VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Hrsg)

MikroSystemTechnik Kongress 2015

MEMS, Mikroelektronik, Systeme 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe

2015, 870 pages, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-4100-7
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Content Foreword

Der Mikrosystemtechnik kommt eine Schlüsselrolle bei der Bewältigung vieler Herausforderungen an unsere Gesellschaft zu. Sie liefert technische Beiträge zu Lösungen der Energiefragen, zum Erhalt unserer Umwelt und Gesundheit, zur Unterstützung der Mobilität sowie zum weiteren Ausbau von Information und Kom­mu­nikation. Sie nimmt auch eine zentrale Rolle in der nächsten Phase der Industrialisierung ein – das Stichwort ist hier Industrie 4.0 – und ist ebenso ein Kernelement in Visionen und Konzepten für unsere Zukunft, die unter Überschriften wie Cyber Physical Systems, TSensor, Systems oder auch Internet of Things erarbeitet werden. Auf der technischen Ebene steht für die Mikrosystemtechnik die Entwicklung neuer Produktions- und Fertigungsverfahren im Vordergrund mit Themen wie Integrationsverfahren für Systeme, maskenfreie Ver­fah­­ren sowie das Upscaling der Nanotechnologien.

GMM – VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)
Die GMM hat die Aufgabe, die wissenschaftliche und technische Entwicklung im Bereich der Mikroelektronik, Mikrosystem-, Nano- und Feinwerktechnik sowie deren breite Anwendungen zu fördern. Sie initiiert den dazu erforderlichen Dialog zwischen Herstellern, Anwendern und Wissenschaft und bildet ein Forum für Diskussionen über diese Techniken in der Öffentlichkeit. Die GMM vertritt die Belange der in ihr vertretenen Arbeits- und Fachgebiete gegenüber politischen Entscheidungsträgern und bringt ihre Fachkompetenz in die Gestaltung der Förderpolitik ein.

 


1

SmartSkin - Eine intelligente Haut für adaptiv bionische Greifer

Authors:
Saller, Stefan; Harendt, Christine; Kostelnik, Jan; Schreivogel, Alina; Mahsereci, Yigit; Burghartz, Joachim N.
2

Multifunktionale Dünnschichtsensormodule zur Überwachung von Produktionsprozessen

Authors:
Biehl, Saskia; Rumposch, Christian; Paetsch, Nancy; Meyer-Kornblum, Eike
3

Charakterisierung von Oberflächenablagerungen mit einem Mikrobiegebalken-Tastsensor im Kontakt-Resonanzmodus

Authors:
Suryo Wasisto, Hutomo; Suryo Wasisto, Hutomo; Dang, Ruochen; Doering, Lutz; Brand, Uwe; Peiner, Erwin; Peiner, Erwin
4

Ein dreiachsiger oszillierender Mikrotaster für die Koordinatenmesstechnik

Authors:
Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
5
6

Smartphone-based rapid and highly sensitive immunoassay for human fetuin A

Authors:
Venkatesh, A. G.; Stetten, Felix von; Stetten, Felix von; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Vashist, Sandeep Kumar; Vashist, Sandeep Kumar
7
8

Die Gleichgewichtsgeschwindigkeit in Mikrokanälen für die Größenmessung von Partikeln: Welche Partikel sind am schnellsten?

Authors:
Baßler, Michael; Sommer, Christian; Böttger, Tim; Böttger, Tim; Wittek, Jörn; Drese, Klaus Stefan; Alebrand, Sabine; Schönfeld, F.
9

Untersuchung des endothelialen Wachstums innerhalb eines mikrofluidischen Systems zur Nachbildung physiologischer Barrieren mit integrierter Sensorik

Authors:
Rajabi, Taleieh; Ahrens, Ralf; Huck, Volker; März, Martin; Gantenbein, Hanna; Schneider, Stefan W.; Schroten, Horst; Guber, Andreas
10

Biohybrides Mikrofluidiksystem als Modell einer Blutkapillare zur Analyse der Extravasation von Tumorzellen

Authors:
Kayo, S.; Kühlbach, C.; Sechi, J.; Herrlich, S.; Zengerle, R.; Müller, M. M.
11

Ultra-kompakte adaptive Hochgeschwindigkeitslinsen mit großer Apertur und asphärischer Korrektur

Authors:
Wapler, Matthias C.; Weirich, Christopher; Stürmer, Moritz; Wallrabe, Ulrike
12

Optische Schnittstelle für photonische Wirebonds in photonischer BiCMOS-Technologie

Authors:
Mai, C.; Lischke, S.; Kroh, M.; Hoose, T.; Lindenmann, N.; Koos, C.; Mai, A.; Zimmermann, L.
13

Das Technische Auge - Dreidimensionale Abtastung des Objektraums

Authors:
Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
14
15

Mikrolinsen für implantierbare Optroden

Authors:
Rudmann, L.; Huber, S. D.; Ordonez, J. S.; Stieglitz, T.
16
17
18

Nahfeldlokalisierung von Systemen in Produktionslinien

Authors:
Gulden, Peter; Fischer, Christian; Lipka, Melanie; Marschall, Albert; Fritzsch, Thomas; Franke, v; Vossiek, Martin
19

Intelligente Steckverbinder und Anschlusstechnologien für die Produktion der Zukunft

