1
Self Assembled Monolayer for thin film capacitors on printed circuit boards
Autoren:
Taroata, Dan; Fischer, Wolf J.; Schmid, Günter
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops
2
Silizium-Keramik-Verbundsubstrat – eine neue Plattform für die Mikro-Nano-Integration
Autoren:
Fischer, M.; Torres, H. Bartsch de; Pawlowski, B.; Barth, S.; Hoffmann, M.; Müller, J.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops
3
Simulation of lithographic processes for fabrication of nanostructures
Autoren:
Erdmann, Andreas; Fühner, Tim; Evanschitzky, Peter; Liu, Shijie
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops
4
Strukturierungstechnik zur Integration nanoskaliger Gräben für die Mikrosystemtechnik
Autoren:
Hilleringmann, Ulrich; Wolff, Karsten
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops
5
Two Lithography-Based Technologies for the Fabrication of Submicron to Deep-Submicron Structures
Autoren:
Jia, Chenping; Wiemer, Maik; Werner, Thomas; Otto, Thomas; Gessner, Thomas; Gessner, Thomas
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops
6
Variation von nanostrukturiertem Silicium aus DRIE-Tiefenätzprozessen zur Integration in Si-basierte MEMS
Autoren:
Kremin, C.; Leopold, S.; Stubenrauch, M.; Hoffmann, M.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops
7
Zuverlässigkeitsaspekte bei Nanoklettverschlüssen
Autoren:
Stubenrauch, M .; Schwandt, M.; Hecht, S.; Kremin, C.; Fischer, M.; Hoffmann, M.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops