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1

Highly Modular Microsystem Inchworm Motor Based on a Nanoscopic Electrostatic Drive

Autoren:
Narimani, Keyvan; Shashank, Shashank; Langa, Sergiu; Pineda Gomez, Roberto; Ruffert, Christine; Scholles, Michael; Schenk, Harald
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

2

Hoch-sensitive und vollautomatisierte Quantifizierung von zirkulierenden epithelialen Tumorzellen aus Vollblut

Autoren:
Kadic, Samir; Du, Tianxing; Roth, Astrid; Dörr, Aaron; Knapp, Michael; Hoffmann, Jochen; Serout, Anne; Strehle, Steffen; Lärmer, Franz
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

3

Hochdynamischer linearer CMOS Bildsensor auf Basis von Selbst- Reset Pixelzellen und Pinned-Photodioden

Autoren:
Hirsch, Stefan; Strobel, Markus; Scherjon, Cor; Yu, Zili; Zhang, Yipin; Burghartz, Joachim
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

4

Hochenergieionen-Tiefenstrukturierung von PMMA mittels Microdegrader - eine Vergleichsstudie

Autoren:
Gerold, Marcel; Mueck, Theresa; Akhmadaliev, Shavkat; Bischof, Tina; Csato, Constantin; Koch, Robert; Kraus, Matthias; Krippendorf, Florian; Maier, Tim; Zowalla, Andre; Rüb, Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

5

How data-driven approaches can increase the accuracy of LED reliability predictions

Autoren:
Benkner, Simon; Klir, Stefan; Herzog, Alexander; Khanh, Tran Quoc
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

6

Hybrid microintegrated laser modules for precision spectroscopy applications in space

Autoren:
Kuerbis, Christian; Baumann, Jan; Bawamia, Ahmad; Franke, Tobias; Hahn, Alina; Kluck, Andre; Kreutzmann, Sabrina; Smol, Robert; Wicht, Andreas; Traenkle, Guenther
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

7

Hybride Packaging-Lösung für Elektrochemische Sensoren

Autoren:
Steinmaßl, Matthias; Boudaden, Jamila; Hell, Waltraud; Kutter, Christoph
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

8

Hybrider 3D-Biodruck zur künstlichen Herstellung von Knochen

Autoren:
Koch, Fritz; Troendle, Kevin; Finkenzeller, Guenter; Rukavina, Patrick; Zengerle, Roland; Koltay, Peter; Zimmermann, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

9

Implementation of Fragile Holding Structures for Rotating Elements in the Printing Process of 2-Photon-Polymerization

Autoren:
Gehlken, Wiebke; Reede, Sina; Vellekoop, Michael J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

10

In-Memory Computing exceeding 10000 TOPS/W using Ferroelectric Field Effect Transistors for EdgeAI Applications

Autoren:
Laleni, Nelli; Soliman, Taha; Mueller, Franz; Mojumder, Shaown; Kirchner, Tobias; Lederer, Maximilian; Hoffmann, Tudor; Guntoro, Andre; Wehn, Norbert; Kaempfe, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

11

Infrarot-Detektoren in "Ge-on-Si"-Technologie für Spektrometer- und Nachtsichtkamera-Anwendungen

Autoren:
Kaschel, Mathias; Yu, Zili; Epple, Steffen; Burghartz, Joachim; Oehme, Michael; Schulze, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

12

Innovative Herstellung flexibler Folienleiterplatten durch Flip-Chip Bonden gedünnter Chips mittels Nanodrähten

Autoren:
Albrecht, Bjoern; Passlack, Ulrike; Harendt, Christine; Weissenborn, Florian; Quednau, Sebastian; Birlem, Olav; Burghartz, Joachim
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

13

Integration biokompatibler Edelmetall-Elektroden-Arrays auf CMOS-Elektronik

Autoren:
Thiedke, Dominik; Leopold, Steffen
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

14

Integration of hafnium oxide - based ferroelectric data storage devices into BEoL for low-power applications

Autoren:
Seidel, Konrad; Lehninger, David; Olivo, Ricardo; Ali, Tarek; Lederer, Maximilian; Kaempfe, Thomas; Mertens, Konstantin; Kuehnel, Kati; Biedermann, Kati; Maehne, Hannes; Bernert, Kerstin; Thiem, Steffen
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

15

Integration of nanoporous gold electrodes in microfluidic chambers by inkjet-printing for biosensing applications

Autoren:
Trotter, Martin; Juric, D.; Bagherian, Zahra; Borst, Nadine; Glaeser, Kerstin; von Stetten, Felix; Zimmermann, Andre
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

16

Integration von Siliziumdurchkontaktierungen (TSV) als via-last Ansatz in dauerhaft gebondete Waferverbünde

Autoren:
Berthold, Teresa; Tavassolizadeh, Ali; Kuhnt, Christian; Weidner, Thomas; Mehner, Hannes
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

17

Integrierte optoelektronische Systeme basierend auf hochempfindlichen Einzelphotonendetektoren für optogenetische Anwendungen

Autoren:
Singer, Julian; Geläschus, Anton; Schuster, Christian; Trieu, Hoc Khiem; Kuhl, Matthias
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

18

Integrierter, digital steuerbarer Abwärtswandler, Submount zur Kühlung mit integrierter Sensorik und angepasste Optik zum Betrieb von UV-LEDs

Autoren:
Heinze, Christoph; Frisch, Malte; Ortlepp, Thomas; Brodersen, Olaf
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

19

Keramische Mikroreaktoren für die kontinuierliche hydrothermale Synthese (CHTS)

Autoren:
Zürn, Martin; Medesi, Anna; Klein, Alexander; Schüßler, Christian; Türk, Michael; Dietrich, Stefan; Hanemann, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

20

Kick & Catch: elektrostatisches Rotieren einer Kugel

Autoren:
Farny, Mario; Hoffmann, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress