1
Kinetic Energy Harvesting in a driven Tool Holder
Autoren:
Wendt, Thomas; Gawron, Philipp; Stiglmeier, Lukas
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
2
Lab-on-a-chip based silicon nanowire sensor system for the precise study of chemical reaction-diffusion networks
Autoren:
Tintelott, Marcel; Ingebrandt, Sven; Pachauri, Vivek; Vu, Xuan Thang
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
3
Large area energy filter membranes for effective doping of silicon and silicon-carbide substrates through high-energy implantation
Autoren:
Steinbach, Tamas; Akhmadaliev, Shavkat; Burghartz, Joachim N.; Csato, Constantin; Gerold, Marcel; Koch, Robert; Krippendorf, Florian; Letzkus, Florian; Rueb, Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
4
Large deflection of electrostatically actuated microbeams – How do the bending modes contribute beyond pull-in?
Autoren:
Melnikov, Anton; Schenk, Hermann A. G.; Monsalve, Jorge M.; Wall, Franziska; Stolz, Michael; Mrosk, Andreas; Langa, Sergiu; Schuffenhauer, David; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
5
Laser Grooving – the „Swiss Army Knife“ to make the Best of a Wafer
Autoren:
Gang, Andreas; Yubira, Yasuyoshi; Chervenkov, Sotir; Viehweger, Kay; Wolf, Juergen
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
6
Laserdirektschreiben metallischer Nanostrukturen aus der Gasphase mittels Zwei-Photonen-Absorption
Autoren:
Schwarz, Nicolai; Klotzbuecher, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
7
LIFT printing of deterministic porous electrodes for electrochemical systems
Autoren:
Tang, Bo; Schneemann, Christian; Rager, Korbinian; Dworzak, Alexandra; Oezaslan, Mehtap; Dietzel, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
8
Low-Cost Fabrication of Micro Elastofluidic Systems with Integrated 3D-Shaped Electrodes for Particle-Based Separation Processes
Autoren:
Philippin, Nadine; Frey, Alexander; Kuehne, Ingo
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
9
Low-Redundancy Realization of Safety-Critical Automotive Functions
Autoren:
Barner, Simon; Matthes, Stefan; Dormann, Holger; Schingale, Angelika; Kaulfersch, Eberhard; Eichhorst, Michael; Scheiter, Lutz; Schmidt, Holger; Gebert, Juergen
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
10
Machine Learning for Mathematical Modelling of Piezo Hysteresis
Autoren:
Buechi, Roland
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
11
Magnetically Enhanced Stretchable Interconnects for Human-Machine Interface
Autoren:
Ernst, Daniel; Nieweglowski, Krzysztof; Schubert, Martin; Bock, Karlheinz
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
12
Magnetoresistive Sensoren für die patientennahe Labordiagnostik
Autoren:
Hölzl, Joachim; Slatter, Rolf
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
13
Maskless Lithography and 3D Printing through photochemical C,H Insertion Crosslinking
Autoren:
Song, Dan; Kotz-Helmer, Frederik; Rapp, Bastian E.; Rühe, Juergen
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
14
Maskless pattern transfer into photostructured glasses by deep plasma etching
Autoren:
Weigel, Christoph; Brokmann, Ulrike; Raedlein, Edda; Strehle, Steffen
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
15
Mechanical cooling of AFM cantilevers
Autoren:
Ignat, Ioan; Schuster, Bernhard; Hafner, Jonas; Kwon, MnHee; Platz, Daniel; Schmid, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
16
Mechanischer 3-Bit Digital-Analog-Wandler (DAC) mit großem Stellweg
Autoren:
Schmitt, Lisa; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
17
MEMS for characterization of thermal conductivity in thin films and two-dimensional materials
Autoren:
Jiang, Felix; Ryu, Meguya; Morikawa, Junko; Pachauri, Vivek; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
18
MEMS Speaker Modeling
Autoren:
Clerici, Andrea Rusconi
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
19
MEMS tools with laser diodes as integrated light sources for chronic optical stimulation of neuronal activity in brain tissue
Autoren:
Sharma, Kirti; Kutsch, Anna; Paul, Oliver; Ruther, Patrick
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
20
Microfabricated 2D array of ion traps
Autoren:
Dietl, Matthias; Auchter, Silke; Milow, Ida; Roessler, Clemens; Blank, Oliver; Valentini, Marco; Holz, Philip; Schindler, Philipp; Monz, Thomas; Blatt, Rainer
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress