersuchung des Bucklingeffektes an mittels gesputtertem Wolfram vorgespannten Siliziummembranen für Mikroaktorikanwendungen

Authors:
Kirsch, C.; Feili, D.; Schmid, U.; Balck, A.; Leester-Schädel, M.; Büttgenbach, S.; Seidel, H.
123

Fertigung eines Mikroaktors zur Manipulation von Nanopartikeln auf einem Glassubstrat

Authors:
Kaiser, M.; Delyagina, E.; Steinhoff, G.; Rissing, L.
124
125

Rotatorischer Mikroaktor auf Basis des Gerotor-Prinzips mit neuartiger fluidischer Steuerung

Authors:
Leester-Schädel, Monika; Thies, Jan-Wilhelm; Schubert, Thomas; Büttgenbach, Stephanus; Dietzel, Andreas
126

Herstellung und Charakterisierung einer piezoelektrisch aktuierten bidirektionalen Polymer-Mikropumpe

Authors:
Feth, H.; Pothof, F.; Thoma, F.; Mueller, C.; Schmidt, T.; Goldschmidtboeing, F.; Woias, P.
127

Mikropumpe mit elektrostatischem Direktantrieb

Authors:
Dittrich, L.; Endrödy, C.; Hoffmann, M.
128

Konzept einer neuartigen Edelstahl-Mikropumpe für Anwendungen in Medizin und Biotechnologie

Authors:
Wald, C.; Richter, M.; Holzer, M.; Weigl, M.; Roth, S.
129

Entwicklung einer pulsationsfreien Pumpe für mikrofluidische Anwendungen

Authors:
Hoffmeier, Konrad L.; Hoffmann, Dirk; Schimmelpfennig, Michael; Feller, Karl-Heinz
130

Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung

Authors:
Hampl, S.; Leistritz, B.; Saft, B.; Hoffmann, M.; Hennig, E.
131
132

Nichtlineares Steifigkeits- und Dämpfungsmodell für weiche und harte PZT Keramiken

Authors:
Goldschmidtböing, F.; Neiss, S.; Kröner, M.; Woias, P.
133

Energy Harvesting mit einer Figur-8 Spule – in Richtung energieautonomer MRI-Messungen

Authors:
Höfflin, J.; Fischer, E.; Hennig, J.; Korvink, J. G.
134
135

Development of an Energy-Autarkic Water Meter

Authors:
Sikora, Axel; Werner, Rico; Villalonga, Pancraç; Cisneros, Andres; Becker, Philipp; Hoffmann, Daniel; Willmann, Alexander
136

Kapazitiver sensitiver Mikroschalter für autarke Mikrosysteme

Authors:
Frank, Thomas; Cyriax, Andrea; Long, Li; Steinke, Arndt
137

Simulation der Energiebilanz von autonomen mobilen Sensorsystemen

Authors:
Rombach,  S.; Meckler, S.; Manoli, Y.
138

Integrierte Sensorik für Hochtemperaturumgebungen

Authors:
Wienecke, Anja; Wurz, Marc Christopher; Rissing, Lutz
139

Sensitivitätsoptimierung von vertikalen Hallsensoren mit drei Kontakten

Authors:
Sander, C.; Cornils, M.; Vecchi, M. C.; Paul, O.
140

Absolute Positionsbestimmung mit magnetoresistiven Sensoren

Authors:
Voss, A.; Meisenberg, A.; Pieper, R.; Bartos, A.
141

Lorentzkraft-basierter MEMS 3D-Magnetfeldsensor für die Integration zu einer 1-Chip 9D IMU

Authors:
Behmüller, M.; Weiss, M.; Claus, M.; Bohse, S.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Reimer, K.
142
143

Autonomes Sensorsystem für differenzierte Bewegungsanalysen

Authors:
Beißner, S.; Dzido, R.; Elbel, T.; Kang, Z.; Lastzka, N.; Niehe, S.; Nowoisky, H.
144

Entwicklung eines Impulslärm-Dosimeters zur Untersuchung von Ge-hörschädigungen bei Menschen

Authors:
Becsi, L.; Benyoucef, D.; Bier, T.; Kronast, W.; Mescheder, U.
145

Flexible Verkapselungsschichten für intelligente Mikroimplantate

Authors:
Weinmann, Michael; Nisch, Wilfried; Stett, Alfred; Bucher, Volker; Urban, Gerald
146

Verkapselungstechniken für implantierbare integrierte MEMSDrucksensoren

Authors:
Görtz, M.; Betz, W.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kraft, M.
147

