VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Hrsg.)

MikroSystemTechnik Kongress 2015

MEMS, Mikroelektronik, Systeme 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe

2015, 870 Seiten, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-4100-7
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Inhaltsverzeichnis Vorwort

Der Mikrosystemtechnik kommt eine Schlüsselrolle bei der Bewältigung vieler Herausforderungen an unsere Gesellschaft zu. Sie liefert technische Beiträge zu Lösungen der Energiefragen, zum Erhalt unserer Umwelt und Gesundheit, zur Unterstützung der Mobilität sowie zum weiteren Ausbau von Information und Kom­mu­nikation. Sie nimmt auch eine zentrale Rolle in der nächsten Phase der Industrialisierung ein – das Stichwort ist hier Industrie 4.0 – und ist ebenso ein Kernelement in Visionen und Konzepten für unsere Zukunft, die unter Überschriften wie Cyber Physical Systems, TSensor, Systems oder auch Internet of Things erarbeitet werden. Auf der technischen Ebene steht für die Mikrosystemtechnik die Entwicklung neuer Produktions- und Fertigungsverfahren im Vordergrund mit Themen wie Integrationsverfahren für Systeme, maskenfreie Ver­fah­­ren sowie das Upscaling der Nanotechnologien.

GMM – VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)
Die GMM hat die Aufgabe, die wissenschaftliche und technische Entwicklung im Bereich der Mikroelektronik, Mikrosystem-, Nano- und Feinwerktechnik sowie deren breite Anwendungen zu fördern. Sie initiiert den dazu erforderlichen Dialog zwischen Herstellern, Anwendern und Wissenschaft und bildet ein Forum für Diskussionen über diese Techniken in der Öffentlichkeit. Die GMM vertritt die Belange der in ihr vertretenen Arbeits- und Fachgebiete gegenüber politischen Entscheidungsträgern und bringt ihre Fachkompetenz in die Gestaltung der Förderpolitik ein.

 


1

SmartSkin - Eine intelligente Haut für adaptiv bionische Greifer

Autoren: Saller, Stefan; Harendt, Christine; Kostelnik, Jan; Schreivogel, Alina; Mahsereci, Yigit; Burghartz, Joachim N.

2

Multifunktionale Dünnschichtsensormodule zur Überwachung von Produktionsprozessen

Autoren: Biehl, Saskia; Rumposch, Christian; Paetsch, Nancy; Meyer-Kornblum, Eike

3

Charakterisierung von Oberflächenablagerungen mit einem Mikrobiegebalken-Tastsensor im Kontakt-Resonanzmodus

Autoren: Suryo Wasisto, Hutomo; Suryo Wasisto, Hutomo; Dang, Ruochen; Doering, Lutz; Brand, Uwe; Peiner, Erwin; Peiner, Erwin

4

Ein dreiachsiger oszillierender Mikrotaster für die Koordinatenmesstechnik

Autoren: Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin

5

6

Smartphone-based rapid and highly sensitive immunoassay for human fetuin A

Autoren: Venkatesh, A. G.; Stetten, Felix von; Stetten, Felix von; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Vashist, Sandeep Kumar; Vashist, Sandeep Kumar

7

8

Die Gleichgewichtsgeschwindigkeit in Mikrokanälen für die Größenmessung von Partikeln: Welche Partikel sind am schnellsten?

Autoren: Baßler, Michael; Sommer, Christian; Böttger, Tim; Böttger, Tim; Wittek, Jörn; Drese, Klaus Stefan; Alebrand, Sabine; Schönfeld, F.

9

Untersuchung des endothelialen Wachstums innerhalb eines mikrofluidischen Systems zur Nachbildung physiologischer Barrieren mit integrierter Sensorik

Autoren: Rajabi, Taleieh; Ahrens, Ralf; Huck, Volker; März, Martin; Gantenbein, Hanna; Schneider, Stefan W.; Schroten, Horst; Guber, Andreas

10

Biohybrides Mikrofluidiksystem als Modell einer Blutkapillare zur Analyse der Extravasation von Tumorzellen

Autoren: Kayo, S.; Kühlbach, C.; Sechi, J.; Herrlich, S.; Zengerle, R.; Müller, M. M.

11

Ultra-kompakte adaptive Hochgeschwindigkeitslinsen mit großer Apertur und asphärischer Korrektur

Autoren: Wapler, Matthias C.; Weirich, Christopher; Stürmer, Moritz; Wallrabe, Ulrike

12

Optische Schnittstelle für photonische Wirebonds in photonischer BiCMOS-Technologie

Autoren: Mai, C.; Lischke, S.; Kroh, M.; Hoose, T.; Lindenmann, N.; Koos, C.; Mai, A.; Zimmermann, L.

13

Das Technische Auge - Dreidimensionale Abtastung des Objektraums

Autoren: Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin

14

15

Mikrolinsen für implantierbare Optroden

Autoren: Rudmann, L.; Huber, S. D.; Ordonez, J. S.; Stieglitz, T.

16

17

18

Nahfeldlokalisierung von Systemen in Produktionslinien

Autoren: Gulden, Peter; Fischer, Christian; Lipka, Melanie; Marschall, Albert; Fritzsch, Thomas; Franke, v; Vossiek, Martin

19

Intelligente Steckverbinder und Anschlusstechnologien für die Produktion der Zukunft

Autoren: Michels, Jan S.; Mödinger, R.; Meier, O.; Baar, C.; Ansorge, F.; Schiefelbein, F.-P.

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21

Verschiedene Kraftsensorprinzipien für flexible Schuheinlagen in der akustischen Ganganalyse

Autoren: Knieling, Thomas; Kurylo, Agnieszka; Beeck, Florian; Sethumadhavan, Vithyasaahar

22

Aufbau hochintegrierter Sensorsysteme mittels Inkjet-Druck und Film Assisted Molding

Autoren: Keck, J.; Hera, D.; Juric, D.; Polzinger, B.; Liedtke, L.; Eberhardt, W.; Kück, H.; Zimmermann, A.; Ehrenpfordt, R.; Schulze-Spüntrup, J. D.

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24

Neuartiger Smart Tooth mit zehnfach höherer Kraftauflösung

Autoren: Becker, F.; Kuhl, M.; Manoli, Y.; Paul, O.

25

Mikrosysteme für Kryofixierung bei kontinuierlicher Lebend-Zell Mikroskopie

Autoren: Mejia, Y. X.; Nocera, G. M.; Holik, P.; Feindt, H.; Steltenkamp, S.; Burg, T. P.

26

Automatisiertes Mikrofluidik-System mit optischem Aufbau zur Untersuchung von Peptid-Antikörper-Wechselwirkungen im Arrayformat

Autoren: Weber, L. K.; Fischer, A.; Soehindrijo, M.; Förtsch, T. C.; Bojnicic-Kninski, C.; Althuon, D.; Schillo, S. M.; Striffler, J.; Löffler, F. F.; Breitling, F.; Hubbuch, J.; Nesterov-Müller, A.

27

Simulation und Messungen zum Mikroelektrospray-Verfahren

Autoren: Pagel, Natalie; Mettel, Cecil; Feili, Dara; Seidel, Helmut

28

Dosierplattform zur Deposition von photoaktiven Fluiden für Anwendungen in der Photonik

Autoren: Hofmann, A.; Kröger, M.; Ungerer, M.; Wondimu, S. F.; Kohler, D.; Dietrich, P.-I.; Wienhold, T.; Lauermann, M.; Koos, C.; Bretthauer, G.

29

Hochdynamischer Stereosensor für die 3D-Bilderfassung und -verarbeitung in Anwendungen der intelligenten Service Robotic

Autoren: Strobel, Markus; Kersten, Daniel; Zanker, Michel; Pullmann, Jürgen; Döhn, Christian; Martakov, Yury; Fröbig, Timo

30

Flachbauendes Multiaperturmikroskop mit hohem Auflösungsvermögen

Autoren: Hermeyer, Tobias; Wippermann, Frank; Berlich, René; Reimann, Andreas; Brückner, Andreas; Bräuer, Andreas

31

In Kieselglas monolithisch integriertes Interferometer

Autoren: Weigel, C.; Markweg, E.; Hoffmann, M.

32

Gesputterte Germanium-Dünnfilme auf flexiblen transparenten Substraten für elektro-optische Applikationen

Autoren: Feili, Dara; Penth, Michael; Kiefer, Christian; Seidel, Helmut

33

Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren

Autoren: Paul, Johannes; Knoll, Heiko; Lenkl, Andreas; Tide, Ralf; Theis, Martin; Saumer, Monika; Vetter, Christian; Piorra, Andre; Meyners, Dirk; Lofink, Fabian; Fichtner, Simon; Wagner, Bernhard; Zoschke, Kai

34

Der multisensorische Werkzeughalter

Autoren: Brozio, Matthias

35

Kabellose Linearführungssysteme mit integrierter Positionssensorik

Autoren: Guthörl, Eike; Paul, Johannes; Mathieu, Jérôme; Lindemann, Ralf; Shanib, Maruan

36

Multi-Parameter Low-Power Sensor Netzwerk für die Meeresforschung

Autoren: Wahn, L.; Gentz, T.; Trieu, H. K.; Schlüter, M.; Müller, J.

37

Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen

Autoren: Mehner, H.; Weise, C.; Schwebke, S.; Hampl, S.; Hoffmann, M.

38

Entwurf und Test von Acoustic Emission Sensoren basierend auf dem MEMS-Bandpass-Prinzip

Autoren: Freitag, M.; Auerswald, C.; Wolf, P.; Sorger, A.; Dienel, M.; Shaporin, A.; Mehner, J.

39

Zweidimensionaler Vertikaler Hallsensor in CMOS-Technologie

Autoren: Sander, C.; Leube, C.; Paul, O.

40

MEMS-Mikrofone mit hohem Signal zu Rausch Abstand und geringen Sensitivitätsstreuungen

Autoren: Walser, Sebastian; Feiertag, Gregor; Loibl, Michael; Pahl, Wolfgang; Winter, Matthias; Siegel, Christian; Leidl, Anton

41

Vor-Ort-Erzeugung von Mikro- und Nanodrähten auf geraden und gekrümmten Oberflächen

Autoren: Wick, K.; Roustaie, F.; Quednau, S.; Schlaak, H. F.

42

Mechanische Charakterisierung von metallischen 1D-Nanostrukturen

Autoren: Dassinger, F.; Hottes, M.; Ensinger, W.; Schlaak, H. F.

