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1

Mikrosysteme für die Medizintechnik und Biotechnologie - durch Nanoliter zur optimierten Kryokonservierung

Autoren:
Wiedemeier, Stefan; Grodrian, A.; Meiser, I.; Katsen-Globa, A.; Mettler, E.; Weber, M. M.; David, K.; Zimmermann, H.; Metze, J.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

2

Nanoaktoren auf Basis metallischer Schichtsysteme

Autoren:
Hartbaum, Julian; Jakobs, Peter; Kohl, Manfred
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

3

Nanochemisches legieren von Zinn-Basis-Loten

Autoren:
Zerrer, Patrick; Fix, Andreas
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

4

Nanopartikel-Lithografie: eine kostengünstige Methode zur großflächigen Integration von Nanostrukturen in Mikrosystemen

Autoren:
Burkhardt, Claus; Fuchsberger, Kai; Heusel, Gerhard; Schröppel, Birgit; Stelzle, Martin; Stett, Alfred
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

5

Nanoporöse Goldkontakte für das Niedertemperaturbonden

Autoren:
Oppermann, Hermann; Dietrich, Lothar; Klein, Matthias
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

6

Nanopositionier- und Nanomessmaschinen - universelle skalenübergreifende Werkzeuge für die Mikro-Nano-Integration

Autoren:
Manske, Eberhard; Theska, René; Schott, Walter
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

7

Nanostrukturierte Systemfenster aus porösem Silizium für MIR

Autoren:
Frank, Th.; Will, M.; Long, L.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

8

Nasschemisches Ätzen von nahezu beliebigen 3D-Strukturen in Silizium

Autoren:
Ivanov, Alexey; Kovacs, Andras; Mescheder, Ulrich
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

9

Neuartige Zahnsensoren auf GMR-Basis für anspruchsvolle Winkel- und Längenmessaufgaben

Autoren:
Slatter, Rolf; Buss, René
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

10

Numerische Analyse der Spannungsrelaxation nanostrukturierter siliziumbasierter optischer Wellenleiter zur Erzeugung nicht-linearer optischer Effekte

Autoren:
Naumann, Falk; Schriever, Clemens; Schilling, Jörg
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

11

Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten

Autoren:
Mescheder, U. M.; Jonnalagadda, P.; Kovacs, A.; Meng, X.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

12

Richtungsselektive strukturierte Photodioden für Anwendungen in der Fluoreszenzsensorik

Autoren:
Will, Matthias; Brodersen, Olaf; Hechler, Stefan; Kley, Ernst-Bernhard
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

13

Selbst ausbreitende exotherme Reaktionen als interne Wärmequelle für die Aufbau- und Verbindungstechnik von Mikrosystemen

Autoren:
Bräuer, Jörg; Wiemer, Maik; Gessner, Thomas; Böttge, Bianca; Petzold, Matthias
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

14

Statische und dynamische Prüfung von Silizium-Nano-Klettverschlüssen

Autoren:
Stubenrauch, Mike; Schwandt, Morris; Kremin, Christoph; Hecht, Siegmar; Hoffmann, Martin
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

15

Untersuchung zur selbst-organisierten Nanomaskierung in zyklischen Tiefenätzprozessen für die reproduzierbare Erzeugung von nanostrukturiertem Silicium

Autoren:
Kremin, Christoph; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

16

Zwei-Photonen-Polymerisation zur Herstellung von polymeren dreidimensionalen Zellträgerstrukturen

Autoren:
Weiß, T.; Hildebrand, G.; Schade, R.; Berg, A.; Schnabelrauch, M.; Liefeith, K.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops