VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Hrsg.)

MikroSystemTechnik Kongress 2013

Von Bauelementen zu Systemen 14.-16. Oktober 2013 in Aachen

2013, 880 Seiten, Kartonhülle, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-3555-6
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Inhaltsverzeichnis

Die Mikrosystemtechnik und die Elektronik mit ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Leistungselektronik haben sich in den letzten Jahren zunehmend von der Realisierung reiner Komponenten hin zur Realisierung vernetzter intelligenter Systeme entwickelt.
Dieser Kongress hat sich mit ca. 900 Teilnehmern zum bedeutendsten nationalen Forum für Elektronik- und Mikrosysteme entwickelt.

1

LabTube – eine innovative Plattform zur Assay-Automatisierung in Laborzentrifugen

Autoren: Fiebach, Ana R.; Zhang, Shuo; Drechsel, Lisa; Kloke, Arne; Fritzemeier, Nina; Wulff, Dörte; Steigert, Jürgen; Stetten, Felix von; Zengerle, Roland; Paust, Nils

2

Zentrifugo-thermopneumatisches Aliquotieren auf der LabDisk und Anwendung zum DNA-basierten Nachweis verschiedener Bakterien

Autoren: Keller, M.; Focke, M.; Strohmeier, O.; Reith, P.; Roth, G.; Mark, D.; Zengerle, R.; Stetten, F. von

3

Räumlich modulierte Fluoreszenz für die miniaturisierte Durchflusszytometrie

Autoren: Baßler, Michael; Myagmar, Khaliun; Sommer, Christian; Quint, Stephan

4

Fluidischer Partikeltransport an Grenzflächen durch aktorisch bewegte Mikrohaare mit schaltbarer Nanostrukturierung

Autoren: Rockenbach, A.; Kunder, M.; Uhlmann, P.; Brücker, C.; Hess, A.; Schnakenberg, U.

5

Mikrofluidisches Modell der Blut-Hirn-Schranke

Autoren: Kiessling, Heiko; Stelzle, Martin; Schütte, Julia

6

Mehrachsiger piezoelektrischer Aktuator für optische Komponenten

Autoren: Kampmann, Michael; Stoppel, Fabian; Quenzer, Hans-Joachim; Kaden, Dirk; Janes, Joachim; Wagner, Bernhard

7

Freiform Einzelschicht-Biegewandler: Neue Designfreiheit für Piezoaktoren

Autoren: Wapler, Matthias C.; Brunne, Jens; Wallrabe, Ulrike

8

Vom Sattel bis zur Sphäre: Piezobiegeaktoren mit variabler Oberflächenkrümmung

Autoren: Stürmer, Moritz; Wapler, Matthias C.; Brunne, Jens; Wallrabe, Ulrike

9

10

11

AMR vs. GMR vs. TMR – Eigenschaften, Unterschiede, Anwendungen

Autoren: Doms, Marco; Paul, Johannes; Lehndorff, Ronald; Grimm, Hubert

12

Implementierung einer magnetischen Δ-Σ-Rückkopplung zur Regelung der Auslese eines AMR-Magnetfeldsensors

Autoren: Kuderer, M.; Nouna, R.; Keller, M.; Mintenbeck, D.; Manoli, Y.

13

MEMS based magnetoelectric field sensor characteristics under vacuum and after heat treatment

Autoren: Lofink, F.; Marauska, S.; Jahns, R.; Kirchhof, Ch.; Claus, M.; Knöchel, R.; Quandt, E.; Wagner, B.

14

Gedruckte ferritkernbasierte Ringkernspulen als Magnetfeldsensoren

Autoren: Keck, J.; Polzinger, B.; Eberhardt, W.; Kück, H.; Giousouf, M.; A. Kießling,; Schreivogel, A.; J. Kostelnik,

15

16

Silicium-Platin Nanostrukturen für hochgradig Infrarot-emissive Oberflächen in Hotplate-Emittern

Autoren: Müller, Lutz; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Biermann, Steffen

17

Neuartige laserinduzierte ITO Nanodrähte für Gassensorik-Anwendungen

Autoren: Afshar, M.; Preiß, E.; Sauerwald, T.; Schütze, A.; Feili, D.; Seidel, H.

18

Gold-Nanodrähte auf Mikroelektroden zur extrazellulären Ableitung elektrogener Zellen

Autoren: Nick, C.; Quednau, S.; Sarwar, R.; Thielemann, C.; Schlaak, H. F.

19

Nano-modifiziertes flexibles Mikroelektroden-Array mit integriertem CMOS-Chip für medizinische Anwendungen

Autoren: Winkin, N.; Gierth, U.; Michaelis, A.; Mokwa, W.; Rabbow, T.

20

Enabling efficient design of self-supplied SSHI-circuit for piezoelectric MEMS energy harvester

Autoren: Hohlfeld, Dennis; Sayed, Fatma; Eker, Muharrem; Rudnyi, Evgenii; Bechtold, Tamara; Korvink, Jan G.

21

Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie

Autoren: Mescheder, Ulrich; Gu, Qingyun; Müller, Bernhard

22

23

24

Gehäusetechnologien für SAW-Filter, MEMS-Mikrofone und Drucksensoren

Autoren: Feiertag, Gregor; Waber, Tobias; Bauer, Christian; Krüger, Hans; Leidl, Anton; Pahl, Wolfgang; Seitz, Stefan

25

TSVs mit hohem Aspektverhältnis und Kupfer-Bonden für MEMS

Autoren: Hofmann, Lutz; Baum, Mario; Schulz, Stefan. E.; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas

26

Aufbau konfigurierbarer Kamera-Mikrosysteme durch Kombination mikrotechnischer Verfahren

Autoren: Barth, M.; Beyer, S.; Graf, H.-G.; Scheithauer, H.; Keßler, U.; Eberhardt, W.; Kück, H.

27

3D-Assemblierungsverfahren für intrakortikale Sondenarrays

Autoren: Barz, Falk; Paul, Oliver; Ruther, Patrick

28

Elektrostatische und fluidische Selbstassemblierung für die hochgenaue Mikro-Montage von MEMS

Autoren: Mouselimis, Konstantinos; Gan, Yifei; Huhn, Andreas; Wilde, Jürgen

29

Opto-mechanische Mikrosysteme zur hyperspektralen Bildgebung

Autoren: Grewe, A.; Endrödy, C.; Fütterer, R.; Cu-Nguyen, P.-H.; Steiner, S.; Hillenbrand, M.; Correns, M.; Hoffmann, M.; Linß, G.; Zappe, H.; Seifert, A.; Kley, E. B.; Sinzinger, S.

30

Flachbauende Multiaperturkameras mit Freiformarrays hergestellt in Wafer Level Technologie

Autoren: Dunkel, J.; Brückner, A.; Reimann, A.; Wippermann, F.; Bräuer, A.

31

Mikrooptisches head-mounted Display

Autoren: Schreiber, Peter; Sieler, Marcel

32

Planar integrierte opto-fluidische Mikrosysteme aus PMMA für die Partikelanalyse

Autoren: Hofmann, Meike; Müller, Ralf; Grewe, Adrian; Brodersen, Olaf; Sinzinger, Stefan

33

34

Ein CMOS-Stresskartierungssystem mit 24 FET-basierten Stresssensoren für intelligente kieferorthopädische Brackets

Autoren: Kuhl, Matthias; Gieschke, Pascal; Paul, Oliver; Manoli, Yiannos

35

Smart Tooth

Autoren: Becker, Felix; Sander, Christian; Schmidt, Falko; Lapatki, Bernd; Paul, Oliver

36

Klinische Erprobung eines intraoralen Medikamentendosiersystems mit telemedizinischem Therapiemonitoring

Autoren: Herrlich, S.; Nouna, Rachid; Spieth, Sven; Zengerle, R.

37

Kapazitive integrierte Drucksensoren für ein implantierbares System zur drahtlosen Druckmessung in der Pulmonalarterie

Autoren: Gembaczka, P.; Görtz, M.; Kordas, N.; Lerch, R.; Müntjes, J.; Kraft, M.; Mokwa, W.

38

Adaptive Mikrolinsen basierend auf Aluminiumnitrid Membranen

Autoren: Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin

39

Thermisch aktuierbare asphärische Mikrospiegel

Autoren: Pauls, M.; Brunne, J.; Wallrabe, U.

40

7mm-MEMS-Spiegel für einen omnidirektionalen Laserscanner

Autoren: Hofmann, Ulrich; Senger, Frank; Stenchly, Vanessa; Hagge, Jürgen; Mallas, Christian; Wantoch, Thomas von; Janes, Joachim; Benecke, Wolfgang

41

Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten

Autoren: Kovacs, A.; Malisauskaite, A.; Ivanov, A.; Mescheder, U.

42

43

Heterogeneous 3D Integration for Smart Systems

Autoren: Wolf, Juergen; Lang, Klaus-Dieter

44

Smart Packaging in der Fertigung von Elektroniksystemen

Autoren: Wolf, J.; Kostelnik, J.

45

46

Flexible Systeme in Folie – Intelligente Haut für Maschinen

Autoren: Harendt, Christine; Burghartz, Joachim N.

47

48

Laser-Rangefinder auf Basis von MEMS-Spiegeln für adaptive Robo-tik

Autoren: Bogatscher, Siegwart; Streck, Andreas; Fox, Maik; Meinzer, Sebastian; Stork, W.

49

Absolute Positionsbestimmung mit magnetoresistiven Sensoren

Autoren: Voss, A.; Meisenberg, A.; Pieper, R.; Bartos, A.

50

51

Mobile Robotik in der Halbleiterfertigung

Autoren: Pollack, Steffen

52

53

Kohlenstoff-dotierter-Fotolack als Elektrodenmaterial für die in-situ Messung von Nitrit

Autoren: Wahn, L.; Behrendt, L.; Hemanth, S.; Trieu, H. K.

54

Echtzeit Analyse von Spurenkontaminationen in wässrigen Lösungen im ppb-Bereich

Autoren: Bauhuber, Michael; Hutterer, Albert; Hummel, Helmut; Lechner, Alfred

55

56

Mikro-Helmholtzspule mit austauschbaren, mikrofluidischen Probenbehältern für MRT-Mikroskopie und -Spektroskopie

Autoren: Spengler, N.; Moazenzadeh, A.; Meier, R. Ch.; Badilita, V.; Korvink, J. G.; Wallrabe, U.