Authors:
Michels, Jan S.; Mödinger, R.; Meier, O.; Baar, C.; Ansorge, F.; Schiefelbein, F.-P.
20
21

Verschiedene Kraftsensorprinzipien für flexible Schuheinlagen in der akustischen Ganganalyse

Authors:
Knieling, Thomas; Kurylo, Agnieszka; Beeck, Florian; Sethumadhavan, Vithyasaahar
22

Aufbau hochintegrierter Sensorsysteme mittels Inkjet-Druck und Film Assisted Molding

Authors:
Keck, J.; Hera, D.; Juric, D.; Polzinger, B.; Liedtke, L.; Eberhardt, W.; Kück, H.; Zimmermann, A.; Ehrenpfordt, R.; Schulze-Spüntrup, J. D.
23
24

Neuartiger Smart Tooth mit zehnfach höherer Kraftauflösung

Authors:
Becker, F.; Kuhl, M.; Manoli, Y.; Paul, O.
25

Mikrosysteme für Kryofixierung bei kontinuierlicher Lebend-Zell Mikroskopie

Authors:
Mejia, Y. X.; Nocera, G. M.; Holik, P.; Feindt, H.; Steltenkamp, S.; Burg, T. P.
26

Automatisiertes Mikrofluidik-System mit optischem Aufbau zur Untersuchung von Peptid-Antikörper-Wechselwirkungen im Arrayformat

Authors:
Weber, L. K.; Fischer, A.; Soehindrijo, M.; Förtsch, T. C.; Bojnicic-Kninski, C.; Althuon, D.; Schillo, S. M.; Striffler, J.; Löffler, F. F.; Breitling, F.; Hubbuch, J.; Nesterov-Müller, A.
27

Simulation und Messungen zum Mikroelektrospray-Verfahren

Authors:
Pagel, Natalie; Mettel, Cecil; Feili, Dara; Seidel, Helmut
28

Dosierplattform zur Deposition von photoaktiven Fluiden für Anwendungen in der Photonik

Authors:
Hofmann, A.; Kröger, M.; Ungerer, M.; Wondimu, S. F.; Kohler, D.; Dietrich, P.-I.; Wienhold, T.; Lauermann, M.; Koos, C.; Bretthauer, G.
29

Hochdynamischer Stereosensor für die 3D-Bilderfassung und -verarbeitung in Anwendungen der intelligenten Service Robotic

Authors:
Strobel, Markus; Kersten, Daniel; Zanker, Michel; Pullmann, Jürgen; Döhn, Christian; Martakov, Yury; Fröbig, Timo
30

Flachbauendes Multiaperturmikroskop mit hohem Auflösungsvermögen

Authors:
Hermeyer, Tobias; Wippermann, Frank; Berlich, René; Reimann, Andreas; Brückner, Andreas; Bräuer, Andreas
31

In Kieselglas monolithisch integriertes Interferometer

Authors:
Weigel, C.; Markweg, E.; Hoffmann, M.
32

Gesputterte Germanium-Dünnfilme auf flexiblen transparenten Substraten für elektro-optische Applikationen

Authors:
Feili, Dara; Penth, Michael; Kiefer, Christian; Seidel, Helmut
33

Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren

Authors:
Paul, Johannes; Knoll, Heiko; Lenkl, Andreas; Tide, Ralf; Theis, Martin; Saumer, Monika; Vetter, Christian; Piorra, Andre; Meyners, Dirk; Lofink, Fabian; Fichtner, Simon; Wagner, Bernhard; Zoschke, Kai
34

Der multisensorische Werkzeughalter

Authors:
Brozio, Matthias
35

Kabellose Linearführungssysteme mit integrierter Positionssensorik

Authors:
Guthörl, Eike; Paul, Johannes; Mathieu, Jérôme; Lindemann, Ralf; Shanib, Maruan
36

Multi-Parameter Low-Power Sensor Netzwerk für die Meeresforschung

Authors:
Wahn, L.; Gentz, T.; Trieu, H. K.; Schlüter, M.; Müller, J.
37

Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen

Authors:
Mehner, H.; Weise, C.; Schwebke, S.; Hampl, S.; Hoffmann, M.
38

Entwurf und Test von Acoustic Emission Sensoren basierend auf dem MEMS-Bandpass-Prinzip

Authors:
Freitag, M.; Auerswald, C.; Wolf, P.; Sorger, A.; Dienel, M.; Shaporin, A.; Mehner, J.
39

Zweidimensionaler Vertikaler Hallsensor in CMOS-Technologie

Authors:
Sander, C.; Leube, C.; Paul, O.
40

MEMS-Mikrofone mit hohem Signal zu Rausch Abstand und geringen Sensitivitätsstreuungen

Authors:
Walser, Sebastian; Feiertag, Gregor; Loibl, Michael; Pahl, Wolfgang; Winter, Matthias; Siegel, Christian; Leidl, Anton
41

Vor-Ort-Erzeugung von Mikro- und Nanodrähten auf geraden und gekrümmten Oberflächen

Authors:
Wick, K.; Roustaie, F.; Quednau, S.; Schlaak, H. F.
42

Mechanische Charakterisierung von metallischen 1D-Nanostrukturen

Authors:
Dassinger, F.; Hottes, M.; Ensinger, W.; Schlaak, H. F.
43

Zwei-Photonen-Polymerisationsprozesse auf Wafergröße

Authors:
Markweg, Eric; Petzold, Norman; Kowallik, Thomas; Mämpel, Jörg; Mollenhauer, Olaf
44