43

Zwei-Photonen-Polymerisationsprozesse auf Wafergröße

Autoren: Markweg, Eric; Petzold, Norman; Kowallik, Thomas; Mämpel, Jörg; Mollenhauer, Olaf

44

Herstellung mikrooptischer Komponenten durch Zwei-Photonen-Polymerisation

Autoren: Dietrich, P.-I.; Wondimu, S. F.; Wienhold, T.; Steidle, M.; Hofmann, A.; Lindenmann, N.; Billah, M. R.; Hoose, T.; Blaicher, M.; Freude, W.; Koos, C.

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47

Tintenstrahldruck ermöglicht eine maskenfreie strukturierte Mikrogalvanik zur Herstellung von miniaturisierten Spulen

Autoren: Meissner, Markus V.; Spengler, Nils; Mager, Dario; Korvink, Jan G.

48

Kontinuierliche Fertigung hybrider Mehrlagensysteme

Autoren: Brecher, Christian; Baum, Christoph; Bastuck, Thomas; Priwisch, Martin

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Cross-Cluster Industrie 4.0 Südwest

Autoren: Funk, K.; Neuy, C.

51

Selbstkalibrierendes Ultraschallsystem für die Lokalisierung mobiler Einheiten in der Intralogistik

Autoren: Traub-Ens, Alexander; Bordoy, Joan; Wendeberg, Johannes; Höflinger, Fabian; Schindelhauer, Christian; Reindl, Leonhard M.

52

53

Modulare µ-MRT Spule der zweiten Generation

Autoren: Spengler, N.; Höfflin, J.; Moazenzadeh, A.; Wallrabe, U.; Korvink, Jan G.

54

Kalzifizierungsanalyse in einem Mikrofluidikchip

Autoren: Maurer, P.; Gerhardy, C.; Gräber, S.; Jahnen-Dechent, W.; Schomburg, W. K.

55

Markerfreier Lab-on-Chip Biosensor basierend auf photonischen a-Si:H-Resonatoren

Autoren: Moldenhauer, Lennart; Lipka, Timo; Wahn, Lennart; Trieu, Hoc Khiem

56

Systemintegration auf Hard- und Softwareebene am Beispiel des 2:1 Funktionsmodells eines Künstlichen Akkommodationssystems

Autoren: Gengenbach, U.; Beck, C.; Guth, H.; Hellmann, A.; Koker, L.; Krug, M.; Martin, T.; Nagel, J.; Sieber, I.; Scharnowell, R.; Stiller, P.; Guthoff, R.; Bretthauer, G.

57

Montage von Mikrosystemen durch reaktives Fügen

Autoren: Schumacher, Axel; Salmen, Ulrike; Knappmann, Stephan

58

Leiterbahnen zur Versorgung von Leistungselektronik auf Spritzgegossenen, keramischen Grundkörpern

Autoren: Matuschka, B.; Schulze, V.; Rohde, M.; Seifert, H.

59

Ultradünne Siliziumchips und Schaltungsträger für Anwendungen in flexiblen elektronischen Systemen

Autoren: Schuster, E.; Lorenz, E.; Berschauer, K.; Gneiting, T.; Harendt, C.; Kostelnik, J.; Kugler, A.; Wolf, J.; Burghartz, J. N.

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Poröses LTCC als Substratmaterial für Höchstfrequenzradarsensoren

Autoren: Bittner, Achim; Steinhäußer, Frank; Talai, Armin; Koelpin, Alexander; Weigel, Robert; Rittweg, Thomas; Schwanke, Dieter; Sandulache, Gabriela; Hansal, Wolfgang; Schmid, Ulrich

63

Thermisches Verhalten von SiCer – ein innovatives Verbundsubstrat für MEMS

Autoren: Fischer, Michael; Karolewski, Dominik; Welker, Tilo; Schelestow, Kristina; Gropp, Sebastinan; Hoffmann, Martin; Müller, Jens

64

On-Chip Brennstoffzellen als Energieversorgung für RFID Systeme

Autoren: Zimmermann, D.; Moranz, C.; Kuhl, M.; Freund, I.; Müller, C.; Reinecke, H.; Manoli, Y.; Manoli, Y.

65

Thermisches Energy Harvesting mit magnetischen Formgedächtnis- Dünnschichten

Autoren: Gültig, M.; Ohtsuka, M.; Miki, H.; Takagi, T.; Kohl, M.

66

System- und Schaltungskonzepte für Low-Power-Radarsensorik zur Anwesenheitsdetektion

Autoren: Lurz, Fabian; Mann, Sebastian; Linz, Sarah; Lindner, Stefan; Weigel, Robert; Koelpin, Alexander

67

Autonomer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren

Autoren: Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard

68

Mit Röntgenlithographie gefertigte Gitterstrukturen ermöglichen neue Röntgenbildgebung in Medizin und Materialwissenschaft

Autoren: Koch, Frieder; Schröter, Tobias; Meiser, Jan; Meyer, Pascal; Kunka, Danays; Faisal, Abrar; Yaroshenko, Andre; Birnbacher, Lorenz; Prade, Friedrich; Pfeiffer, Franz; Duttenhofer, Thomas; Schulz, Joachim; Mohr, Jürgen

69

Mikrosensor und Ausleseelektronik für miniaturisierte aktive medizinische Implantate

Autoren: Nawito, Moustafa; Link, Gorden; Stett, Alfred; Richter, Harald; Burghartz, Joachim N.

70

Sensorkapsel für die medizinische In-vivo-Biosensorik

Autoren: Stett, A.; Link, G.; Metzen, R. von; Schneider, K.; Mintenbeck, D.; Rossbach, D.; Richter, H.; Nawito, M.; Jeschke, C.; Bludau, O.; Haas, N.; Lebold, T.; Kokelmann, M.

71

Miniaturisiertes 3×3 LED-Array mit integrierten Glasfasern und hochflexiblem Flachbandkabel für Anwendungen in der Optogenetik

Autoren: Schwaerzle, Michael; Elmlinger, Philipp; Paul, Oliver; Ruther, Patrick

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73

Resonant actuation concept for the manipulation of upper turbulent boundary layer

Autoren: Mansoor, M.; Köble, S.; Goldschmidtböing, F.; Woias, P.

74

Magnetischer Formgedächtnisaktor mit intrinsischer Lagesensorik

Autoren: Yin, R.; Wendler, F.; Kohl, M.

75

Piezoelektrische ohmsche MEMS-Schalter mit bidirektionalem Antrieb und geringen Schaltzeiten

Autoren: Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.; Benecke, W.

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Interdigital gesteuerte piezoelektrische Mikromembranantriebe und deren Skalierung

Autoren: Zaehringer, Sandy; Purr, Julia; Schwesinger, Norbert

78

Herstellung und Integration piezoelektrischer Pb(ZrxTi1-x)O3-Schichten außerordentlicher Schichtdicke für die Erschließung neuer Anwendungsgebiete

Autoren: Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Koessler, D.; Sichelschmidt, J.; Jakob, A.; Wagner, B.; Jung, T.; Tiefensee, F.

79

Aluminiumnitrid Membranen mit vergrabenen IDT für neuartige Membranbiegeschwinger

Autoren: Reusch, Markus; Katus, Philip; Schilling, Claudia; Holc, Katarzyna; Pletschen, Wilfried; Kirste, Lutz; Ambacher, Oliver; Ambacher, Oliver; Reindl, Leonhard; Lebedev, Vadim

80

Ein neues Laser-Ablationsverfahren zur sub-5 µm Strukturierung von Dünnfilm-Polymeren

Autoren: Töpper, Michael; Wilke, Martin; Wöhrmann, Markus; Jaeger, Danny; Lang, Klaus-Dieter

81

Dotierung von SiC mittels Energiefilter für Ionenimplantation

Autoren: Krippendorf, Florian; Csato, Constantin; Akhmadaliev, Shavkat; Borany, Johannes von; Höchbauer, Tobias; Kern, Ronny; Rupp, Roland; Schustereder, Werner; Rüb, Michael

82

Verwendung von Schattenmasken zur Direktstrukturierung individuell adaptierbarer Sensorik auf technischen Oberflächen

Autoren: Klaas, D.; Rittinger, J.; Taptimthong, P.; Düsing, J. F.; Wurz, M. C.; Rissing, L.

83

Autonomer binärer Zähler für die Erfassung von Grenzwertereignissen

Autoren: Mehner, H.; Schwebke, S.; Leopold, S.; Hoffmann, M.

84

Entwicklung einer neuartigen nichtflüchtigen Speichertechnologie für zukünftige Automobilanwendungen

Autoren: Wenger, Ch.; Hildebrandt, E.; Vogel, S.; Sharath, S. U.; Alff, L.

85

86

Zuverlässige Zugangskontrolle durch Authentifizierung mittels MEMS-basiertem Retinascanner mit zusätzlicher Projektionsoption

Autoren: Woittennek, Franziska; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Dallmann, Hans-Georg; Schelinski, Uwe; Grüger, Heinrich

87

88

Nachhaltige Mikrofluidik durch Heißprägen von Schellack

Autoren: Lausecker, Roland; Badilita, Vlad; Wallrabe, Ulrike

89

Herstellung von strukturierten Metalloberflächen durch Template-Stripping

Autoren: Schmidl, Gabriele; Dellith, Jan; Teller, Nicole; Li, Guangrui; Zopf, David; Dathe, Andre; Mayer, Günter; Hübner, Uwe; Fritzsche, Wolfgang

90

Untersuchungen zur Abhängigkeit der mechanischen Bruchfestigkeit von Siliziummembranen von der Ätztechnologie

Autoren: Brokmann, Geert; Täschner, Robert; Pobering, Sebastian; Porytskyy, Rudolf; Übensee, Hartmut; Blech, Michael; Ortlepp, Thomas

91

Mikrofluidikmodule für die Biotechnologie: Herstellung und Charakteristika

Autoren: Ventruto, Reto; Schumacher, Patrick; Good, Hanspeter; Bauböck, Günther; Kaiser, Alexander; Fritz, Karl-Heinz

92

Fortschritte beim Mikrospritzgießen: Abformung im Nanometerbereich und Mehrkomponenten-Spritzgießen

Autoren: Piotter, Volker; Klein, Alexander; Müller, Tobias; Plewa, Klaus; Prokop, Jürgen

93

Neues Co-Casting-Verfahren zur Herstellung Piezoelektrischer Mehrlagen-Bauteile mit Silber-Innenelektroden

Autoren: Medesi, Anna; Megnin, Christof; Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas

94

Auswirkungen von Reflexen an Seitenwänden von Goldabsorbern in der Röntgentiefenlithographie

Autoren: Last, A.; Börner, M.; Marschall, F.; Meyer, P.; Simon, M.; Márkus, O.; Georgi, S.; Mohr, J.