57

Mikrokraftsensor als Transfernormal für die Kalibrierung von Antastkräften

Autoren: Bütefisch, S.; Weimann, T.; Danzebrink, H.-U.; Flügge, J.; Solzbacher, F.

58

Sensitivitätssteigerung von piezoelektrischen, resonant angetriebenen Mikrosensoren durch digitale Q-Faktorverstärkung

Autoren: Kucera, Martin; Hofbauer, Franz; Wistrela, Elisabeth; Bittner, Achim; Schmid, Ulrich

59

Resonanter berührungsloser Mikrotastkopf in Silicium-Mikromechanik

Autoren: Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin

60

MEMS-Testeinrichtung für die Wafer-Level-Charakterisierung von integrierten Kohlenstoffnanoröhren

Autoren: Shaporin, A.; Voigt, S.; Bonitz, J.; Hermann, S.; Hartmann, S.; Kaufmann, C.; Mehner, J.; Schulz, S. E.; Wunderle, B.; Gessner, T.

61

Funktionale 3D-Strukturierung von Keramiken zur Herstellung sensorischer Mikrosysteme

Autoren: Ziesche, Steffen; Lenz, Christian; Lohrberg, Carolin

62

CMOS basierte Mikrosystemplattformen - Integrierte Hochfrequenz-, MEMS- und Photonic-Module

Autoren: Mai, A.; Tillack, B.; Knoll, D.; Heinemann, B.; Kaynak, M.; Lischke, S.; Sorge, R.; Zimmermann, L.; Mehr, W.

63

Farb- und Multispektralsensoren mit CMOS-Nanostrukturen zur LED-Lichtsteuerung

Autoren: Junger, Stephan; Verwaal, Nanko; Tschekalinskij, Wladimir; Weber, Norbert

64

Ultradünne Siliziumchips in flexiblen Mikrosystemen

Autoren: Wolf, J.; Berschauer, K.; Gneiting, T.; Harendt, C.; Kostelnik, J.; Kugler, A.; Lorenz, E.; Rempp, H.

65

CMOS integrierte Spannungsversorgung basierend auf Mikro-Brennstoffzellen

Autoren: Moranz, C.; Kuhl, M.; Zimmermann, D.; Becker, J.; Müller, C.; Reinecke, H.; Manoli, Y.

66

LTCC Membranen mit integrierter Heizern, Temperatur- und Deh-nungssensorik

Autoren: Gutzeit, N.; Appelfelder, M.; Reinlein, C.; Fischer, M.; Müller, J.

67

Integrierte LC-Glieder in keramische LTCC-Schaltungsträger

Autoren: Bartsch, H.; Löhnert, R.; Bierlich, S.; Töpfer, J.; Barth, S.; Capraro, B.; Müller, J.

68

Entwicklung eines robusten, keramischen MEMS - Packaging als hermetisch dichtes und hoch-schockfestes SMD-Bauteil

Autoren: Goldberg, Adrian; Ihle, Martin; Ziesche, Steffen; Külls, Robert

69

Herstellung textilverstärkter Verbundbauteile mit strukturintegrierten Sensornetzwerken

Autoren: Heinig, Andreas; Weder, Andreas; Fischer, Wolf-Joachim

70

Innovationsbeschleunigung: Vorteile für Start-ups durch strategische Clusterentwicklung

Autoren: Nestle, V.; Neuy, C.; Sautter, B.; Schmierer, C.

71

Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher Güte

Autoren: Hiller, K.; Hahn, S.; Küchler, M.; Billep, D.; Forke, R.; Köhler, D.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Geßner, T.

72

Verbesserter Herstellungsprozess für dreidimensionale mikromechanische Sensoren aus SU-8-Fotoresist

Autoren: Oerke, Alexa; Büttgenbach, Stephanus; Dietzel, Andreas

73

Neues LIGA2.X Verfahren zur industriellen Fertigung von hochpräzisen Kunststoff-Mikrobauteilen

Autoren: Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Mohr, J.; Saile, V.

74

Herstellung ferroelektrischer Dünnschichten mittels direkter UV-Lithografie

Autoren: Benkler, Manuel; Paul, Florian; Hanemann, Thomas

75

76

77

Effiziente Energiewandlung mit GaN-basierter Leistungselektronik

Autoren: Waltereit, Patrick; Reiner, Richard; Müller, Stefan; Czap, Heiko; Mikulla, Michael; Ambacher, Oliver

78

79

Hocheffiziente Leistungsverstärker für drahtlose Kommunikationssysteme

Autoren: Paulo, Robert; Wolf, Robert; Fritsche, David; Ihle, David; Kreißig, Martin; Schulze, Johannes; Tzschoppe, Christoph; Ellinger, Frank

80

Energieeffiziente Sensornetze zur Anlagenüberwachung

Autoren: Niedermayer, Michael; Guttowski, Stephan; Lang, Klaus-Dieter

81

82

Kapazitive Dosierüberwachung für die Mikroschmierung von Präzisionslagern in Hochleistungsspindeln

Autoren: Kibler, S.; Meier, C.; Möller, B.; Richter, M.; Kutter, C.

83

Mikrotropfenerzeuger Hergestellt mit Rapid Manufacturing Verfahren

Autoren: Kagerer, Markus; Eiler, Kenji L.; Ottnad, Thomas; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.

