VDE e.V.; BMBF (Ed.)

MikroSystemTechnik Kongress 2017

MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in München

2017, 861 pages, Kartonhülle, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-4491-6
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Content Foreword

Der MikroSystemTechnik Kongress ist die herausragende nationale Plattform im Bereich der Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik. Deutschland hat hier dank seiner gut aufgestellten industriellen Basis eine starke Stellung: von MEMS und Chipherstellern über Systemhäuser, die Komplettlösungen anbieten, bis hin zu vielen mittelständischen Unternehmen, die ein breites Spektrum an Sensor- und Mikrosystemen abdecken. Flankierend dazu existiert ein breites Netzwerk an Universitäten und Forschungseinrichtungen, wo derzeit mit Blick auf das Trendthema „Internet of Things" (IoT) verstärkt Schwerpunkte im Bereich der Sensorik und Mikrosysteme gesetzt und neue Professuren und Forschungsbereiche eingerichtet werden.

Der MikroSystemTechnik Kongress
- ist die größte deutschsprachige Veranstaltung auf dem Gebiet der Elektronik- und Mikrosysteme und stellt eine wichtige Plattform zur Netzwerkbildung vor allem für den mittelständischen Unternehmensbereich dar
- bietet einen umfassenden Überblick sowohl über den aktuellen Stand der Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Elektronik- und Mikrosysteme in Deutschland als auch über internationale Trends
- präsentiert in der begleitenden Ausstellung aktuelle Produkte, Geräte und Entwicklungen
- informiert in der VDE-YoungNet Convention über Berufschancen in Hightech-Zukunftstechnologien
- bietet studentischen Teams ein Forum, ihre im Rahmen des VDE-Wettbewerbes COSIMA erzielten Ergebnisse zu Anwendungen der Mikrosystemtechnik zu präsentieren
- ist Plattform für die Siegerehrung des Schülerwettbewerbs „Invent a Chip"
- stellt aktuelle Initiativen der Förderpolitik vor.
Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.V. (VDE)
Der VDE ist einer der großen europäischen Verbände für Branchen und Berufe der Elektro- und Informationstechnik. Eine internationale Experten-Plattform für Wissenschaft, Normung und Produktprüfung – interdisziplinär, eng verflochten, und einmalig auf der Welt. Eine geballte Konzentration an Erfahrung, Marktkenntnissen und technologischem Know-how.

Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF)


Veranstalter:

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)
Die GMM hat die Aufgabe, die wissenschaftliche und technische Entwicklung im Bereich der Mikroelektronik, Mikrosystem-, Nano- und Feinwerktechnik sowie deren breite Anwendungen zu fördern. Sie initiiert den dazu erforderlichen Dialog zwischen Herstellern, Anwendern und Wissenschaft und bildet ein Forum für Diskussionen über diese Techniken in der Öffentlichkeit. Die GMM vertritt die Belange der in ihr vertretenen Arbeits- und Fachgebiete gegenüber politischen Entscheidungsträgern und bringt ihre Fachkompetenz in die Gestaltung der Förderpolitik ein.

VDI/VDE Innovation + Technik GmbH (VDI/VDE-IT)
Die VDI/VDE Innovation + Technik GmbH ist ein führender Dienstleister, wenn es um Fragen zu Innovation und Technik geht. Wir unterstützen und beraten bei der Analyse komplexer Vorhaben oder Marktsituationen, bei der Förderung von Forschungsprogrammen aus Bund, Ländern und EU und organisieren Geschäftsstellen oder Kontaktbüros für Forschung und Wirtschaft. Als Projektträger bieten wir für jeden Schritt im Innovationsprozess die passende Lösung.

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A side-wall spacer process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes

Authors:
Walk, Christian; Goertz, Michael; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
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3D Optical Microresonators: Laser-Assisted Fabrication and Packaging

Authors:
Zamora, Vanessa; Herter, Jonas; Janeczka, Christian; Schroeder, Henning
5

BiCMOS Embedded RF-MEMS Technologies

Authors:
Tolunay Wipf, Selin; Göritz, Alexander; Wietstruck, Matthias; Wipf, Christian; Kaynak, Mehmet
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Dynamic fluorescence measurements on DNA microarrays in foil-based microfluidics using multichannel Silicon Photomultipliers.

Authors:
Ohlander, Anna; Seb, Andrej; Bose, Indranil; Ganka, Thomas; Wiest, Florian; Kutter, Christoph
8

Piezoelectrically driven and sensed micromirrors with large scan angles and precise closed-loop control

Authors:
Gu-Stoppel, Shanshan; Giese, Thorsten; Quenzer, Hans-Joachim; Hofmann, Ulrich; Benecke, Wolfgang
9

Low fluidic resistance valves utilizing buckling actuators

Authors:
Shabanian, Ardavan; Goldschmidtboeing, Frank; Dhananjaya, Chiranjeevi; Bettaswamy Gowda, Hitesh; Baeumker, Eiko; Woias, Peter
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Vertical Nanoslit Arrays for Separating Molecules by Size and Charge

Authors:
Bassu, Margherita; Holik, Peter; Schmitz, Sam; Steltenkamp, Siegfried; Burg, Thomas P.
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Tiny Incident Light Angle Sensor

Authors:
Mitrenga, Dennis; Schaedel, Martin; Voellmeke, Stefan; Preuss, Klaus-Dieter; Moeller, Ch.
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BiCMOS Embedded Microfluidic Technology Based on Wafer Bonding Techniques for Biosensor Applications

Authors:
Inac, Mesut; Wietstruck, Matthias; Goeritz, Alexander; Cetindogan, Barbaros; Baristiran-Kaynak, Canan; Marschmeyer, Steffen; Fraschke, Mirko; Voss, Thomas; Mai, Andreas; Palego, Cristiano; Pothier, Arnaud; Kaynak, Mehmet
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Miniaturized Actuators in Cooperative Systems for Separation Control

Authors:
Blechschmidt, Markus; Bauer, Karin
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Optofluidic cuvettes with integrated polymer waveguides for fluid analysis on printed circuit boards

Authors:
Sergeeva, Ekaterina; Hartwig, Haldor; Hohlfeld, Dennis
15

Fabrication Advances for Microfluidic Cryofixation

Authors:
Fuest, Marie; Nocera, Giovanni M.; Modena, Mario M.; Burg, Thomas P.
16

Polymer-ceramic-composites for 3D inkjet printing

Authors:
Graf, Dennis; Bermejo, Ana; Martinez, Luis; Gleissner, Uwe; Megnin, Christof; Eiselt, Thomas; Mauck, Markus; Hanemann, Thomas
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Relative Humidity Sensors for System-in-Foil Applications

Authors:
Elsobky, Mourad; Albrecht, Bjoern; Ganter, Pirmin; Szendrei, Katalin; Deuble, Thomas; Harendt, Christine; Lotsch, Bettina; Burghartz, Joachim N.
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Design of a thermoelectric generator for electrical active implants

Authors:
Jadhav, Onkar Sandip; Yuan, Cheng Dong; Hohlfeld, Dennis; Bechtold, Tamara
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Thin film encapsulations for medical applications

Authors:
Selbmann, Franz; Saeidi, Nooshin; Mohandas, Prahlad; Baum, Mario; Wiemer, Maik; Joseph, Yvonne; Otto, Thomas
21

Implantable Wireless Ultra-low Power Data Logger for Temperature Measurements in Animal Brains

Authors:
Heller, Simon; Allinger, Kim; Pelz, Uwe; Woias, Peter
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Development and performance analysis of an energy-autonomous VHF-beacon for animal-tracking

Authors:
Baeumker, Eiko; Schuele, Florian; Woias, Peter
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25

Multi-window Transmission Electron Microscopy liquid cell to improve imaging performance

Authors:
Venegas-Rojas, Deybith; Keskin, Sercan; Azim, Sana; Manz, Stephanie; Miller, R. J. Dwayne; Trieu, Hoc Khiem
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3D micro-machined inductive suspensions with the lowest energy consumption

Authors:
Poletkin, Kirill; Lu, Z.; Moazenzadeh, Ali; Korvink, Jan Gerrit; Wallrabe, Ulrike; Badilita, Vlad
27

The LabCard – A new approach for centrifugal assay automation

Authors:
Rombach, Markus; Keller, M.; Paust, Nils; Stetten, Felix von; Mark, D.; Zengerle, Roland; Karle, M.
28

Automated particle based C-reactive protein immunoassay with ondisk pre-stored reagents and centrifugo-pneumatic liquid control

Authors:
Zhao, Yunpeng; Klein, Vanessa; Mitsakakis, Konstantinos; Czilwik, Gregor; Zengerle, Roland; Paust, Nils
29

Magnetoinductive waves for wireless power transfer: challenges and solutions

Authors:
Sandoval, Fralett Suarez; Moazenzadeh, Ali; Wallrabe, Ulrike
30

An integrated electronic circuit for decentralized monitoring of Lithium-ion battery cells

Authors:
Saidani, Fida; Hutter, Franz X.; Selinger, Wilhelm; Roessler, Stefan; Braunwarth, Wolfgang; Burghartz, Joachim
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Investigation of boiling phenomena in microchannels using impedance spectroscopy technique correlated with videography

Authors:
Talebi, Mohammadmahdi; Cobry, Keith; Zhou, Zhonglei; Sadir, Sahba; Dittmeyer, Roland; Woias, Peter
32

Development of an Extended Gate Field Effect Transistor (EGFET) based low-cost pH-sensor

Authors:
Mokhtarifar, Naser; Goldschmidtboeing, Frank; Woias, Peter
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A replaceable bioreactor array for monitoring mold spore contamination in archives

Authors:
Vinayaka, Poornachandra Papireddy; Blank, Roland; Frodl, Mathias; Tahir, Muhammad Waseem; Zaidi, Nayyer Abbas; Oellers, Martin; Driesche, Sander van den; Lang, Walter; Vellekoop, Michael J.
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High Intensity UV-LED Mask Aligner for Applications in Industrial Research

Authors:
Schindler, Katrin; Leischner, Ulrich; Lopper, Christina; Striebel, Thomas; Kaiser, Paul; Schoembs, Ulrike
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3D Structuring of Silicon using Grayscale Technology

Authors:
Muthiah, Uma; Khazi, Isman; Mescheder, Ulrich
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Modeling Shear Stress and Oxygen Concentration for Optimization of Micropillars Microbioreactors

Authors:
Venegas-Rojas, Deybith; Budde, Jens; Noerz, Dominik; Juecker, Manfred; Trieu, Hoc Khiem
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Organic Thin-Film Transistors for AMOLED Applications

Authors:
Meyers, Thorsten; Vollbrecht, Joachim; Vidor, Fabio; Reker, Julia; Kitzerow, Heinz-Siegfried; Hilleringmann, Ulrich
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Integration of MEMS models in simulations on electronic system level

Authors:
Blochmann, Tino; Gerth, Stephan; Schneider, Peter
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A New Approach for In-Line Heat Chuck Temperature Measurement Based on SAW Technology

Authors:
Lenzhofer, Martin; Stocksreiter, Wolfgang; Szirch, Stefan