VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Hrsg.)

GMM-Fb. 81: Mikro-Nano-Integration

Beiträge des 5. GMM-Workshops 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau

GMM-Fachberichte

2014, 132 Seiten, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-3632-4
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Inhaltsverzeichnis

Mikrosysteme sind aus praktisch allen Bereichen des täglichen Lebens nicht mehr wegzudenken. Darüber hinaus wird der Einsatz von Mikrosystemen weiter ausgebaut: Die Systeme, in denen Mikrosysteme zum Einsatz kommen, werden zunehmend autonomer.

1

Inkjet-Technologie zum Bedrucken dreidimensionaler kunststoffbasierter Substrate

Autoren: Polzinger, Bernhard; Matic, Vladimir; Keck, Jürgen; Eberhardt, Wolfgang; Kück, Heinz; Bürklin, Uwe; Keller, Kai J.

2

3

ZnO-Feldeffekttransistoren für flexible elektronische Schaltungen

Autoren: Hilleringmann, Ulrich; Vidor, Fábio F.

4

Abscheidung von Ag Nanopartikel Zwischenschichten für das Wafer- und Chip-level Packaging

Autoren: Roscher, Frank; Seifert, Tobias; Vogel, Klaus; Wiemer, Maik; Gessner, Thomas

5

Nadelstrukturen durch elektrochemisches HF-Ätzen von n-Silizium

Autoren: Pignanelli, Eliseo; Emmerich, Franziska; Schütze, Andreas

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7

8

UV-imprinting for the integration of inkjet-printed micro-optical elements

Autoren: Jacot-Descombes, Loic; Schleunitz, Arne; Klein, Jan J.; Grützner, Susanne; Bullerjahn, Franziska

9

Micro enables Nano – Active Cantilever for Single Digit Nanofabrication

Autoren: Kaestner, Marcus; Ivanov, Tzvetan; Krivoshapkina, Yana; Ahmad, Ahmad; Angelov, Tihomir; Reum, Alexander; Lipowicz, Hubert; Budden, Matthias; Lenk, Steve; Hofer, Manuel; Aydogan, Cemal; Holz, Mathias; Atanasov, Ivaylo; Guliyev, Elshad; Szostak, Katarzyna; Ishchuk, Valentyn; Schuh, Andreas; Schuh, Andreas; Zoellner, Jens-Peter; Rangelow, Ivo W.

10

Electrically excited plasmon resonances in hybrid metallic nano-structures as innovative sensor concept in bioanalytics

Autoren: Dathe, André; Ziegler, Mario; Hübner, Uwe; Stranik, Ondrej; Fritzsche, Wolfgang

11

Nanostrukturen als Problemlöser – Emissionserhöhung und Interferenzvermeidung am Bsp. eines IR-basierten Fluidsensors

Autoren: Müller, Lutz; Günschmann, Sabine; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Biermann, Steffen

12

Kalibrierbarer Mikrokraftsensor zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten

Autoren: Frank, Thomas; Völlmeke, Stefan; Steinke, Arndt; Doering, Lutz

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14

Genzflächendiffusions- und Adhäsionsverhalten von Epoxidharzen für mikroelektronische Sensorapplikationen

Autoren: Walter, H.; Bauer, J.; Braun, T.; Hölck, O.; Hölck, O.; Wunderle, B.; Schulz, M.; Keller, J.; Wittler, O.; Lang, K.-D.; Lang, K.-D.

15

16

Funktionale Integration bei Magnetoresistiven Sensoren

Autoren: Slatter, Rolf; Grimm, Hubert; Glenske, Claudia

17

Integrated Opto-Chemical Sensor System based on Group III-nitride Nanowires

Autoren: Kleindienst, R.; Krüger, M.; Grewe, A.; Sinzinger, S.; Holc, K.; Schätzle, J.; Steffen, A.; Cimalla, V.; Schwarz, U. T.; Schwarz, U. T.; Becker, P.; Hille, P.; Schörmann, J.; Teubert, J.; Eickhoff, M.

18

Mikro- und nanoskalige, mechanische Charakterisierung von MEMS für Zuverlässigkeitsbewertungen

Autoren: Vogel, Dietmar; Auerswald, Ellen; Brückner, John; Michel, Bernd; Rzepka, Sven

19

Fatigue analysis of anisotropic copper-vias in a circuit board

Autoren: Abali, B. E.; Reich, F. A.; Müller, W. H.

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21

Vollautomatische nanorobotische Bestückung von mikroskaligen Magazinen im Rasterelektronenmikroskop

Autoren: Bartenwerfer, M.; Diederichs, Claas; Diederichs, Claas; Fatikow, S.; Fatikow, S.

22

Mikrotechnische Umsetzung eines integriert optischen Michelson-Interferometers für Auflösungen im Sub-Nanometerbereich

Autoren: Markweg, Eric; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ortlepp, Hans Georg; Hoffmann, Martin; Mollenhauer, Olaf

23

Hybride Integration von Silicium- und LTCC Technologie zur Herstellung verstimmbarer Zylinderlinsen

Autoren: Leopold, S.; Pätz, D.; Sinzinger, S.; Müller, J.; Hoffmann, M.

24

Strukturierung von Elektronen-Feldemitter auf Basis metallischer Nanodrähte

Autoren: Roustaie, Farough; Wilfert, Stefan; Quednau, Sebastian; Dassinger, Florian; Lotz, Marcel; Lotz, Marcel; Schlaak, Helmut F.

25

Automated reel-to-reel fluidic self-assembly enabling the production of solid state lighting panels

Autoren: Park, Se-Chul; Fang, Jun; Biswas, Shantonu; Mozafari, Mahsa; Stauden, Thomas; Jacobs, Heiko O.; Jacobs, Heiko O.

26

Temperatur- und Feuchtesensor basierend auf planarisierten LTCC-Oberflächen

Autoren: Goj, Boris; Bartsch, Heike; Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin; Müller, Jens