Herstellung mikrooptischer Komponenten durch Zwei-Photonen-Polymerisation

Authors:
Dietrich, P.-I.; Wondimu, S. F.; Wienhold, T.; Steidle, M.; Hofmann, A.; Lindenmann, N.; Billah, M. R.; Hoose, T.; Blaicher, M.; Freude, W.; Koos, C.
45
46
47

Tintenstrahldruck ermöglicht eine maskenfreie strukturierte Mikrogalvanik zur Herstellung von miniaturisierten Spulen

Authors:
Meissner, Markus V.; Spengler, Nils; Mager, Dario; Korvink, Jan G.
48

Kontinuierliche Fertigung hybrider Mehrlagensysteme

Authors:
Brecher, Christian; Baum, Christoph; Bastuck, Thomas; Priwisch, Martin
49
50

Cross-Cluster Industrie 4.0 Südwest

Authors:
Funk, K.; Neuy, C.
51

Selbstkalibrierendes Ultraschallsystem für die Lokalisierung mobiler Einheiten in der Intralogistik

Authors:
Traub-Ens, Alexander; Bordoy, Joan; Wendeberg, Johannes; Höflinger, Fabian; Schindelhauer, Christian; Reindl, Leonhard M.
52
53

Modulare µ-MRT Spule der zweiten Generation

Authors:
Spengler, N.; Höfflin, J.; Moazenzadeh, A.; Wallrabe, U.; Korvink, Jan G.
54

Kalzifizierungsanalyse in einem Mikrofluidikchip

Authors:
Maurer, P.; Gerhardy, C.; Gräber, S.; Jahnen-Dechent, W.; Schomburg, W. K.
55

Markerfreier Lab-on-Chip Biosensor basierend auf photonischen a-Si:H-Resonatoren

Authors:
Moldenhauer, Lennart; Lipka, Timo; Wahn, Lennart; Trieu, Hoc Khiem
56

Systemintegration auf Hard- und Softwareebene am Beispiel des 2:1 Funktionsmodells eines Künstlichen Akkommodationssystems

Authors:
Gengenbach, U.; Beck, C.; Guth, H.; Hellmann, A.; Koker, L.; Krug, M.; Martin, T.; Nagel, J.; Sieber, I.; Scharnowell, R.; Stiller, P.; Guthoff, R.; Bretthauer, G.
57

Montage von Mikrosystemen durch reaktives Fügen

Authors:
Schumacher, Axel; Salmen, Ulrike; Knappmann, Stephan
58

Leiterbahnen zur Versorgung von Leistungselektronik auf Spritzgegossenen, keramischen Grundkörpern

Authors:
Matuschka, B.; Schulze, V.; Rohde, M.; Seifert, H.
59

Ultradünne Siliziumchips und Schaltungsträger für Anwendungen in flexiblen elektronischen Systemen

Authors:
Schuster, E.; Lorenz, E.; Berschauer, K.; Gneiting, T.; Harendt, C.; Kostelnik, J.; Kugler, A.; Wolf, J.; Burghartz, J. N.
60
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62

Poröses LTCC als Substratmaterial für Höchstfrequenzradarsensoren

Authors:
Bittner, Achim; Steinhäußer, Frank; Talai, Armin; Koelpin, Alexander; Weigel, Robert; Rittweg, Thomas; Schwanke, Dieter; Sandulache, Gabriela; Hansal, Wolfgang; Schmid, Ulrich
63

Thermisches Verhalten von SiCer – ein innovatives Verbundsubstrat für MEMS

Authors:
Fischer, Michael; Karolewski, Dominik; Welker, Tilo; Schelestow, Kristina; Gropp, Sebastinan; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
64

On-Chip Brennstoffzellen als Energieversorgung für RFID Systeme

Authors:
Zimmermann, D.; Moranz, C.; Kuhl, M.; Freund, I.; Müller, C.; Reinecke, H.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
65

Thermisches Energy Harvesting mit magnetischen Formgedächtnis- Dünnschichten

Authors:
Gültig, M.; Ohtsuka, M.; Miki, H.; Takagi, T.; Kohl, M.
66

System- und Schaltungskonzepte für Low-Power-Radarsensorik zur Anwesenheitsdetektion

Authors:
Lurz, Fabian; Mann, Sebastian; Linz, Sarah; Lindner, Stefan; Weigel, Robert; Koelpin, Alexander
67

Autonomer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren

Authors:
Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard
68

Mit Röntgenlithographie gefertigte Gitterstrukturen ermöglichen neue Röntgenbildgebung in Medizin und Materialwissenschaft

Authors:
Koch, Frieder; Schröter, Tobias; Meiser, Jan; Meyer, Pascal; Kunka, Danays; Faisal, Abrar; Yaroshenko, Andre; Birnbacher, Lorenz; Prade, Friedrich; Pfeiffer, Franz; Duttenhofer, Thomas; Schulz, Joachim; Mohr, Jürgen
69

Mikrosensor und Ausleseelektronik für miniaturisierte aktive medizinische Implantate

Authors:
Nawito, Moustafa; Link, Gorden; Stett, Alfred; Richter, Harald; Burghartz, Joachim N.
70

Sensorkapsel für die medizinische In-vivo-Biosensorik

Authors:
Stett, A.; Link, G.; Metzen, R. von; Schneider, K.; Mintenbeck, D.; Rossbach, D.; Richter, H.; Nawito, M.; Jeschke, C.; Bludau, O.; Haas, N.; Lebold, T.; Kokelmann, M.
71

Miniaturisiertes 3×3 LED-Array mit integrierten Glasfasern und hochflexiblem Flachbandkabel für Anwendungen in der Optogenetik

Authors:
Schwaerzle, Michael; Elmlinger, Philipp; Paul, Oliver; Ruther, Patrick
72
73

Resonant actuation concept for the manipulation of upper turbulent boundary layer

Authors:
Mansoor, M.; Köble, S.; Goldschmidtböing, F.; Woias, P.
74

Magnetischer Formgedächtnisaktor mit intrinsischer Lagesensorik

Authors:
Yin, R.; Wendler, F.; Kohl, M.
75

Piezoelektrische ohmsche MEMS-Schalter mit bidirektionalem Antrieb und geringen Schaltzeiten

Authors:
Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.; Benecke, W.
76
77

Interdigital gesteuerte piezoelektrische Mikromembranantriebe und deren Skalierung

Authors:
Zaehringer, Sandy; Purr, Julia; Schwesinger, Norbert
78

Herstellung und Integration piezoelektrischer Pb(ZrxTi1-x)O3-Schichten außerordentlicher Schichtdicke für die Erschließung neuer Anwendungsgebiete

Authors:
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Koessler, D.; Sichelschmidt, J.; Jakob, A.; Wagner, B.; Jung, T.; Tiefensee, F.
79

Aluminiumnitrid Membranen mit vergrabenen IDT für neuartige Membranbiegeschwinger

Authors:
Reusch, Markus; Katus, Philip; Schilling, Claudia; Holc, Katarzyna; Pletschen, Wilfried; Kirste, Lutz; Ambacher, Oliver; Ambacher, Oliver; Reindl, Leonhard; Lebedev, Vadim
80

Ein neues Laser-Ablationsverfahren zur sub-5 µm Strukturierung von Dünnfilm-Polymeren

Authors:
Töpper, Michael; Wilke, Martin; Wöhrmann, Markus; Jaeger, Danny; Lang, Klaus-Dieter
81

Dotierung von SiC mittels Energiefilter für Ionenimplantation

Authors:
Krippendorf, Florian; Csato, Constantin; Akhmadaliev, Shavkat; Borany, Johannes von; Höchbauer, Tobias; Kern, Ronny; Rupp, Roland; Schustereder, Werner; Rüb, Michael
82

Verwendung von Schattenmasken zur Direktstrukturierung individuell adaptierbarer Sensorik auf technischen Oberflächen

Authors:
Klaas, D.; Rittinger, J.; Taptimthong, P.; Düsing, J. F.; Wurz, M. C.; Rissing, L.
83

Autonomer binärer Zähler für die Erfassung von Grenzwertereignissen

Authors:
Mehner, H.; Schwebke, S.; Leopold, S.; Hoffmann, M.
84

Entwicklung einer neuartigen nichtflüchtigen Speichertechnologie für zukünftige Automobilanwendungen

Authors:
Wenger, Ch.; Hildebrandt, E.; Vogel, S.; Sharath, S. U.; Alff, L.
85
86

Zuverlässige Zugangskontrolle durch Authentifizierung mittels MEMS-basiertem Retinascanner mit zusätzlicher Projektionsoption

Authors:
Woittennek, Franziska; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Dallmann, Hans-Georg; Schelinski, Uwe; Grüger, Heinrich
87
88

Nachhaltige Mikrofluidik durch Heißprägen von Schellack

Authors:
Lausecker, Roland; Badilita, Vlad; Wallrabe, Ulrike
89

Herstellung von strukturierten Metalloberflächen durch Template-Stripping

Authors:
Schmidl, Gabriele; Dellith, Jan; Teller, Nicole; Li, Guangrui; Zopf, David; Dathe, Andre; Mayer, Günter; Hübner, Uwe; Fritzsche, Wolfgang
90

Untersuchungen zur Abhängigkeit der mechanischen Bruchfestigkeit von Siliziummembranen von der Ätztechnologie

Authors:
Brokmann, Geert; Täschner, Robert; Pobering, Sebastian; Porytskyy, Rudolf; Übensee, Hartmut; Blech, Michael; Ortlepp, Thomas
91

Mikrofluidikmodule für die Biotechnologie: Herstellung und Charakteristika

Authors:
Ventruto, Reto; Schumacher, Patrick; Good, Hanspeter; Bauböck, Günther; Kaiser, Alexander; Fritz, Karl-Heinz
92

Fortschritte beim Mikrospritzgießen: Abformung im Nanometerbereich und Mehrkomponenten-Spritzgießen

Authors:
Piotter, Volker; Klein, Alexander; Müller, Tobias; Plewa, Klaus; Prokop, Jürgen
93

Neues Co-Casting-Verfahren zur Herstellung Piezoelektrischer Mehrlagen-Bauteile mit Silber-Innenelektroden

Authors:
Medesi, Anna; Megnin, Christof; Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas
94

