VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Hrsg.)

GMM-Fb. 74: Mikro-Nano-Integration

Beiträge ses 4. GMM-Workshops 12. bis 13. November 2012 in Berlin

GMM-Fachberichte

2012, 94 Seiten, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-3473-3
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Inhaltsverzeichnis

Mikro-Nano-Integration rückt näher an die Anwendungen heran - so kann man sicher den aktuellen Trend zusammenfassen. So werden derzeit in zahlreichen Forschungsprojekten die Möglichkeiten der Mikro-Nano-Integration für die unterschiedlichsten Anwendungsbereiche evaluiert, das Kick-Off fand am Vortag des dritten Workshops Mikro-Nano-Integration in Stuttgart statt.

1

1D-Nanostructures for 3D-Packaging

Autoren: Aryasomayajula, Lavanya; Graf, Matthias; Wolter, Klaus-Jürgen

2

Nanotechnologien im Packaging – Neue Materialien und Verfahren für die Mikrosystemtechnik

Autoren: Roscher, Frank; Bräuer, Jörg; Baum, Mario; Besser, Jan; Seifert, Tobias; Wiemer, Maik; Gessner, Thomas

3

Health Monitoring durch In-situ Messung der Eigenspannungen im Package

Autoren: Rost, F.; Schindler-Saefkow, F.; Otto, A.; Rzepka, S.; Michel, B.

4

DNA-Hybridisierungs-assay basierend auf der Biofunktionalisierung von Nanodrähten

Autoren: Leiterer, Christian; Seise, Barbara; Slowik, Irma; Brönstrup, Gerald; Niepelt, Raphael; Weber, Karina; Ronning, Carsten; Christiansen, Silke; Fritzsche, Wolfgang

5

Direct integration of carbon nanotubes on CMOS with high-temperature tungsten metallization

Autoren: Jupe, A.; Hoeren, A.; Goehlich, A.; Meißner, F.; Endler, I.; Vogt, H.

6

Thermische und mechanische Eigenschaften von Widerständen aus gedruckten Kohlenstoffnanoröhren

Autoren: Ilchmann, A.; Keck, J.; Eberhardt, W.; Borgiel, F.; Polzinger, B.; Kück, H.

7

8

Enhancement of Humidity Barrier Properties of Polymers with Micro- and Nano-sized Filler Particles

Autoren: Braun, T.; Bauer, J.; Georgi, L.; Becker, K.-F.; Koch, M.; Aschenbrenner, R.; Lang, K.-D.

9

Charakterisierung des feuchteinduzierten Schwellverhaltens von mikroelektronisch relevanten Werkstoffsystemen

Autoren: Walter, H.; Bauer, J.; Braun, T.; Hölck, O.; Wunderle, B.; Keller, J.; Wittler, O.; Lang, K.-D.

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11

Sensorfilter – ein intelligentes Mikro-Filtersystem in Folientechnologie für Anwendungen in Prozesskontrolle, Zellkultur und Life Sciences

Autoren: Alberti, Martin; Meixner, Leonhard; Rückerl, Andreas; Eder, Maximilian; Endres, Hanns-Erik; Bock, Karlheinz

12

Concept of the PaTra - particle transporter with Simulated Particle movement

Autoren: Rockenbach, Alexander; Brücker, Christoph; Schnakenberg, Uwe

13

Flüssigkeitsanalyse mittels Fractional-Order Sensoren

Autoren: Schmitt, Bastian; Schütze, Andreas; Biswas, Karabi

14

Erkennung von flüchtigen organischen Verbindungen mit Hilfe von mikro-nanostrukturierten Sensoren

Autoren: Schüler, Marco; Sauerwald, Tilman; Reimann, Peter; Schütze, Andreas

15

Nanorobotische Strategien zur Handhabung, Charakterisierung und Synthese von Graphen

Autoren: Zimmermann, S.; Eichhorn, V.; Fatikow, S.

16

Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen

Autoren: Kovacs, A.; Ivanov, A.; Malisauskaite, A.; Mescheder, U.

17

Einsatz von integrierten Nanostrukturen in Mikrosystemen

Autoren: Dassinger, Florian; Quednau, Sebastian; Greiner, Felix; Schlaak, Helmut F.; Hottes, Martin; Stegmann, Christian; Rauber, Markus; Ensinger, Wolfgang; Trautmann, Christina