95

Elektrophoretische Abscheidung von Bismutvanadat f"ür Photo-Elektrochemische Zellen

Autoren: Mauck, Markus; Mauck, Markus; Megnin, Christof; Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas; Müller, Claas

96

Flexible LCP-basierte Mehrlagenschaltungen in Dünnschichttechnik: Herstellungstechnologie und Charakteristika

Autoren: Kaiser, Alexander; Bee, Carlos Maximilian; Matej, Paul; Herbort, Christian; Holl, Bruno; Rueß, Karin; Bauböck, Günther; Dupuis, Frédéric; Fritz, Karl-Heinz; Metzen, Rene von

97

Modellierung nass-chemischer Porösizierverfahren auf LTCC für elektromagnetische Hochfrequenz Feldsimulation

Autoren: Talai, Armin; Steinhäußer, Frank; Bittner, Achim; Schmid, Ulrich; Weigel, Robert; Kölpin, Alexander

98

Microfabrication of high permittivity metamaterials with tall metal inclusions in thick photoresist layers

Autoren: Aligodarz, M. Tayfeh; Klymyshyn, D. M.; Börner, M.; Matthis, B.; Mohr, J.

99

ALD-basierte, monolithisch integrierte 3D-Nanostrukturen

Autoren: Jupe, A.; Goehlich, A.; Feizi, K.; Vogt, H.

100

Adhesion of Continuous and Homogeneous Electrodeposited Copper Layers on Silicon

Autoren: Lima, F.; Lima, F.; Reinecke, H.; Mescheder, U.

101

102

103

Optimization of Diaphragm Characteristics of an Absolute MEMS Capacitive Polysilicon Pressure Sensor

Autoren: Walk, Christian; Giese, André; Weidenmüller, Jens; Görtz, Michael

104

Entwicklung von Hochtemperatur Trench-Kondensatoren unter Verwendung von dünnen ALD-Dielektrika

Autoren: Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Kappert, Holger

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106

107

108

109

Magnetresonanz-kompatibler Mini-Inkubator für die Untersuchung der Epileptogenese in vitro

Autoren: Kamberger, R.; Göbel, K.; Gerlach, J.; Gruschke, O. G.; LeVan, P.; Leupold, J.; Elverfeldt, D. von; Hennig, J.; Haas, C.; Korvink, J. G.

110

111

Entwicklung einer Digitalen Mikrofluidik-Plattform zur Automatisierung eines TALEN Ligations-Prozesses

Autoren: Ecken, Sebastian von der; Doll, Patrick; Ahrens, Ralf; Strähle, Uwe; Guber, Andreas E.

112

Automatisierte Nukleinsäurediagnostik in der LabDisk mittels frequenzgesteuerter Freisetzung vorgelagerter Reagenzien

Autoren: Stumpf, F.; Schwemmer, F.; Hutzenlaub, T.; Strohmeier, O.; Stetten, F. von; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Mark, D.

113

Entwicklung einer Mikrochip navigierten Zellsortieranlage

Autoren: Kahnert, S.; Schreiber, F.; Goehlich, A.; Erni, D.; Greifendorf, D.; Lennartz, K.; Kirstein, U.; Bartels, F.; Janzyk, U.; Rennings, A.; Küppers, R.; Vogt, H.

114

Simulation und Charakterisierung einer bi-direktionalen Dreikammermikropumpe aus Edelstahl

Autoren: Artelsmair, A.; Wackerle, M.; Richter, M.; Irlinger, F.

115

Entwicklung und Charakterisierung einer magnetohydrodynamischen (MHD) Pumpe

Autoren: Bamarni, D.; Müller, C.; Reinecke, H.

116

Strukturen für Fluidik-Handling mit austauschbaren Aktuatoren

Autoren: Freundlieb, Mareike; Schlüter, Michael; Padberg, Moritz

117

Neue Zytometrie-Strukturen für Streulicht- und Geschwindigkeitsmessungen

Autoren: Freundlieb, Mareike; Michael Schlüter,; Schütte, Helmut

118

Smartphone EasyELISA - A point-of-care platform for cost-effective and easy-to-use in vitro diagnostics

Autoren: Venkatesh, A. G.; Stetten, Felix von; Stetten, Felix von; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Vashist, Sandeep Kumar; Vashist, Sandeep Kumar

119

Kompaktmodell für die Charakterisierung eines piezoelektrischen Membrandruckkopfes

Autoren: Rumschöttel, Dominik; Kagerer, Markus; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.

120

Particle Tolerance of micro diaphragm pumps with low chamber heights and passive flap valves

Autoren: Jenke, C. W.; Muster, T.; Richter, M.; Kutter, C.