Auswirkungen von Reflexen an Seitenwänden von Goldabsorbern in der Röntgentiefenlithographie

Authors:
Last, A.; Börner, M.; Marschall, F.; Meyer, P.; Simon, M.; Márkus, O.; Georgi, S.; Mohr, J.
95

Elektrophoretische Abscheidung von Bismutvanadat f"ür Photo-Elektrochemische Zellen

Authors:
Mauck, Markus; Mauck, Markus; Megnin, Christof; Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas; Müller, Claas
96

Flexible LCP-basierte Mehrlagenschaltungen in Dünnschichttechnik: Herstellungstechnologie und Charakteristika

Authors:
Kaiser, Alexander; Bee, Carlos Maximilian; Matej, Paul; Herbort, Christian; Holl, Bruno; Rueß, Karin; Bauböck, Günther; Dupuis, Frédéric; Fritz, Karl-Heinz; Metzen, Rene von
97

Modellierung nass-chemischer Porösizierverfahren auf LTCC für elektromagnetische Hochfrequenz Feldsimulation

Authors:
Talai, Armin; Steinhäußer, Frank; Bittner, Achim; Schmid, Ulrich; Weigel, Robert; Kölpin, Alexander
98

Microfabrication of high permittivity metamaterials with tall metal inclusions in thick photoresist layers

Authors:
Aligodarz, M. Tayfeh; Klymyshyn, D. M.; Börner, M.; Matthis, B.; Mohr, J.
99

ALD-basierte, monolithisch integrierte 3D-Nanostrukturen

Authors:
Jupe, A.; Goehlich, A.; Feizi, K.; Vogt, H.
100

Adhesion of Continuous and Homogeneous Electrodeposited Copper Layers on Silicon

Authors:
Lima, F.; Lima, F.; Reinecke, H.; Mescheder, U.
101
102
103

Optimization of Diaphragm Characteristics of an Absolute MEMS Capacitive Polysilicon Pressure Sensor

Authors:
Walk, Christian; Giese, André; Weidenmüller, Jens; Görtz, Michael
104

Entwicklung von Hochtemperatur Trench-Kondensatoren unter Verwendung von dünnen ALD-Dielektrika

Authors:
Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Kappert, Holger
105
106
107
108
109

Magnetresonanz-kompatibler Mini-Inkubator für die Untersuchung der Epileptogenese in vitro

Authors:
Kamberger, R.; Göbel, K.; Gerlach, J.; Gruschke, O. G.; LeVan, P.; Leupold, J.; Elverfeldt, D. von; Hennig, J.; Haas, C.; Korvink, J. G.
110
111

Entwicklung einer Digitalen Mikrofluidik-Plattform zur Automatisierung eines TALEN Ligations-Prozesses

Authors:
Ecken, Sebastian von der; Doll, Patrick; Ahrens, Ralf; Strähle, Uwe; Guber, Andreas E.
112

Automatisierte Nukleinsäurediagnostik in der LabDisk mittels frequenzgesteuerter Freisetzung vorgelagerter Reagenzien

Authors:
Stumpf, F.; Schwemmer, F.; Hutzenlaub, T.; Strohmeier, O.; Stetten, F. von; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Mark, D.
113

Entwicklung einer Mikrochip navigierten Zellsortieranlage

Authors:
Kahnert, S.; Schreiber, F.; Goehlich, A.; Erni, D.; Greifendorf, D.; Lennartz, K.; Kirstein, U.; Bartels, F.; Janzyk, U.; Rennings, A.; Küppers, R.; Vogt, H.
114

Simulation und Charakterisierung einer bi-direktionalen Dreikammermikropumpe aus Edelstahl

Authors:
Artelsmair, A.; Wackerle, M.; Richter, M.; Irlinger, F.
115

Entwicklung und Charakterisierung einer magnetohydrodynamischen (MHD) Pumpe

Authors:
Bamarni, D.; Müller, C.; Reinecke, H.
116

Strukturen für Fluidik-Handling mit austauschbaren Aktuatoren

Authors:
Freundlieb, Mareike; Schlüter, Michael; Padberg, Moritz
117

Neue Zytometrie-Strukturen für Streulicht- und Geschwindigkeitsmessungen

Authors:
Freundlieb, Mareike; Michael Schlüter,; Schütte, Helmut
118

Smartphone EasyELISA - A point-of-care platform for cost-effective and easy-to-use in vitro diagnostics

Authors:
Venkatesh, A. G.; Stetten, Felix von; Stetten, Felix von; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Vashist, Sandeep Kumar; Vashist, Sandeep Kumar
119

Kompaktmodell für die Charakterisierung eines piezoelektrischen Membrandruckkopfes

Authors:
Rumschöttel, Dominik; Kagerer, Markus; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.
120

Particle Tolerance of micro diaphragm pumps with low chamber heights and passive flap valves

Authors:
Jenke, C. W.; Muster, T.; Richter, M.; Kutter, C.
121

Formulierung nanopartikulärer Wirkstoffe in mikrofluidischen Emulsionen

Authors:
Lorenz, Thomas; Lorenz, Thomas; Steens, Corinna; Dietzel, Andreas; Dietzel, Andreas
122
123

Design Automation for Microfluidic Biochips Considering Efficiency and Reliability