Laser-strukturierte Keramikadapter für flexible Dünnfilm-Nervenelektroden

Authors:
Fiedler, E.; Ordonez, J. S.; Kohler, F.; Stieglitz, T.
148

CMOS kompatible, nanomodifizierte Multi-Elektroden-Arrays

Authors:
Jupe, A.; Goehlich, A.; Meißner, F.; Endler, I.; Vogt, H.
149
150

Galois-Streuscheiben

Authors:
Fouckhardt, Henning; Jaax, Michael; Wolff, Sandra; Lägel, Bert
151

Horizontales Wachstum von mehrwandigen Kohlenstoffnanoröhren in Mikrogräben in Mikrosystemtechnik

Authors:
Riekeberg, S.; Nawaz, A. S.; Trieu, H. K.; Müller, J.
152

Integration und Charakterisierung von Nanostrukturen in Mikrosysteme für sensorische Anwendungen

Authors:
Quednau, S.; Dassinger, F.; Hottes, M.; Stegmann, C.; Ensinger, W.; Schlaak, H. F.
153

Nanofluidic gates for diffusion-free controlled release from microfluidic devices

Authors:
Jones, P. D.; Molares, M. E. Toimil; Trautmann, C.; Stelzle, M.
154

Mechanische Fertigung und Analyse von nanoskaligen optischen Strukturen

Authors:
Kühne, S.; Haskic, K.; Löchel, B.; Schmidt, M.
155

Flexible Mehrlagen-Schaltungen in Dünnschichttechnik: Technologien und Charakteristika

Authors:
Kaiser, Alexander; Rueß, Karin; Matej, Paul; Herbort, Christian; Holl, Bruno; Bauböck, Günther
156

Variation des intrinsischen Stressgradienten dünner Aluminiumnitridschichten

Authors:
Mehner, H.; Leopold, S.; Hoffmann, M.
157

Neue Materialien und Konzepte für Biobrennstoffzellen

Authors:
Kerzenmacher, S.; Danzer, J.; Erben, J.; Kipf, E.; Kloke, A.; Köhler, C.; Sané, S.; Zengerle, R.
158

Poröses Silizium auf SOI Substraten

Authors:
Backes, A.; Patocka, F.; Walkoun, P.; Schmid, U.
159

Untersuchung des Temperatureinflusses auf den spezifischen elektrischen Widerstand von nanokristallinem Nickel und röntgenamorphem Nickel-Phosphor

Authors:
Schnaithmann, M.; Sägebarth, J.; Sandmaier, H.; Weiland, A.; Seekamp, J.; Böhm, G.; Schäfer, W.
160
161
162

Betrachtungen zum Trocknungsverhalten mehrschichtiger Photoresistsysteme

Authors:
Schönfeld, M.; Schubert, S.; Saupe, J.; Grimm, J.
163

Anwendung eines HF-Gasphasenätzprozesses zum Freilegen von monolithisch integrierten RF-MEMS-Schaltern

Authors:
Göritz, A.; Fraschke, M.; Drews, J.; Wietstruck, M.; Tolunay, S.; Kaynak, M.; Tillack, B.
164

Bestimmung thermomechanischer Werkstoffeigenschaften von photosensitiven Polymeren mit hohem Aspektverhältnis für MEMS

Authors:
Vogel, Jürgen; Feige, Hans-Jürgen; Saupe, Jens; Grützner, Gabi; Grimm, Jürgen
165

Wasser-lösliche Opferschicht ermöglicht die low-cost Herstellung von Mikrospulen mit einem Füllgrad von 100 %

Authors:
Gruschke, O. G.; Kamberger, R.; Ho¨fflin, J.; Korvink, J. G.
166

Energiefilter für Ionenimplantation

Authors:
Krippendorf, Florian; Csato, Constantin; Bischof, Tina; Gupta, Sandeep; Han, Weiqi; Morgenroth, Wolfgang; Nobst, Michael; Ronning, Carsten; Rupp, Roland; Schewior, Andre; Wesch, Werner; Rüb, Michael
167

Monolithisch-integrierte Through-Silicon Vias für Grounding, Power Distribution Networks und System-on-Chip Anwendungen

Authors:
Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Marschmeyer, S.; Göritz, A.; Tolunay, S.; Tillack, B.
168

Tintenstrahldruck von leitfähigen und transparenten Ionengelen

Authors:
Löffelmann, U.; Mager, D.; Korvink, J. G.
169

Materialentwicklung des In-mould Labelling Prozesses für Anwen-dungen in der Mikrotechnik

Authors:
Honza, Elvira; Piotter, Volker; Hanemann, Thomas
170
171
172

Inkjet-gedruckte Diffusionsbarriere gegen Diffusion aus dotierten PECVD-Silikatgläsern

Authors:
Stüwe, David; Keding, Roman; Hahn, David; Clement, Florian; Hofmann, Marc; Woehl, Robert; Biro, Daniel; Korvink, Jan G.; Tüshaus, Christian; Doll, Oliver; Stockum, Werner; Köhler, Ingo
173
174

Fertigung mehrlagiger mikrofluidischer Papier-Systeme mittels Wachsdruck

Authors:
Hecht, Lars; Mattern, Kai M.; Dietzel, Andreas
175

Druckluftunterstützes Thermodiffusionsbonden zur Herstellung dünnwandiger Lab-on-a-Chip Kartuschen mit zwei fluidischen Ebenen

Authors:
Kosse, D.; Schwemmer, F.; Buselmeier, D.; Zengerle, R.; Stetten, F. von
176
177

Desktop Mikromontagezelle für Automatisierte Präzisionsmontagen Optischer Komponenten

Authors:
Brecher, C.; Haag, M.; Müller, T.; Haag, S.; Pyschny, N.; Härer, S.
178

Flip-Chip Technologie für Anwendungstemperaturen > 250 °C

Authors:
Heiermann, Wolfgang; Geruschke, Thomas; Ruß, Marco; Vogt, Holger
179

Technologieentwicklung für optimiertes MEMS Packaging durch Si-TSV-Rückseitenkontaktierung

Authors:
Meinecke, Ch.; Hofmann, L.; Bertz, A.; Gottfried, K.; Geßner, T.
180

Erhöhung des Integrationsgrades von Membranaktorik in LOCs mithilfe von Lasertechnologie

Authors:
Geidel, S.; Enderlein, T.; Nestler, J.; Morschhauser, A.; Otto, T.; Gessner, T.
181

Verformungsmessung von Mikrosystemen bei hohen Temperaturen mit ESPI, DIC und Holographie

Authors:
Zeiser, Roderich; Steiert, Matthias; Berndt, Michael; Wilde, Jürgen; Beckmann, Tobias; Fratz, Markus
182

Einsatz der Dielektrischen Analyse zur Untersuchung der Alterung von Polymeren bei Hochtemperaturlagerung

Authors:
Becker, K.-F.; Bauer, J.; Thomas, T.; Kahle, R.; Braun, T.; Daus, Lars H.; Aschenbrenner, R.; Lang, K.-D.
183

Elektromigrationsverhalten von Silberdünnfilmen auf LTCC

Authors:
Bittner, Achim; Backes, Andreas; Schmid, Ulrich
184

Vereinzelung von Chips mit komplexen Formen unter Verwendung von Parafilm(exp TM)

Authors:
Sun, Shen-Huei; Graf, Heinz-Gerd; Sailer, Holger; Burghartz, Joachim; Schröder, Sven; Thewes, Roland
185

Wire bonder made on-chip microtransformers for very high frequency (VHF) regime applications

Authors:
Moazenzadeh, A.; Spengler, N.; Korvink, J. G.; Wallrabe, U.
186

Hoch-integrierte hermetische Durchführungen - Designaspekte und Zuverlässigkeit

Authors:
Ordonez, Juan; Bentler, Christian; Keller, Mark; Schuettler, Martin; Stieglitz, Thomas
187
188

Flexible Heißfilm-Anemometrie-Arrays zur Strömungsmessung an gekrümmten Strukturen

Authors:
Schwerter, Martin; Beutel, Tobias; Leester-Schädel, Monika; Dietzel, Andreas; Büttgenbach, Stephanus
189

AlN auf flexiblem Substrat für langzeitstabile, energieautonome Sensorsysteme

Authors:
Hau, S.; Marschibois, M.; Seidel, H.; Feili, D.
190

Hochempfindliche Drucksensoren mit lasergerechter Messbrückenanordnung

Authors:
Göttel, D.; Cerino, M.; Schultes, G.
191
192

Direktintegration von Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannungen

Authors:
Haas, S.; Schramm, M.; Heinz, S.; Loebel, K.-U.; Reuter, D.; Bertz, A.; Horstmann, J. T.; Gessner, T.
193

Piezoresistive Sensorschichten auf der Basis von nano-Cermets für Hochtemperaturanwendungen

Authors:
Uhlig, S.; Schmid-Engel, H.; Werner, U.; Schultes, G.
194

Stressmessung beim Aufbau und Test von Mikrosystemen

Authors:
Schreier-Alt, Thomas; Chmiel, Gerhard; Ansorge, Frank; Lang, Klaus-Dieter
195

Hoch dehnungsempfindliche Ni:a-C:H-Widerstandsschichten auf Polyimidfolie

Authors:
Pelt, T.; Probst, A.-C.; Bieck, W.; Clos, H.; Uhlig, S.; Schultes, G.
196

Sensorfasern auf Basis von Ni:a-C:H-Dünnschichten und zugehörige Messelektronik

Authors:
Vollberg, D.; Uhlig, S.; Göttel, D.; Schultes, G.
197

Drahtloses Auswertesystem für kapazitive gedruckte Beschleunigungssensoren

Authors:
Göstenkors, Timo; Schindler, Rico; Schweiger, Hendrik; Bau, Roland; Zielke, Dirk
198