84

Herausforderungen für die Anwendung von kontaktfreien Dosiertechniken in in-vitro Diagnostik (IVD) Analysesystemen

Autoren: Losleben, Nadine; Spinke, Jürgen; Zengerle, Roland; Oranth, Norbert

85

Erzeugung von Verdünnungsreihen auf einer Laborzentrifuge

Autoren: Strohmeier, O.; Rombach, M.; Mark, D.; Roth, G.; Zengerle, R.; Stetten, F. von

86

Entwicklung und Simulation passiver Mikromischer für Strömungen im Bereich niedriger Reynolds-Zahlen

Autoren: Lorenz, T.; Al-Halhouli, A. T.; Mohsen, M.; Matar, M.; Büttgenbach, S.; Dietzel, A.

87

Entwicklung von Kanalstrukturen mit dem Anwendungsziel Zytometer

Autoren: Freundlieb, M.; Schütte, H.; Schlüter, M.; Lilienhof, H. J.

88

Gasaustauschsystem mit hochgradig parallelisierten Mikrokanälen

Autoren: Rieper, T.; Wehrstein, B.; Maurer, A. N.; Müller, C.; Reinecke, H.

89

Topological microfluidic structures for rapid mixing of emulsions

Autoren: Land, K. J.; Mbanjwa, M. M.; Korvink, J. G.

90

Mikrofluidisches Chipsystem mit integriertem Elektrodenlayout für zellbasierte toxikologische Analysen

Autoren: Büttner, B.; Ott, J.; Priem, M.; Hofmann, U.; Michaelis, S.; Wegener, J.; Feller, K.-H.

91

Automatisierte Vor-Ort-Detektion von Botulinum Toxin auf der LabDisk Plattform

Autoren: Oordt, T. van; Stevens, G.; Vashist, S.; Urban, G.; Zengerle, R.; Stetten, F. von

92

DNA-Gelelektrophorese in offenen mikrofluidischen Systemen

Autoren: Gutzweiler, Ludwig; Riegger, Lutz; Koltay, Peter; Zengerle, Roland; Tanguy, Laurent

93

94

Mikrofluidisches System für Agglutinationsuntersuchungen

Autoren: Morschhauser, A.; Geidel, S.; Große, A.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.

95

96

Segmentierte, geschlossene Mikrobioreaktoren für Hochdurchsatzapplikationen humaner embryonaler Stammzellen

Autoren: Meiser, I.; Primavessy, D. A. A.; Beier, A. F. J.; Gastrock, G.; Lemke, K.; Zimmermann, H.; Neubauer, J. C.

97

Mikrofluidische Partikelmanipulation mit elektrischen Feldkräften

Autoren: Ruffert, Christine; Müller, Stefan; Rissing, Lutz

98

Automatisierung der DNA Extraktion aus Vollblut unter Verwendung magnetischer Partikel auf der LabDisk Plattform

Autoren: Wadle, S.; Strohmeier, O.; Rombach, M.; Mark, D.; Zengerle, R.; Stetten, F. von

99

Immunoassay auf der LabDisk Plattform auf Basis einer Grundopera-tion zum Transfer magnetischer Partikel

Autoren: Czilwik, G.; Jin, J.; Roth, G.; Vashist, S.; Oordt, T. van; Strohmeier, O.; Stetten, F. von; Zengerle, R.; Mark, D.

100

Automatisierte elektrochemische On-Chip-Medikamentenüberwachung mit Mikropartikeln auf integrierten Magnetstrukturen

Autoren: Moschallski, Meike; Templin, Markus; Maier, Sandra; Stelzle, Martin; Becker, Holger; Möller, Andreas; Boven, Karl-Heinz

101

102

Entwicklung einer Mikrochip navigierten Zellsortieranlage

Autoren: Kahnert, S.; Goehlich, A .; Greifendorf, D.; Vogt, H.; Lennartz, K.; Kirstein, U.; Goellner, B.; Michelsen, U.; Bartels, F.

103

Mikrosysteme für die Zellmanipulation

Autoren: Garcés Diedrich, Mayra; Hoxhold, Björn; Beutel, Tobias; Ferreira, Nelson; Leester-Schädel, Monika; Büttgenbach, Stephanus; Dietzel, Andreas

104

Nanoabguss von rauen Glasoberflächen für die optische Lichtstreuung

Autoren: Döring, Christoph; Hein, Eric; Saiad, Mohamed Oulad; Fouckhardt, Henning

105

Hocheffizienter piezoelektrischer Mikrospiegel mit hohen Frequenzen und Amplituden

Autoren: Gu-Stoppel, Shanshan; Janes, Joachim; Quenzer, Hans-Joachim; Hofmann, Ulrich; Benecke, Wolfgang

106

Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsfreie aktive Membranspiegel in SOI Technologie

Autoren: Kronast, Wolfgang; Mescheder, Ulrich; Müller, Bernhard; Huster, Rolf

107

108

Parallelisierte Fertigung mikro-optischer Kameraobjektive

Autoren: Wippermann, F. C.; Reimann, A.; Dunkel, J.; Bräuer, A.

109

Mikrosystemtechnische Realisierung eines Zeitbereichsfilters für ultrakurze optische Pulse

Autoren: Bohling, M.; Jahns, J.; Mohr, J.; Börner, M.

