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1

Intelligente Magnetsensorik zum Einsatz in energieeffizienten und autarken Positionsgebern

Autoren:
Noé, Kai Walter
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

2

Intelligente Steckverbinder und Anschlusstechnologien für die Produktion der Zukunft

Autoren:
Michels, Jan S.; Mödinger, R.; Meier, O.; Baar, C.; Ansorge, F.; Schiefelbein, F.-P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

3

Interdigital gesteuerte piezoelektrische Mikromembranantriebe und deren Skalierung

Autoren:
Zaehringer, Sandy; Purr, Julia; Schwesinger, Norbert
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

4

Intuitive Steuerung einer Mikroproduktionsanlage durch mehrere haptische Eingabegeräte

Autoren:
Tiemerding, Tobias; Mikczinski, Manuel; Diederichs, Claas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

5

Isotrope mechanische Aufhängung für 3D-Mikrotastsysteme

Autoren:
Metz, D.; Ferreira, N.; Dietzel, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

6

Kabellose Linearführungssysteme mit integrierter Positionssensorik

Autoren:
Guthörl, Eike; Paul, Johannes; Mathieu, Jérôme; Lindemann, Ralf; Shanib, Maruan
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

7

Kalzifizierungsanalyse in einem Mikrofluidikchip

Autoren:
Maurer, P.; Gerhardy, C.; Gräber, S.; Jahnen-Dechent, W.; Schomburg, W. K.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

8

Klemmvorrichtung zur genauen Positionierung von 120° Silizium Doppelspiegeln in einem MOEMS-Gyroskop

Autoren:
Niesel, T.; Leber, I.; Dietzel, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

9

Kompaktmodell für die Charakterisierung eines piezoelektrischen Membrandruckkopfes

Autoren:
Rumschöttel, Dominik; Kagerer, Markus; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

10

Komplexe Systeme in Folie – Heterogene Systemintegration auf Basis dünner Si-Chips und flexibler Substrate

Autoren:
Harendt, Christine
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

11

Kontinuierliche Fertigung hybrider Mehrlagensysteme

Autoren:
Brecher, Christian; Baum, Christoph; Bastuck, Thomas; Priwisch, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

12

Kupfer-Dickfilmstrukturen für Silizium-Karbid Leistungsmodule mit hoher Integrationsdichte

Autoren:
Meisser, Michael; Schmenger, Max; Leyrer, Benjamin; Bernd, Martin; Blank, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

13

Laser Induced Forward Transfer als innovatives Direct-Write Verfahren zur Herstellung leitfähiger Strukturen

Autoren:
Hecht, Lars; Rager, Korbinian; Dietzel, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

14

Laserlöten hochpräziser optischer Mikrosysteme

Autoren:
Hornaff, M.; Burkhardt, T.; Ribes, P.; Ribes, P.; Mohaupt, M.; Zaage, B.; Kamm, A.; Beckert, E.; Eberhardt, R.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

15

Leiterbahnen zur Versorgung von Leistungselektronik auf Spritzgegossenen, keramischen Grundkörpern

Autoren:
Matuschka, B.; Schulze, V.; Rohde, M.; Seifert, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

16

Low-Cost Edelstahl-Mikropumpe zur Probenzufuhr eines miniaturisierten Gassensorsystems zur Brandfrüherkennung

Autoren:
Wald, C.; Richter, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

17

Low-Cost MEMS-basiertes Mess-System zur Motordiagnose

Autoren:
Ahrend, Ulf; Wildermuth, Stephan; Orman, Maciej; Rzeszucinski, Pawel
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

18

Low-Power Elektronik für MEMS Mikrospiegel

Autoren:
Rombach, Stefan; Marx, Maximilian; Gu-Stoppel, Shanshan; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

19

Low-Power Sensor Netzwerk zur Überwachung des Raumklimas für die Hausautomation

Autoren:
Lurz, Martin; Urbanek, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

20

Magnetische Sensoren für Zustandsüberwachung und Prozesskontrolle

Autoren:
Slatter, Rolf
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015