121

Formulierung nanopartikulärer Wirkstoffe in mikrofluidischen Emulsionen

Autoren: Lorenz, Thomas; Lorenz, Thomas; Steens, Corinna; Dietzel, Andreas; Dietzel, Andreas

122

123

Design Automation for Microfluidic Biochips Considering Efficiency and Reliability

Autoren: Li, Bing; Tseng, Tsun-Ming; Ho, Tsung-Yi; Schlichtmann, Ulf

124

Röntgenoptische Messung des Seitenwandwinkels direktlithografischer refraktiver Röntgenlinsen

Autoren: Last, Arndt; Márkus, Ottó; Georgi, Sebastian; Mohr, Jürgen

125

MEMS Spiegel für die Hochleistungs-Lasermaterialbearbeitung

Autoren: Senger, F.; Herwig, P.; Gawlitza, P.; Ortega-Delgado, M.; Wantoch, T. v.; Mallas, C.; Wetzig, A.; Hofmann, U.

126

Zemax®-Simulationen zur Entwicklung eines Wafer Level Optopackage für 2D-Mikrospiegel

Autoren: Stenchly, V.; Schwarz, F.; Quenzer, H. J.; Benecke, W.

127

128

Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur

Autoren: Kronast, Wolfgang; Lange, Volker; Huster, Rolf; Mescheder, Ulrich

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Optoelektronischer Nivellierungssensor – Simulationen und Funktionsmuster

Autoren: Müller, R.; Förster, E.; Brodersen, O.

131

132

133

Methoden zur fotolithographischen Herstellung Diffraktiv Optischer Elemente in Quarzglas mit hoher Beugungseffizienz

Autoren: Schmitt, J.; Schmitt, J.; Bischoff, Ch.; Rädel, U.; Grau, M.; Wallrabe, U.; Völklein, F.

134

135

Entwicklung eines Mikropixelsiliziumphotomultipliers

Autoren: Long, L.; Möller, Ch.; Ortlepp, Th.

136

Miniaturisierte Oberflächenplasmonenresonanz Sensorplattform

Autoren: Hausler, P.; Holler, S.; Hirsch, T.; Bierl, R.

137

Technologieentwicklung einer post-process Elektrodenspaltverringerung zur Herstellung von hochauflösenden Sensorsystemen

Autoren: Meinecke, Christoph; Müller, Mathias; Rennau, Michael; Reuter, Danny; Ebert, Robby; Bertz, Andreas; Exner, Horst; Geßner, Thomas

138

Hybrider Fertigungsprozess zur Integration von Drucksensoren auf die Oberfläche von Tellerfedern

Autoren: Rittinger, J.; Klaas, D.; Wurz, M. C.; Rissing, L.

139

Ultraschall-Thermoformen von Überlastsensoren für kohlenstofffaserverstärkte Kunststoffbauteile

Autoren: Nieradzik, T.; Kukla, C.; Gerhardy, C.; Schomburg, W. K.

140

Ein neuartiges 2D-MOEMS-Scanner basiertes LIDAR-System zur Objekt- und Umgebungserkennung

Autoren: Giese, T.; Grünzig, S.; Weiler, L.; Hofmann, U.; Stenchly, V.; Benecke, W.

141

Low-Cost MEMS-basiertes Mess-System zur Motordiagnose

Autoren: Ahrend, Ulf; Wildermuth, Stephan; Orman, Maciej; Rzeszucinski, Pawel

142

Isotrope mechanische Aufhängung für 3D-Mikrotastsysteme

Autoren: Metz, D.; Ferreira, N.; Dietzel, A.

143

MEMS-basierter thermischer Durchflusssensor für eine Flussmessung mit hoher Dynamik

Autoren: Saremi, S.; Saremi, S.; Feili, D.; Alyari, A.; Seidel, H.

144

145

146

Modulare aktive Probecard zur Systemcharakterisierung von mikroelektromechanischen Sensoren am Beispiel von Gyroskopen

Autoren: Weidlich, S.; Forke, R.; Billep, D.; Konietzka, S.; Köhler, D.; Hiller, K.; Geßner, T.

147

148

Zeitkonstanten für die Relaxation thermomechanischer Spannungen in Silizium-Glas-Verbünden

Autoren: Blech, Michael; Übensee, Hartmut; Täschner, Robert; Brokmann, Geert; Xu, Xuemei; Ortlepp, Thomas

149

Design und Herstellung eines akustischen Wandlers mit einer Polymermembran

Autoren: Kaiser, M.; Rechel, M.; Goldmann, J.; Rissing, L.; Wurz, M. C.

150

Charakterisierung und Modellierung freistehender Silizium Membranen auf SOI-Basis für Drucksensor-Anwendungen

Autoren: Goehlich, A.; Jupe, A.; Stühlmeyer, M.; Celik, Y.; Schmidt, A.; Vogt, H.

151

Fertigung von Dünnfilm-Folien-Dehnungsmessstreifen durch Laserstrukturierung und Siebdruck Technik

Autoren: Vollberg, D.; Probst, A.-C.; Langosch, M.; Cerino, M.; Schultes, G.

152

Optische und taktile Sensoren für die Inline-Prozessüberwachung bei der spanenden Fertigung

Autoren: Frank, Th.; Fiedler, M.; Völlmeke, St.; Winzer, A. T.; Görlandt, St.; Ortlepp, H.-G.; Steinke, A.; Doering, L.; Lahmann, H.-W.; Reich, S.