Authors:
Li, Bing; Tseng, Tsun-Ming; Ho, Tsung-Yi; Schlichtmann, Ulf
124

Röntgenoptische Messung des Seitenwandwinkels direktlithografischer refraktiver Röntgenlinsen

Authors:
Last, Arndt; Márkus, Ottó; Georgi, Sebastian; Mohr, Jürgen
125

MEMS Spiegel für die Hochleistungs-Lasermaterialbearbeitung

Authors:
Senger, F.; Herwig, P.; Gawlitza, P.; Ortega-Delgado, M.; Wantoch, T. v.; Mallas, C.; Wetzig, A.; Hofmann, U.
126

Zemax®-Simulationen zur Entwicklung eines Wafer Level Optopackage für 2D-Mikrospiegel

Authors:
Stenchly, V.; Schwarz, F.; Quenzer, H. J.; Benecke, W.
127
128

Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur

Authors:
Kronast, Wolfgang; Lange, Volker; Huster, Rolf; Mescheder, Ulrich
129
130

Optoelektronischer Nivellierungssensor – Simulationen und Funktionsmuster

Authors:
Müller, R.; Förster, E.; Brodersen, O.
131
132
133

Methoden zur fotolithographischen Herstellung Diffraktiv Optischer Elemente in Quarzglas mit hoher Beugungseffizienz

Authors:
Schmitt, J.; Schmitt, J.; Bischoff, Ch.; Rädel, U.; Grau, M.; Wallrabe, U.; Völklein, F.
134
135

Entwicklung eines Mikropixelsiliziumphotomultipliers

Authors:
Long, L.; Möller, Ch.; Ortlepp, Th.
136

Miniaturisierte Oberflächenplasmonenresonanz Sensorplattform

Authors:
Hausler, P.; Holler, S.; Hirsch, T.; Bierl, R.
137

Technologieentwicklung einer post-process Elektrodenspaltverringerung zur Herstellung von hochauflösenden Sensorsystemen

Authors:
Meinecke, Christoph; Müller, Mathias; Rennau, Michael; Reuter, Danny; Ebert, Robby; Bertz, Andreas; Exner, Horst; Geßner, Thomas
138

Hybrider Fertigungsprozess zur Integration von Drucksensoren auf die Oberfläche von Tellerfedern

Authors:
Rittinger, J.; Klaas, D.; Wurz, M. C.; Rissing, L.
139

Ultraschall-Thermoformen von Überlastsensoren für kohlenstofffaserverstärkte Kunststoffbauteile

Authors:
Nieradzik, T.; Kukla, C.; Gerhardy, C.; Schomburg, W. K.
140

Ein neuartiges 2D-MOEMS-Scanner basiertes LIDAR-System zur Objekt- und Umgebungserkennung

Authors:
Giese, T.; Grünzig, S.; Weiler, L.; Hofmann, U.; Stenchly, V.; Benecke, W.
141

Low-Cost MEMS-basiertes Mess-System zur Motordiagnose

Authors:
Ahrend, Ulf; Wildermuth, Stephan; Orman, Maciej; Rzeszucinski, Pawel
142

Isotrope mechanische Aufhängung für 3D-Mikrotastsysteme

Authors:
Metz, D.; Ferreira, N.; Dietzel, A.
143

MEMS-basierter thermischer Durchflusssensor für eine Flussmessung mit hoher Dynamik

Authors:
Saremi, S.; Saremi, S.; Feili, D.; Alyari, A.; Seidel, H.
144
145
146

Modulare aktive Probecard zur Systemcharakterisierung von mikroelektromechanischen Sensoren am Beispiel von Gyroskopen

Authors:
Weidlich, S.; Forke, R.; Billep, D.; Konietzka, S.; Köhler, D.; Hiller, K.; Geßner, T.
147
148

Zeitkonstanten für die Relaxation thermomechanischer Spannungen in Silizium-Glas-Verbünden

Authors:
Blech, Michael; Übensee, Hartmut; Täschner, Robert; Brokmann, Geert; Xu, Xuemei; Ortlepp, Thomas
149

Design und Herstellung eines akustischen Wandlers mit einer Polymermembran

Authors:
Kaiser, M.; Rechel, M.; Goldmann, J.; Rissing, L.; Wurz, M. C.
150

Charakterisierung und Modellierung freistehender Silizium Membranen auf SOI-Basis für Drucksensor-Anwendungen

Authors:
Goehlich, A.; Jupe, A.; Stühlmeyer, M.; Celik, Y.; Schmidt, A.; Vogt, H.
151

Fertigung von Dünnfilm-Folien-Dehnungsmessstreifen durch Laserstrukturierung und Siebdruck Technik

Authors:
Vollberg, D.; Probst, A.-C.; Langosch, M.; Cerino, M.; Schultes, G.
152

Optische und taktile Sensoren für die Inline-Prozessüberwachung bei der spanenden Fertigung

Authors:
Frank, Th.; Fiedler, M.; Völlmeke, St.; Winzer, A. T.; Görlandt, St.; Ortlepp, H.-G.; Steinke, A.; Doering, L.; Lahmann, H.-W.; Reich, S.
153

Low-Power Elektronik für MEMS Mikrospiegel

Authors:
Rombach, Stefan; Marx, Maximilian; Gu-Stoppel, Shanshan; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos
154

