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1

Flachbauendes Multiaperturmikroskop mit hohem Auflösungsvermögen

Autoren:
Hermeyer, Tobias; Wippermann, Frank; Berlich, René; Reimann, Andreas; Brückner, Andreas; Bräuer, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

2

Flexible LCP-basierte Mehrlagenschaltungen in Dünnschichttechnik: Herstellungstechnologie und Charakteristika

Autoren:
Kaiser, Alexander; Bee, Carlos Maximilian; Matej, Paul; Herbort, Christian; Holl, Bruno; Rueß, Karin; Bauböck, Günther; Dupuis, Frédéric; Fritz, Karl-Heinz; Metzen, Rene von
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

3

Flexibles magnetisches Lese-/Schreibsystem: Design eines Schreibkopfes

Autoren:
Taptimthong, P.; Rittinger, J.; Wurz, M. C.; Rissing, L.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

4

Form-Gedächtnis Mikroventile für Fluid-Systeme

Autoren:
Megnin, Christof; Ossmer, Hinnerk; Gültig, Marcel; Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas; Kohl, Manfred
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

5

Formulierung nanopartikulärer Wirkstoffe in mikrofluidischen Emulsionen

Autoren:
Lorenz, Thomas; Lorenz, Thomas; Steens, Corinna; Dietzel, Andreas; Dietzel, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

6

Fortschritte beim Mikrospritzgießen: Abformung im Nanometerbereich und Mehrkomponenten-Spritzgießen

Autoren:
Piotter, Volker; Klein, Alexander; Müller, Tobias; Plewa, Klaus; Prokop, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

7

Geregeltes Auslesekonzept für Lorentzkraftmagnetometer

Autoren:
Krawat, Daniel; Maurer, Michael; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

8

Gesputterte Germanium-Dünnfilme auf flexiblen transparenten Substraten für elektro-optische Applikationen

Autoren:
Feili, Dara; Penth, Michael; Kiefer, Christian; Seidel, Helmut
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

9

Grenzen der Dosiergenauigkeit eines geregelten Nanoliter pro Sekunde Mikrodosiersystems für Schmierstoffdosierung mit einem kapazitiven Time-of-Flight Flow Sensor

Autoren:
Kibler, S.; Richter, M.; Kutter, C.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

10

Herstellung mikrooptischer Komponenten durch Zwei-Photonen-Polymerisation

Autoren:
Dietrich, P.-I.; Wondimu, S. F.; Wienhold, T.; Steidle, M.; Hofmann, A.; Lindenmann, N.; Billah, M. R.; Hoose, T.; Blaicher, M.; Freude, W.; Koos, C.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

11

Herstellung und Integration piezoelektrischer Pb(ZrxTi1-x)O3-Schichten außerordentlicher Schichtdicke für die Erschließung neuer Anwendungsgebiete

Autoren:
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Koessler, D.; Sichelschmidt, J.; Jakob, A.; Wagner, B.; Jung, T.; Tiefensee, F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

12

Herstellung von strukturierten Metalloberflächen durch Template-Stripping

Autoren:
Schmidl, Gabriele; Dellith, Jan; Teller, Nicole; Li, Guangrui; Zopf, David; Dathe, Andre; Mayer, Günter; Hübner, Uwe; Fritzsche, Wolfgang
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

13

Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren

Autoren:
Paul, Johannes; Knoll, Heiko; Lenkl, Andreas; Tide, Ralf; Theis, Martin; Saumer, Monika; Vetter, Christian; Piorra, Andre; Meyners, Dirk; Lofink, Fabian; Fichtner, Simon; Wagner, Bernhard; Zoschke, Kai
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

14

Hochdynamischer Stereosensor für die 3D-Bilderfassung und -verarbeitung in Anwendungen der intelligenten Service Robotic

Autoren:
Strobel, Markus; Kersten, Daniel; Zanker, Michel; Pullmann, Jürgen; Döhn, Christian; Martakov, Yury; Fröbig, Timo
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

15

Hybrider Fertigungsprozess zur Integration von Drucksensoren auf die Oberfläche von Tellerfedern

Autoren:
Rittinger, J.; Klaas, D.; Wurz, M. C.; Rissing, L.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

16

In Kieselglas monolithisch integriertes Interferometer

Autoren:
Weigel, C.; Markweg, E.; Hoffmann, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

17

Integration eines neuartigen kohlenstoffbasierten Materials – Carbon NanoPillars – in Dehnungsmessstreifen

Autoren:
Riekeberg, S.; Quiring, G.; Müller, J.; Trieu, H. K.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

18

Integration kostengünstiger elektrothermischer Polymeraktoren in Leiterplattensysteme

Autoren:
Winterstein, T.; Islam, S.; Khoury, M. El; Nakic, C.; Schlaak, H. F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

19

Integration von dreidimensionalen Strukturen in mikrofluidische Systeme

Autoren:
Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Lemmer, U.; Lemmer, U.; Lemmer, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

20

Integrierte NTC-Dickschichtsensoren in LTCC Fluidmodule zur Temperaturregelung in bio-zentrierten Zellhandlingsystemen

Autoren:
Bartsch, H.; Welker, K.; Witte, H.; Müller, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015