110

Fertigung laminarer optischer Gitter am HZB

Autoren: Lemke, Stephanie; Seliger, Tino; Naß, Christopher; Göttert, Philipp; Rudolph, Ivo; Kutz, Oliver; Gwalt, Grzegorz; Nelles, Bruno; Senf, Fridmar; Löchel, Bernd

111

Gitterstrukturen mit hohem Aspektverhältnis für eine neuartige auf Phasen- und Dunkelfeldkontrast beruhende Röntgenbildgebung

Autoren: Meiser, Jan; Kunka, Danays; Meyer, Pascal; Koch, Frieder; Amberger, Maximilian; Schulz, Joachim; Walter, Marco; Mohr, Jürgen

112

Refraktive Röntgenlinsen zur Intensitätserhöhung im Spot einer Röntgenröhre

Autoren: Vogt, H.; Last, A.; Mohr, J.; Marschall, F.; Kluge, M.; Nazmov, V.; Mettendorf, K.-U.; Eisenhower, R.

113

Polarisationsunabhängige SOI-Wellenleiter und integrierte SOI-Polarisationsdreher

Autoren: Amthor, Julia; Horn, Oliver; Gong, Lin; Lipka, Timo; Trieu, Hoc Khiem; Müller, Jörg

114

Neuer optischer Sensor zur Bestimmung des Ecklastfehlers in Waagen

Autoren: Müller, Ralf; Völlmeke, Stefan; Förster, Erik

115

Miniaturisierte optische Integrationsplattform für III-N basierte opto-chemische Detektoren

Autoren: Kleindienst, R.; Cimalla, V.; Eickhoff, M.; Grewe, A.; Holc, K.; Schätzle, J.; Schörmann, J.; Schwarz, U.; Teubert, J.; Sinzinger, S.

116

Mikrolasertracker zur multisensorischen 3D-Koordinatenmessung

Autoren: Markweg, Eric; Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin

117

Prototyp eines Reachthrough-Siliziumphotomultipliers

Autoren: Long, L.; Brodersen, O.; Hiller, E.; John, W.; Ortlepp, H. G.; Röder, R.

118

Folienaktor aus einer ferromagnetischen Formgedächtnislegierung

Autoren: Pinneker, V.; Sozinov, A.; Kohl, M.

119

120

121

Herstellung von robusten und kostengünstigen Nickel-Wanderkeilaktoren

Autoren: Lämmle, D.; Schlosser, M.; Schlaak, H. F.

122

Untersuchung des Bucklingeffektes an mittels gesputtertem Wolfram vorgespannten Siliziummembranen für Mikroaktorikanwendungen

Autoren: Kirsch, C.; Feili, D.; Schmid, U.; Balck, A.; Leester-Schädel, M.; Büttgenbach, S.; Seidel, H.

123

Fertigung eines Mikroaktors zur Manipulation von Nanopartikeln auf einem Glassubstrat

Autoren: Kaiser, M.; Delyagina, E.; Steinhoff, G.; Rissing, L.

124

125

Rotatorischer Mikroaktor auf Basis des Gerotor-Prinzips mit neuartiger fluidischer Steuerung

Autoren: Leester-Schädel, Monika; Thies, Jan-Wilhelm; Schubert, Thomas; Büttgenbach, Stephanus; Dietzel, Andreas

126

Herstellung und Charakterisierung einer piezoelektrisch aktuierten bidirektionalen Polymer-Mikropumpe

Autoren: Feth, H.; Pothof, F.; Thoma, F.; Mueller, C.; Schmidt, T.; Goldschmidtboeing, F.; Woias, P.

127

Mikropumpe mit elektrostatischem Direktantrieb

Autoren: Dittrich, L.; Endrödy, C.; Hoffmann, M.

128

Konzept einer neuartigen Edelstahl-Mikropumpe für Anwendungen in Medizin und Biotechnologie

Autoren: Wald, C.; Richter, M.; Holzer, M.; Weigl, M.; Roth, S.

129

Entwicklung einer pulsationsfreien Pumpe für mikrofluidische Anwendungen

Autoren: Hoffmeier, Konrad L.; Hoffmann, Dirk; Schimmelpfennig, Michael; Feller, Karl-Heinz

130

Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung

Autoren: Hampl, S.; Leistritz, B.; Saft, B.; Hoffmann, M.; Hennig, E.

131

132

Nichtlineares Steifigkeits- und Dämpfungsmodell für weiche und harte PZT Keramiken

Autoren: Goldschmidtböing, F.; Neiss, S.; Kröner, M.; Woias, P.

133

Energy Harvesting mit einer Figur-8 Spule – in Richtung energieautonomer MRI-Messungen

Autoren: Höfflin, J.; Fischer, E.; Hennig, J.; Korvink, J. G.

134

135

Development of an Energy-Autarkic Water Meter

Autoren: Sikora, Axel; Werner, Rico; Villalonga, Pancraç; Cisneros, Andres; Becker, Philipp; Hoffmann, Daniel; Willmann, Alexander

136

Kapazitiver sensitiver Mikroschalter für autarke Mikrosysteme

Autoren: Frank, Thomas; Cyriax, Andrea; Long, Li; Steinke, Arndt

137

Simulation der Energiebilanz von autonomen mobilen Sensorsystemen

Autoren: Rombach,  S.; Meckler, S.; Manoli, Y.

138

Integrierte Sensorik für Hochtemperaturumgebungen

Autoren: Wienecke, Anja; Wurz, Marc Christopher; Rissing, Lutz

139

Sensitivitätsoptimierung von vertikalen Hallsensoren mit drei Kontakten

Autoren: Sander, C.; Cornils, M.; Vecchi, M. C.; Paul, O.

140

Absolute Positionsbestimmung mit magnetoresistiven Sensoren

Autoren: Voss, A.; Meisenberg, A.; Pieper, R.; Bartos, A.

141

Lorentzkraft-basierter MEMS 3D-Magnetfeldsensor für die Integration zu einer 1-Chip 9D IMU

Autoren: Behmüller, M.; Weiss, M.; Claus, M.; Bohse, S.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Reimer, K.

142

143

Autonomes Sensorsystem für differenzierte Bewegungsanalysen

Autoren: Beißner, S.; Dzido, R.; Elbel, T.; Kang, Z.; Lastzka, N.; Niehe, S.; Nowoisky, H.

144

Entwicklung eines Impulslärm-Dosimeters zur Untersuchung von Ge-hörschädigungen bei Menschen

Autoren: Becsi, L.; Benyoucef, D.; Bier, T.; Kronast, W.; Mescheder, U.

145

Flexible Verkapselungsschichten für intelligente Mikroimplantate

Autoren: Weinmann, Michael; Nisch, Wilfried; Stett, Alfred; Bucher, Volker; Urban, Gerald

146

Verkapselungstechniken für implantierbare integrierte MEMSDrucksensoren

Autoren: Görtz, M.; Betz, W.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kraft, M.

147

Laser-strukturierte Keramikadapter für flexible Dünnfilm-Nervenelektroden

Autoren: Fiedler, E.; Ordonez, J. S.; Kohler, F.; Stieglitz, T.

148

CMOS kompatible, nanomodifizierte Multi-Elektroden-Arrays

Autoren: Jupe, A.; Goehlich, A.; Meißner, F.; Endler, I.; Vogt, H.

149

150

Galois-Streuscheiben

Autoren: Fouckhardt, Henning; Jaax, Michael; Wolff, Sandra; Lägel, Bert

151

Horizontales Wachstum von mehrwandigen Kohlenstoffnanoröhren in Mikrogräben in Mikrosystemtechnik

Autoren: Riekeberg, S.; Nawaz, A. S.; Trieu, H. K.; Müller, J.

152

Integration und Charakterisierung von Nanostrukturen in Mikrosysteme für sensorische Anwendungen

Autoren: Quednau, S.; Dassinger, F.; Hottes, M.; Stegmann, C.; Ensinger, W.; Schlaak, H. F.

153

Nanofluidic gates for diffusion-free controlled release from microfluidic devices

Autoren: Jones, P. D.; Molares, M. E. Toimil; Trautmann, C.; Stelzle, M.

154

Mechanische Fertigung und Analyse von nanoskaligen optischen Strukturen

Autoren: Kühne, S.; Haskic, K.; Löchel, B.; Schmidt, M.

155

Flexible Mehrlagen-Schaltungen in Dünnschichttechnik: Technologien und Charakteristika

Autoren: Kaiser, Alexander; Rueß, Karin; Matej, Paul; Herbort, Christian; Holl, Bruno; Bauböck, Günther

156

Variation des intrinsischen Stressgradienten dünner Aluminiumnitridschichten

Autoren: Mehner, H.; Leopold, S.; Hoffmann, M.

157

Neue Materialien und Konzepte für Biobrennstoffzellen

Autoren: Kerzenmacher, S.; Danzer, J.; Erben, J.; Kipf, E.; Kloke, A.; Köhler, C.; Sané, S.; Zengerle, R.

158

Poröses Silizium auf SOI Substraten

Autoren: Backes, A.; Patocka, F.; Walkoun, P.; Schmid, U.

159

Untersuchung des Temperatureinflusses auf den spezifischen elektrischen Widerstand von nanokristallinem Nickel und röntgenamorphem Nickel-Phosphor

Autoren: Schnaithmann, M.; Sägebarth, J.; Sandmaier, H.; Weiland, A.; Seekamp, J.; Böhm, G.; Schäfer, W.

160

161

162

Betrachtungen zum Trocknungsverhalten mehrschichtiger Photoresistsysteme

Autoren: Schönfeld, M.; Schubert, S.; Saupe, J.; Grimm, J.

163

Anwendung eines HF-Gasphasenätzprozesses zum Freilegen von monolithisch integrierten RF-MEMS-Schaltern

Autoren: Göritz, A.; Fraschke, M.; Drews, J.; Wietstruck, M.; Tolunay, S.; Kaynak, M.; Tillack, B.

164

Bestimmung thermomechanischer Werkstoffeigenschaften von photosensitiven Polymeren mit hohem Aspektverhältnis für MEMS

Autoren: Vogel, Jürgen; Feige, Hans-Jürgen; Saupe, Jens; Grützner, Gabi; Grimm, Jürgen

165

Wasser-lösliche Opferschicht ermöglicht die low-cost Herstellung von Mikrospulen mit einem Füllgrad von 100 %

Autoren: Gruschke, O. G.; Kamberger, R.; Ho¨fflin, J.; Korvink, J. G.

166

Energiefilter für Ionenimplantation

Autoren: Krippendorf, Florian; Csato, Constantin; Bischof, Tina; Gupta, Sandeep; Han, Weiqi; Morgenroth, Wolfgang; Nobst, Michael; Ronning, Carsten; Rupp, Roland; Schewior, Andre; Wesch, Werner; Rüb, Michael

167

Monolithisch-integrierte Through-Silicon Vias für Grounding, Power Distribution Networks und System-on-Chip Anwendungen

Autoren: Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Marschmeyer, S.; Göritz, A.; Tolunay, S.; Tillack, B.

168

Tintenstrahldruck von leitfähigen und transparenten Ionengelen

Autoren: Löffelmann, U.; Mager, D.; Korvink, J. G.

169

Materialentwicklung des In-mould Labelling Prozesses für Anwen-dungen in der Mikrotechnik

Autoren: Honza, Elvira; Piotter, Volker; Hanemann, Thomas

170

171

172

Inkjet-gedruckte Diffusionsbarriere gegen Diffusion aus dotierten PECVD-Silikatgläsern

Autoren: Stüwe, David; Keding, Roman; Hahn, David; Clement, Florian; Hofmann, Marc; Woehl, Robert; Biro, Daniel; Korvink, Jan G.; Tüshaus, Christian; Doll, Oliver; Stockum, Werner; Köhler, Ingo

173

174

Fertigung mehrlagiger mikrofluidischer Papier-Systeme mittels Wachsdruck

Autoren: Hecht, Lars; Mattern, Kai M.; Dietzel, Andreas

175

Druckluftunterstützes Thermodiffusionsbonden zur Herstellung dünnwandiger Lab-on-a-Chip Kartuschen mit zwei fluidischen Ebenen

Autoren: Kosse, D.; Schwemmer, F.; Buselmeier, D.; Zengerle, R.; Stetten, F. von

176

177

Desktop Mikromontagezelle für Automatisierte Präzisionsmontagen Optischer Komponenten

Autoren: Brecher, C.; Haag, M.; Müller, T.; Haag, S.; Pyschny, N.; Härer, S.

178

Flip-Chip Technologie für Anwendungstemperaturen > 250 °C

Autoren: Heiermann, Wolfgang; Geruschke, Thomas; Ruß, Marco; Vogt, Holger

179

Technologieentwicklung für optimiertes MEMS Packaging durch Si-TSV-Rückseitenkontaktierung

Autoren: Meinecke, Ch.; Hofmann, L.; Bertz, A.; Gottfried, K.; Geßner, T.

180

Erhöhung des Integrationsgrades von Membranaktorik in LOCs mithilfe von Lasertechnologie

Autoren: Geidel, S.; Enderlein, T.; Nestler, J.; Morschhauser, A.; Otto, T.; Gessner, T.

181

Verformungsmessung von Mikrosystemen bei hohen Temperaturen mit ESPI, DIC und Holographie

Autoren: Zeiser, Roderich; Steiert, Matthias; Berndt, Michael; Wilde, Jürgen; Beckmann, Tobias; Fratz, Markus

182

Einsatz der Dielektrischen Analyse zur Untersuchung der Alterung von Polymeren bei Hochtemperaturlagerung

Autoren: Becker, K.-F.; Bauer, J.; Thomas, T.; Kahle, R.; Braun, T.; Daus, Lars H.; Aschenbrenner, R.; Lang, K.-D.

183

Elektromigrationsverhalten von Silberdünnfilmen auf LTCC

Autoren: Bittner, Achim; Backes, Andreas; Schmid, Ulrich

184

Vereinzelung von Chips mit komplexen Formen unter Verwendung von Parafilm(exp TM)

Autoren: Sun, Shen-Huei; Graf, Heinz-Gerd; Sailer, Holger; Burghartz, Joachim; Schröder, Sven; Thewes, Roland

185

Wire bonder made on-chip microtransformers for very high frequency (VHF) regime applications

Autoren: Moazenzadeh, A.; Spengler, N.; Korvink, J. G.; Wallrabe, U.

186

Hoch-integrierte hermetische Durchführungen - Designaspekte und Zuverlässigkeit

Autoren: Ordonez, Juan; Bentler, Christian; Keller, Mark; Schuettler, Martin; Stieglitz, Thomas

187

188

Flexible Heißfilm-Anemometrie-Arrays zur Strömungsmessung an gekrümmten Strukturen

Autoren: Schwerter, Martin; Beutel, Tobias; Leester-Schädel, Monika; Dietzel, Andreas; Büttgenbach, Stephanus

189

AlN auf flexiblem Substrat für langzeitstabile, energieautonome Sensorsysteme

Autoren: Hau, S.; Marschibois, M.; Seidel, H.; Feili, D.

190

Hochempfindliche Drucksensoren mit lasergerechter Messbrückenanordnung

Autoren: Göttel, D.; Cerino, M.; Schultes, G.

191

192

Direktintegration von Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannungen

Autoren: Haas, S.; Schramm, M.; Heinz, S.; Loebel, K.-U.; Reuter, D.; Bertz, A.; Horstmann, J. T.; Gessner, T.

193

Piezoresistive Sensorschichten auf der Basis von nano-Cermets für Hochtemperaturanwendungen

Autoren: Uhlig, S.; Schmid-Engel, H.; Werner, U.; Schultes, G.

194

Stressmessung beim Aufbau und Test von Mikrosystemen

Autoren: Schreier-Alt, Thomas; Chmiel, Gerhard; Ansorge, Frank; Lang, Klaus-Dieter

195

Hoch dehnungsempfindliche Ni:a-C:H-Widerstandsschichten auf Polyimidfolie

Autoren: Pelt, T.; Probst, A.-C.; Bieck, W.; Clos, H.; Uhlig, S.; Schultes, G.

196

Sensorfasern auf Basis von Ni:a-C:H-Dünnschichten und zugehörige Messelektronik

Autoren: Vollberg, D.; Uhlig, S.; Göttel, D.; Schultes, G.

197

Drahtloses Auswertesystem für kapazitive gedruckte Beschleunigungssensoren

Autoren: Göstenkors, Timo; Schindler, Rico; Schweiger, Hendrik; Bau, Roland; Zielke, Dirk

198

Dynamic analysis of the torsional resonant mode of piezoelectric microcantilevers

Autoren: Qiu, H. C.; Feili, D.; Wu, X. Z.; Seidel, H.

199

Offene Test- und Entwicklunsplattform für Mikrosysteme

Autoren: Toszkowski, G.; Dahmen, N.; Dahmen, U.; Degen, C.; Göttert, J.; Hermanns, F.

200

Kostengünstige und ressourceneffiziente Herstellung von Glukose- und Laktatsensoren mittels Plasma Printing-Technologie auf flexiblen Substraten

Autoren: Lachmann, Kristina; Thomas, Michael; Jänsch, Mareike; Hartlep, Michael; Künnecke, Wolfgang

201

Induktiv Gekoppelte Detektoren für multinukleare Kernspinresonanzspektroskopie: Vorläufige Ergebnisse

Autoren: Kamberger, R.; Gruschke, O. G.; Göbel, K.; Hövener, J. B.; Elverfeldt, D.; Utz, M.; Korvink, J. G.

202

203

Herstellung einer Messküvette als Teil eines Messsensors für Echtzeit Ölqualitätsmessungen

Autoren: Günschmann, Sabine; Mannebach, Horst; Steffensky, Jörg; Fischer, Michael; Müller, Jens

204

Sensorsystem zur Fluoreszenzdetektion in der Mikrofluidik

Autoren: Jeske, D.; Alstadt, B.; Büddefeld, J.; Göttert, J.; Klauth, P.

205

Einfluss der Morphologie auf die Sensitivität eines photonischen Biosensors

Autoren: Kovacs, A.; Malisauskaite, A.; Mescheder, U.

206

CMOS integrated free standing circular membrane for the detection of allergens and biomarkers

Autoren: Burmester, Kim; Goehlich, Andreas; Celik, Yusuf; Schmidt, Andreas; Klieber, Robert; Haas, Norbert; Greifendorf, Dieter; Vogt, Holger

207

Neues Biosensorkonzept auf der Basis der Kelvin-Methode

Autoren: Ünlübayir, S.; Kumar, P.; Trieu, H-K.

208

Rapid-Prototyping von Dünnschichtsensoren für Zellkulturchips durch direkte Strukturierung mit einem Ultra-Kurzpulslaser

Autoren: Bonk, S. M.; Oldorf, P.; Weihe, T.; Stubbe, M.; Peters, R.; Baumann, W. H.; Gimsa, J.

209

Entwicklung eines hochtemperaturfesten Kondensators für die Mikrosystemtechnik

Autoren: Celik, Y.; Goehlich, A.; Jupe, A.; Vogt, H.

210

Integration von aufgerollten Nanomembranen mittels MEMS- und Laser-basierten Herstellungsverfahren

Autoren: Helke, C.; Enderlein, T.; Morschhauser, A.; Nestler, J.; Harazim, S. M.; Schmidt, O. G.; Otto, T.; Gessner, T.

211

Prozesskette zur Herstellung von polymeren Mikrohohlnadeln mittels UV Imprint-Lithographie

Autoren: Welte, G.; Rieper, T.; Schumacher, A.; Schmelz, M.; Müller, C.; Reinecke, H.

212

Fertigung von Mikrotaststiften und kugelförmigen Mikrokavitäten mittels Mikrofunkenerosion

Autoren: Ferreira, N.; Metz, D.; Krah, T.; Richter, C.; Dietzel, A.; Härtig, F.; Büttgenbach, S.

213

Microfluidic Design Automation für den Entwurf anwendungsspezifischer Lab-on-a-Chip Systeme

Autoren: Gleichmann, Nils; Malsch, Daniell; Horbert, Peter; Henkel, Thomas

214

Innovativer Ansatz eines Expertensystems für die Entwicklung von Mikrosystemen

Autoren: Boese, Christoph; Rustemeyer, Thomas; Dietzel, Andreas

215

Virtuelles Design nano- und mikroporöser Materialien für Energieanwendungen

Autoren: Thiele, S.; Erben, J.; Hutzenlaub, T.; Zengerle, R.

216

Einfluss der Materialverteilung in porosizierter LTCC auf die effektive Permittivität durch finite 3D Feld-Simulation

Autoren: Steinhäußer, F.; Talai, A.; Koelpin, A.; Weigel, R.; Bittner, A.; Schmid, U.

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Modeling the adhesion between nanoneedle surfaces bonded based on Velcro® or Gecko principle

Autoren: Keshavarzi, Shervin; Mescheder, Ulrich; Reinecke, Holger

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