SensIDLi: Ein Open-Source-Werkzeug für die Entwicklung von Kommunikationsschnittstellen smarter Sensorsysteme

Authors:
Rathfelder, Christoph; Groenda, Henning; Taspolatoglu, Emre
155
156
157
158
159

Laserlöten hochpräziser optischer Mikrosysteme

Authors:
Hornaff, M.; Burkhardt, T.; Ribes, P.; Ribes, P.; Mohaupt, M.; Zaage, B.; Kamm, A.; Beckert, E.; Eberhardt, R.
160

Kupfer-Dickfilmstrukturen für Silizium-Karbid Leistungsmodule mit hoher Integrationsdichte

Authors:
Meisser, Michael; Schmenger, Max; Leyrer, Benjamin; Bernd, Martin; Blank, Thomas
161

Niedertemperatur-Bondverfahren für thermisch-elektrische Hochleistungssysteme

Authors:
Möller, Eike; Bajwa, Adeel Ahmad; Wilde, Jürgen
162

Intuitive Steuerung einer Mikroproduktionsanlage durch mehrere haptische Eingabegeräte

Authors:
Tiemerding, Tobias; Mikczinski, Manuel; Diederichs, Claas
163

Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-Verbundsubstrat

Authors:
Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin
164

Oberflächenplanare Integration von Sensorchips

Authors:
Vierhaus, J.; Schmaus, C.; Kießig, A.; Schubert, W.; Burte, E. P.
165

Mikrofügen mit reaktiven Nanokompositen

Authors:
Kremer, Matthias P.; Kremer, Matthias P.; Tortschanoff, Andreas; Guber, Andreas E.
166

Waferlevel AVT mit Pd/Al-integrierten reaktiven Multilagensystemen

Authors:
Vogel, Klaus; Roscher, Frank; Hertel, Silvia; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas
167

Ultradünne flexible Leiterplatten für industrielle Anwendung, Sensorik und Biomedizin

Authors:
Gutöhrlein, K.; Stumpf, A.; Heusel, G.; Röhler, S.; Burkhardt, C. J.; Stett, A.
168

Flexibles magnetisches Lese-/Schreibsystem: Design eines Schreibkopfes

Authors:
Taptimthong, P.; Rittinger, J.; Wurz, M. C.; Rissing, L.
169
170

Brennstoffzellen aus LiGa-Technik für portable Anwendungen

Authors:
Hahn, L.; Helm, P.; Baumgärtner, M.; Lanzinger, G.
171

Extensions of the IEEE 802.15.4 protocol for the usage with highly energy-saving real-time communication

Authors:
Phuong, Nguyen Minh; Schappacher, Manuel; Sikora, Axel
172

Thermoelektrisch versorgte, energieautarke Sensorsysteme im Kfz

Authors:
Woias, P.; Mehne, P.; Heller, S.; Kröner, M.
173
174

Drahtlose Energieversorgung für rotierende Disks

Authors:
Höfflin, Jens; Delgado, Saraí Torres; Sandoval, Fralett Suárez; Korvink, Jan Gerrit; Mager, Dario
175

SystemC AMS basierte V&V-Methodik in der Mikrosystemtechnik

Authors:
Ehrlich, Paul; Schulz, Stephan
176

System Level Simulation of Compact Parametric Model of Magnetic Resonance Micro Sensor

Authors:
Zadeh, Sh. Gorgi; Kudryavtsev, M.; Jouda, M.; Korvink, J. G.; Bechtold, T.
177

CMOS frequency division multiplexer enables multi-channel magnetic resonance imaging with a single channel spectrometer

Authors:
Jouda, M.; Gruschke, O. G.; Fischer, E.; Leupold, J.; Elverfeldt, D.; Hennig, J.; Korvink, J. G.
178

Entwicklung eines Multi-Antennen Wake-up Empfängers

Authors:
Kumberg, Timo; Tannhäuser, Robert; Reindl, Leonhard M.
179

Geregeltes Auslesekonzept für Lorentzkraftmagnetometer

Authors:
Krawat, Daniel; Maurer, Michael; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos
180

Elektro-Mechanischer Δ-Σ Modulator für MEMS Drehratensensoren

Authors:
Rombach, Stefan; Maurer, Michael; Wendler, Daniel; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos
181
182

Miniaturisierte On-Chip Teststrukturen zur Festigkeitsüberwachung von Poly-Silizium

Authors:
Brückner, John; Glacer, Christoph; Dehé, Alfons; Auerswald, Ellen; Hildebrandt, Marcus; Vogel, Dietmar; Rzepka, Sven
183

Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für Mikrobauteile

Authors:
Lotichius, J.; Christmann, E.; Asmus, A.; Kupnik, M.; Werthschützky, R.
184

Robuste Erkennung von kombinierten Positions- und Identifizierungs-Mikromarkierungen

Authors:
Förtsch, Tobias C.; Bojnicic-Kninski, Clemens von; Khan, M. Shahbaz; Märkle, Frieder; Weber, Laura K.; Fischer, Andrea; Münster, Bastian; Ridder, Barbara; Althuon, Daniela; Striffler, Jakob; Sedlmayr, Martyna; Bykovskaya, Valentina; Popov, Roman; Soehindrijo, Miriam; Breitling, Frank; Löffler, Felix F.; Nesterov-Müller, Alexander
185
186

Parameteridentifikation von Material und Prozessparametern im Package mit Hilfe des Stresschips

Authors:
Schindler-Saefkow, Florian; Schindler-Saefkow, Florian; Rost, Florian; Rost, Florian; Rzepka, Sven
187

Entwurf und Fertigung eines elektromagnetischen Normalkraftaktors in hybrider Bauform für taktile Displays

Authors:
Rechel, M.; Rissing, L.; Hofmann, V.; Tarnowsky, A.; Wolter, F.-E.; Wallaschek, J.; Wurz, M. C.
188

Mikro-Analysegreifer für Einzelzelluntersuchungen

Authors:
Garcés-Schröder, M.; Leester-Schädel, M.; Böl, M.; Dietzel, A.
189

Miniaturisierte Hochfrequenz-Aktoren zur Beeinflussung der oberen turbulenten Grenzschicht

Authors:
Köble, Sören; Mansoor, Muhammad bin; Woias, Peter; Goldschmidtböing, Frank
190

Zweiachsiger Mikroschrittaktor mit großem Stellweg für die Positionierung von Blenden-Arrays

Authors:
Endrödy, C.; Mehner, H.; Sinzinger, S.; Hoffmann, M.
191

Integration kostengünstiger elektrothermischer Polymeraktoren in Leiterplattensysteme

Authors:
Winterstein, T.; Islam, S.; Khoury, M. El; Nakic, C.; Schlaak, H. F.
192

Form-Gedächtnis Mikroventile für Fluid-Systeme

Authors:
Megnin, Christof; Ossmer, Hinnerk; Gültig, Marcel; Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas; Kohl, Manfred
193
194

Silizium-Photonik: Integriertes Sensorkonzept für die Detektion von Gasen und Flüssigkeiten

Authors:
Kaschel, Mathias; Frank, Alexander; Letzkus, Florian; Butschke, Jörg; Burghartz, Joachim
195

Modulare Mikrofluidik-Plattform im Laboratory Disc-Format für die biosensorische Bestimmung von Propionsäure-Konzentrationen

Authors:
Schmidl, G.; Dutz, S.; Dutz, S.; Kielpinski, M.; Mayer, G.; Simonte, F.; Gescher, J.; Henkel, T.
196

Temperaturstabilisierung für Phosphoreszenz-Quenching-Sensoren zur Sauerstoffdetektion

Authors:
Bolse, Nico; Chouikh, Ghazi; Sellner, Michael; Eschenbaum, Carsten; Lemmer, Uli
197

Proteindetektion mittels Quarz-Kristall-Mikrowaagen

Authors:
Thies, Jan-Wilhelm; Thies, Jan-Wilhelm; Kuhn, Philipp; Kuhn, Philipp; Masthoff, Ingke-Christine; Masthoff, Ingke-Christine; Schulze, Torben; Schulze, Torben; Rustenbeck, Ingo; Rustenbeck, Ingo; Garnweitner, Georg; Garnweitner, Georg; Dübel, Stefan; Dübel, Stefan; Dietzel, Andreas; Dietzel, Andreas
198

Ein Multiresonant abgestimmter Hemlholtzdetektor für MRT und 2D NMR von flüssigen Proben mit 100 nl Volumen

Authors:
Höfflin, Jens; Spengler, Nils; Badilita, Vlad; Wallrabe, Ulrike; MacKinnon, Neil; Korvink, Jan Gerrit
199

On-Chip Impedanz Trimming von transparenten und flexiblen ITO-Elektroden durch Laser Induzierte Nanocuts

Authors:
Afshar, M.; Leber, M.; Poppendieck, W.; König, K.; Seidel, H.; Feili, D.
200

SERS-Substrate zur Integration in mikrofluidische Sensorsysteme

Authors:
Habermehl, A.; Eckstein, R.; Eckstein, R.; König, F.; Liu, X.; Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Lemmer, U.; Lemmer, U.; Lemmer, U.
201

Dünne Isolationsschichten für die Hochfrequenz-Chirurgie

Authors:
Banghard, Michael; Banghard, Michael; Silmy, Kamel; Nisch, Wilfried; Bucher, Volker; Bucher, Volker
202

Telemetriesystem zur nicht-invasiven Glukosemessung in der Tränenflüssigkeit

Authors:
Fischer, Roland; Hennig, Andreas; Lauko, Jan; Wilson, Christopher; Goertz, Michael; Mokwa, Wilfried
203

Fertigung eines Gitterelektroden-Arrays zur selektiven hyperthermischen Manipulation von Biofilmen

Authors:
Kaiser, M.; Rechel, M.; Stiesch-Scholz, M.; Rissing, L.; Wurz, M. C.
204
205

Integration von dreidimensionalen Strukturen in mikrofluidische Systeme

Authors:
Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Lemmer, U.; Lemmer, U.; Lemmer, U.
206

Ultradünnes elastisches Sensor-Array für 3D-Biegemessungen

Authors:
Koch, Eugen; Dietzel, Andreas
207

Rolle zu Rolle geprägte Mikrofluidik-Chips mit vollständig gedruckten Fotosensoren

Authors:
Rödlmeier, T.; Rödlmeier, T.; Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Eckstein, R.; Eckstein, R.; Döringer, H.; Valouch, S.; Valouch, S.; Hernandez-Sosa, G.; Hernandez-Sosa, G.; Lemmer, U.