153

Low-Power Elektronik für MEMS Mikrospiegel

Autoren: Rombach, Stefan; Marx, Maximilian; Gu-Stoppel, Shanshan; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos

154

SensIDLi: Ein Open-Source-Werkzeug für die Entwicklung von Kommunikationsschnittstellen smarter Sensorsysteme

Autoren: Rathfelder, Christoph; Groenda, Henning; Taspolatoglu, Emre

155

156

157

158

159

Laserlöten hochpräziser optischer Mikrosysteme

Autoren: Hornaff, M.; Burkhardt, T.; Ribes, P.; Ribes, P.; Mohaupt, M.; Zaage, B.; Kamm, A.; Beckert, E.; Eberhardt, R.

160

Kupfer-Dickfilmstrukturen für Silizium-Karbid Leistungsmodule mit hoher Integrationsdichte

Autoren: Meisser, Michael; Schmenger, Max; Leyrer, Benjamin; Bernd, Martin; Blank, Thomas

161

Niedertemperatur-Bondverfahren für thermisch-elektrische Hochleistungssysteme

Autoren: Möller, Eike; Bajwa, Adeel Ahmad; Wilde, Jürgen

162

Intuitive Steuerung einer Mikroproduktionsanlage durch mehrere haptische Eingabegeräte

Autoren: Tiemerding, Tobias; Mikczinski, Manuel; Diederichs, Claas

163

Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-Verbundsubstrat

Autoren: Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin

164

Oberflächenplanare Integration von Sensorchips

Autoren: Vierhaus, J.; Schmaus, C.; Kießig, A.; Schubert, W.; Burte, E. P.

165

Mikrofügen mit reaktiven Nanokompositen

Autoren: Kremer, Matthias P.; Kremer, Matthias P.; Tortschanoff, Andreas; Guber, Andreas E.

166

Waferlevel AVT mit Pd/Al-integrierten reaktiven Multilagensystemen

Autoren: Vogel, Klaus; Roscher, Frank; Hertel, Silvia; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas

167

Ultradünne flexible Leiterplatten für industrielle Anwendung, Sensorik und Biomedizin

Autoren: Gutöhrlein, K.; Stumpf, A.; Heusel, G.; Röhler, S.; Burkhardt, C. J.; Stett, A.

168

Flexibles magnetisches Lese-/Schreibsystem: Design eines Schreibkopfes

Autoren: Taptimthong, P.; Rittinger, J.; Wurz, M. C.; Rissing, L.

169

170

Brennstoffzellen aus LiGa-Technik für portable Anwendungen

Autoren: Hahn, L.; Helm, P.; Baumgärtner, M.; Lanzinger, G.

171

Extensions of the IEEE 802.15.4 protocol for the usage with highly energy-saving real-time communication

Autoren: Phuong, Nguyen Minh; Schappacher, Manuel; Sikora, Axel

172

Thermoelektrisch versorgte, energieautarke Sensorsysteme im Kfz

Autoren: Woias, P.; Mehne, P.; Heller, S.; Kröner, M.

173

174

Drahtlose Energieversorgung für rotierende Disks

Autoren: Höfflin, Jens; Delgado, Saraí Torres; Sandoval, Fralett Suárez; Korvink, Jan Gerrit; Mager, Dario

175

SystemC AMS basierte V&V-Methodik in der Mikrosystemtechnik

Autoren: Ehrlich, Paul; Schulz, Stephan

176

System Level Simulation of Compact Parametric Model of Magnetic Resonance Micro Sensor

Autoren: Zadeh, Sh. Gorgi; Kudryavtsev, M.; Jouda, M.; Korvink, J. G.; Bechtold, T.

177

CMOS frequency division multiplexer enables multi-channel magnetic resonance imaging with a single channel spectrometer

Autoren: Jouda, M.; Gruschke, O. G.; Fischer, E.; Leupold, J.; Elverfeldt, D.; Hennig, J.; Korvink, J. G.

178

Entwicklung eines Multi-Antennen Wake-up Empfängers

Autoren: Kumberg, Timo; Tannhäuser, Robert; Reindl, Leonhard M.

179

Geregeltes Auslesekonzept für Lorentzkraftmagnetometer

Autoren: Krawat, Daniel; Maurer, Michael; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos

180

Elektro-Mechanischer Δ-Σ Modulator für MEMS Drehratensensoren

Autoren: Rombach, Stefan; Maurer, Michael; Wendler, Daniel; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos

181

182

Miniaturisierte On-Chip Teststrukturen zur Festigkeitsüberwachung von Poly-Silizium

Autoren: Brückner, John; Glacer, Christoph; Dehé, Alfons; Auerswald, Ellen; Hildebrandt, Marcus; Vogel, Dietmar; Rzepka, Sven

183

Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für Mikrobauteile

Autoren: Lotichius, J.; Christmann, E.; Asmus, A.; Kupnik, M.; Werthschützky, R.

184

Robuste Erkennung von kombinierten Positions- und Identifizierungs-Mikromarkierungen

Autoren: Förtsch, Tobias C.; Bojnicic-Kninski, Clemens von; Khan, M. Shahbaz; Märkle, Frieder; Weber, Laura K.; Fischer, Andrea; Münster, Bastian; Ridder, Barbara; Althuon, Daniela; Striffler, Jakob; Sedlmayr, Martyna; Bykovskaya, Valentina; Popov, Roman; Soehindrijo, Miriam; Breitling, Frank; Löffler, Felix F.; Nesterov-Müller, Alexander

185

186

Parameteridentifikation von Material und Prozessparametern im Package mit Hilfe des Stresschips

Autoren: Schindler-Saefkow, Florian; Schindler-Saefkow, Florian; Rost, Florian; Rost, Florian; Rzepka, Sven

187

Entwurf und Fertigung eines elektromagnetischen Normalkraftaktors in hybrider Bauform für taktile Displays

Autoren: Rechel, M.; Rissing, L.; Hofmann, V.; Tarnowsky, A.; Wolter, F.-E.; Wallaschek, J.; Wurz, M. C.

188

Mikro-Analysegreifer für Einzelzelluntersuchungen

Autoren: Garcés-Schröder, M.; Leester-Schädel, M.; Böl, M.; Dietzel, A.

189

Miniaturisierte Hochfrequenz-Aktoren zur Beeinflussung der oberen turbulenten Grenzschicht

Autoren: Köble, Sören; Mansoor, Muhammad bin; Woias, Peter; Goldschmidtböing, Frank

190

Zweiachsiger Mikroschrittaktor mit großem Stellweg für die Positionierung von Blenden-Arrays

Autoren: Endrödy, C.; Mehner, H.; Sinzinger, S.; Hoffmann, M.

191

Integration kostengünstiger elektrothermischer Polymeraktoren in Leiterplattensysteme

Autoren: Winterstein, T.; Islam, S.; Khoury, M. El; Nakic, C.; Schlaak, H. F.

192

Form-Gedächtnis Mikroventile für Fluid-Systeme

Autoren: Megnin, Christof; Ossmer, Hinnerk; Gültig, Marcel; Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas; Kohl, Manfred

193

194

Silizium-Photonik: Integriertes Sensorkonzept für die Detektion von Gasen und Flüssigkeiten

Autoren: Kaschel, Mathias; Frank, Alexander; Letzkus, Florian; Butschke, Jörg; Burghartz, Joachim

195

Modulare Mikrofluidik-Plattform im Laboratory Disc-Format für die biosensorische Bestimmung von Propionsäure-Konzentrationen

Autoren: Schmidl, G.; Dutz, S.; Dutz, S.; Kielpinski, M.; Mayer, G.; Simonte, F.; Gescher, J.; Henkel, T.

196

Temperaturstabilisierung für Phosphoreszenz-Quenching-Sensoren zur Sauerstoffdetektion

Autoren: Bolse, Nico; Chouikh, Ghazi; Sellner, Michael; Eschenbaum, Carsten; Lemmer, Uli

197

Proteindetektion mittels Quarz-Kristall-Mikrowaagen

Autoren: Thies, Jan-Wilhelm; Thies, Jan-Wilhelm; Kuhn, Philipp; Kuhn, Philipp; Masthoff, Ingke-Christine; Masthoff, Ingke-Christine; Schulze, Torben; Schulze, Torben; Rustenbeck, Ingo; Rustenbeck, Ingo; Garnweitner, Georg; Garnweitner, Georg; Dübel, Stefan; Dübel, Stefan; Dietzel, Andreas; Dietzel, Andreas

198

Ein Multiresonant abgestimmter Hemlholtzdetektor für MRT und 2D NMR von flüssigen Proben mit 100 nl Volumen

Autoren: Höfflin, Jens; Spengler, Nils; Badilita, Vlad; Wallrabe, Ulrike; MacKinnon, Neil; Korvink, Jan Gerrit

199

On-Chip Impedanz Trimming von transparenten und flexiblen ITO-Elektroden durch Laser Induzierte Nanocuts

Autoren: Afshar, M.; Leber, M.; Poppendieck, W.; König, K.; Seidel, H.; Feili, D.

200

SERS-Substrate zur Integration in mikrofluidische Sensorsysteme

Autoren: Habermehl, A.; Eckstein, R.; Eckstein, R.; König, F.; Liu, X.; Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Lemmer, U.; Lemmer, U.; Lemmer, U.

201

Dünne Isolationsschichten für die Hochfrequenz-Chirurgie

Autoren: Banghard, Michael; Banghard, Michael; Silmy, Kamel; Nisch, Wilfried; Bucher, Volker; Bucher, Volker

202

Telemetriesystem zur nicht-invasiven Glukosemessung in der Tränenflüssigkeit

Autoren: Fischer, Roland; Hennig, Andreas; Lauko, Jan; Wilson, Christopher; Goertz, Michael; Mokwa, Wilfried

203

Fertigung eines Gitterelektroden-Arrays zur selektiven hyperthermischen Manipulation von Biofilmen

Autoren: Kaiser, M.; Rechel, M.; Stiesch-Scholz, M.; Rissing, L.; Wurz, M. C.

204

205

Integration von dreidimensionalen Strukturen in mikrofluidische Systeme

Autoren: Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Lemmer, U.; Lemmer, U.; Lemmer, U.

206

Ultradünnes elastisches Sensor-Array für 3D-Biegemessungen

Autoren: Koch, Eugen; Dietzel, Andreas

207

Rolle zu Rolle geprägte Mikrofluidik-Chips mit vollständig gedruckten Fotosensoren

Autoren: Rödlmeier, T.; Rödlmeier, T.; Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Eckstein, R.; Eckstein, R.; Döringer, H.; Valouch, S.; Valouch, S.; Hernandez-Sosa, G.; Hernandez-Sosa, G.; Lemmer, U.