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1

Ablenkeinheit mit vergrabenen Wolframelektroden für die Multi-Elektronenstrahllithografie

Autoren:
Jurisch, M.; Irmscher, M.; Letzkus, F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

2

Adhesion of Continuous and Homogeneous Electrodeposited Copper Layers on Silicon

Autoren:
Lima, F.; Lima, F.; Reinecke, H.; Mescheder, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

3

ALD-basierte, monolithisch integrierte 3D-Nanostrukturen

Autoren:
Jupe, A.; Goehlich, A.; Feizi, K.; Vogt, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

4

Aluminiumnitrid Membranen mit vergrabenen IDT für neuartige Membranbiegeschwinger

Autoren:
Reusch, Markus; Katus, Philip; Schilling, Claudia; Holc, Katarzyna; Pletschen, Wilfried; Kirste, Lutz; Ambacher, Oliver; Ambacher, Oliver; Reindl, Leonhard; Lebedev, Vadim
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

5

Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-Verbundsubstrat

Autoren:
Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

6

Aufbau hochintegrierter Sensorsysteme mittels Inkjet-Druck und Film Assisted Molding

Autoren:
Keck, J.; Hera, D.; Juric, D.; Polzinger, B.; Liedtke, L.; Eberhardt, W.; Kück, H.; Zimmermann, A.; Ehrenpfordt, R.; Schulze-Spüntrup, J. D.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

7

Auswirkungen von Reflexen an Seitenwänden von Goldabsorbern in der Röntgentiefenlithographie

Autoren:
Last, A.; Börner, M.; Marschall, F.; Meyer, P.; Simon, M.; Márkus, O.; Georgi, S.; Mohr, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

8

Automatisierte Nukleinsäurediagnostik in der LabDisk mittels frequenzgesteuerter Freisetzung vorgelagerter Reagenzien

Autoren:
Stumpf, F.; Schwemmer, F.; Hutzenlaub, T.; Strohmeier, O.; Stetten, F. von; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Mark, D.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

9

Automatisiertes Mikrofluidik-System mit optischem Aufbau zur Untersuchung von Peptid-Antikörper-Wechselwirkungen im Arrayformat

Autoren:
Weber, L. K.; Fischer, A.; Soehindrijo, M.; Förtsch, T. C.; Bojnicic-Kninski, C.; Althuon, D.; Schillo, S. M.; Striffler, J.; Löffler, F. F.; Breitling, F.; Hubbuch, J.; Nesterov-Müller, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

10

Autonomer binärer Zähler für die Erfassung von Grenzwertereignissen

Autoren:
Mehner, H.; Schwebke, S.; Leopold, S.; Hoffmann, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

11

Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen

Autoren:
Mehner, H.; Weise, C.; Schwebke, S.; Hampl, S.; Hoffmann, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

12

Autonomer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren

Autoren:
Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

13

Beschleunigte Zuverlässigkeitsuntersuchung von Siliziumnitrid bei schmalbandiger UV-Bestrahlung

Autoren:
Schmidt, A.; Dreiner, S.; Vogt, H.; Paschen, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

14

Biohybrides Mikrofluidiksystem als Modell einer Blutkapillare zur Analyse der Extravasation von Tumorzellen

Autoren:
Kayo, S.; Kühlbach, C.; Sechi, J.; Herrlich, S.; Zengerle, R.; Müller, M. M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

15

Brennstoffzellen aus LiGa-Technik für portable Anwendungen

Autoren:
Hahn, L.; Helm, P.; Baumgärtner, M.; Lanzinger, G.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

16

Characterization of the influence of Sodium-Lauryl-Sulfate on the surface quality of electrodeposited Nickel-Cobalt alloys

Autoren:
Khazi, Isman; Mescheder, Ulrich; Siddiqui, Zohaib
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

17

Charakterisierung und Modellierung freistehender Silizium Membranen auf SOI-Basis für Drucksensor-Anwendungen

Autoren:
Goehlich, A.; Jupe, A.; Stühlmeyer, M.; Celik, Y.; Schmidt, A.; Vogt, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

18

Charakterisierung von Oberflächenablagerungen mit einem Mikrobiegebalken-Tastsensor im Kontakt-Resonanzmodus

Autoren:
Suryo Wasisto, Hutomo; Suryo Wasisto, Hutomo; Dang, Ruochen; Doering, Lutz; Brand, Uwe; Peiner, Erwin; Peiner, Erwin
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

19

CMOS frequency division multiplexer enables multi-channel magnetic resonance imaging with a single channel spectrometer

Autoren:
Jouda, M.; Gruschke, O. G.; Fischer, E.; Leupold, J.; Elverfeldt, D.; Hennig, J.; Korvink, J. G.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

20

Cross-Cluster Industrie 4.0 Südwest

Autoren:
Funk, K.; Neuy, C.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015