1
Zeitkonstanten für die Relaxation thermomechanischer Spannungen in Silizium-Glas-Verbünden
Autoren:
Blech, Michael; Übensee, Hartmut; Täschner, Robert; Brokmann, Geert; Xu, Xuemei; Ortlepp, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
2
Zemax®-Simulationen zur Entwicklung eines Wafer Level Optopackage für 2D-Mikrospiegel
Autoren:
Stenchly, V.; Schwarz, F.; Quenzer, H. J.; Benecke, W.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
3
Zuverlässige Zugangskontrolle durch Authentifizierung mittels MEMS-basiertem Retinascanner mit zusätzlicher Projektionsoption
Autoren:
Woittennek, Franziska; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Dallmann, Hans-Georg; Schelinski, Uwe; Grüger, Heinrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
4
Zwei-Photonen-Polymerisationsprozesse auf Wafergröße
Autoren:
Markweg, Eric; Petzold, Norman; Kowallik, Thomas; Mämpel, Jörg; Mollenhauer, Olaf
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
5
Zweiachsiger Mikroschrittaktor mit großem Stellweg für die Positionierung von Blenden-Arrays
Autoren:
Endrödy, C.; Mehner, H.; Sinzinger, S.; Hoffmann, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
6
Zweidimensionaler Vertikaler Hallsensor in CMOS-Technologie
Autoren:
Sander, C.; Leube, C.; Paul, O.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
7
Zylindrisches Bildaufnahmesystem basierend auf einem mechanisch flexiblen CMOS-Bildsensor
Autoren:
Häfner, Joachim; Mokwa, Wilfried
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015