Dynamic analysis of the torsional resonant mode of piezoelectric microcantilevers

Authors:
Qiu, H. C.; Feili, D.; Wu, X. Z.; Seidel, H.
199

Offene Test- und Entwicklunsplattform für Mikrosysteme

Authors:
Toszkowski, G.; Dahmen, N.; Dahmen, U.; Degen, C.; Göttert, J.; Hermanns, F.
200

Kostengünstige und ressourceneffiziente Herstellung von Glukose- und Laktatsensoren mittels Plasma Printing-Technologie auf flexiblen Substraten

Authors:
Lachmann, Kristina; Thomas, Michael; Jänsch, Mareike; Hartlep, Michael; Künnecke, Wolfgang
201

Induktiv Gekoppelte Detektoren für multinukleare Kernspinresonanzspektroskopie: Vorläufige Ergebnisse

Authors:
Kamberger, R.; Gruschke, O. G.; Göbel, K.; Hövener, J. B.; Elverfeldt, D.; Utz, M.; Korvink, J. G.
202
203

Herstellung einer Messküvette als Teil eines Messsensors für Echtzeit Ölqualitätsmessungen

Authors:
Günschmann, Sabine; Mannebach, Horst; Steffensky, Jörg; Fischer, Michael; Müller, Jens
204

Sensorsystem zur Fluoreszenzdetektion in der Mikrofluidik

Authors:
Jeske, D.; Alstadt, B.; Büddefeld, J.; Göttert, J.; Klauth, P.
205

Einfluss der Morphologie auf die Sensitivität eines photonischen Biosensors

Authors:
Kovacs, A.; Malisauskaite, A.; Mescheder, U.
206

CMOS integrated free standing circular membrane for the detection of allergens and biomarkers

Authors:
Burmester, Kim; Goehlich, Andreas; Celik, Yusuf; Schmidt, Andreas; Klieber, Robert; Haas, Norbert; Greifendorf, Dieter; Vogt, Holger
207

Neues Biosensorkonzept auf der Basis der Kelvin-Methode

Authors:
Ünlübayir, S.; Kumar, P.; Trieu, H-K.
208

Rapid-Prototyping von Dünnschichtsensoren für Zellkulturchips durch direkte Strukturierung mit einem Ultra-Kurzpulslaser

Authors:
Bonk, S. M.; Oldorf, P.; Weihe, T.; Stubbe, M.; Peters, R.; Baumann, W. H.; Gimsa, J.
209

Entwicklung eines hochtemperaturfesten Kondensators für die Mikrosystemtechnik

Authors:
Celik, Y.; Goehlich, A.; Jupe, A.; Vogt, H.
210

Integration von aufgerollten Nanomembranen mittels MEMS- und Laser-basierten Herstellungsverfahren

Authors:
Helke, C.; Enderlein, T.; Morschhauser, A.; Nestler, J.; Harazim, S. M.; Schmidt, O. G.; Otto, T.; Gessner, T.
211

Prozesskette zur Herstellung von polymeren Mikrohohlnadeln mittels UV Imprint-Lithographie

Authors:
Welte, G.; Rieper, T.; Schumacher, A.; Schmelz, M.; Müller, C.; Reinecke, H.
212

Fertigung von Mikrotaststiften und kugelförmigen Mikrokavitäten mittels Mikrofunkenerosion

Authors:
Ferreira, N.; Metz, D.; Krah, T.; Richter, C.; Dietzel, A.; Härtig, F.; Büttgenbach, S.
213

Microfluidic Design Automation für den Entwurf anwendungsspezifischer Lab-on-a-Chip Systeme

Authors:
Gleichmann, Nils; Malsch, Daniell; Horbert, Peter; Henkel, Thomas
214

Innovativer Ansatz eines Expertensystems für die Entwicklung von Mikrosystemen

Authors:
Boese, Christoph; Rustemeyer, Thomas; Dietzel, Andreas
215

Virtuelles Design nano- und mikroporöser Materialien für Energieanwendungen

Authors:
Thiele, S.; Erben, J.; Hutzenlaub, T.; Zengerle, R.
216

Einfluss der Materialverteilung in porosizierter LTCC auf die effektive Permittivität durch finite 3D Feld-Simulation

Authors:
Steinhäußer, F.; Talai, A.; Koelpin, A.; Weigel, R.; Bittner, A.; Schmid, U.
217

Modeling the adhesion between nanoneedle surfaces bonded based on Velcro® or Gecko principle

Authors:
Keshavarzi, Shervin; Mescheder, Ulrich; Reinecke, Holger
218