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1

Innovative Mikrofertigung: Mehrkomponenten-Mikrospritzgießen

Autoren:
Piotter, V.; Plewa, K.; Prokop, J.; Ruprecht, R.; Haußelt, J.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

2

Laser Trimming of Micro Mirror Devices

Autoren:
Hänel, Jens; Keiper, Bernd; Bleul, Karsten; Kaufmann, Christian; Bonitz, Jens
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

3

Laserbearbeitung von glasartigem Kohlenstoff zur Produktion von Mikrofluidstrukturen für die Herstellung von Radiopharmaka

Autoren:
Scheuenpflug, Michael; Schmöller, Markus; Lüth, Tim
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

4

Lasergestützte Prozesse für Polymerwerkstoffe in der Mikro- und Nanotechnik - Strukturierung, Modifizierung und Verbindungstechnik

Autoren:
Pfleging, Wilhelm; Lorenz, Julia; Schierjott, Phillip; Welle, Alexander; Wilson, Sandra; Wilson, Sandra
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

5

Legierungsabscheidung für LIGA-Mikroteile und Werkzeugen am Beispiel von Ni-Fe und Ni-W

Autoren:
Bade, K.; Haj-Taieb, M.; Haseeb, A. S. M. A.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

6

Mikro-Nano-Integration für die Mikrosystemtechnik

Autoren:
Coskina, Paradiso
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

7

Mikrofertigungstechniken zur Strukturierung von porösen Materialien für die Dünnschichtchromatografie

Autoren:
Chemnitz, Steffen; Kugelbrey, Karl; Stoyanov, Ivan; Werner, Martin; Bornemeier, Jan; Tewes, Michael
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

8

Mikrostrukturierung von Glas

Autoren:
Hülsenberg, Dagmar; Brokmann, Ulrike; Hesse, Annett; Ludwig, Yvonne; Mrotzek, Susanne
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

9

Mikrostrukturierung von Glas am Beispiel mikrofluidischer Produkte

Autoren:
Dietrich, Thomas R.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

10

Mikrosystemtechnik – eine Zukunftstechnologie mit wirtschaftlichem Risiko?

Autoren:
Herrnsdorf, Johannes
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

11

Modelluntersuchungen zum Verschleiß- und Entformungsverhalten von Formeinsatz-Werkstoffen für das Mikro-Pulverspritzgießen

Autoren:
Schneider, Johannes; Milich, Marcel; Gahr, Karl-Heinz zum
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

12

Modifizierung von Polymereigenschaften durch nanoskalige Dotierstoffe

Autoren:
Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas; Böhm, Johannes; Böhm, Johannes; Ritzhaupt-Kleissl, Eberhard; Ritzhaupt-Kleissl, Eberhard; Schumacher, Benedikt; Schumacher, Benedikt; Haußelt, Jürgen; Haußelt, Jürgen
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

13

Neue piezoelektrische Materialien für die Mikroaktorik

Autoren:
Kügeler, Carsten; Pithan, Christian; Böttger, Ulrich; Waser, Rainer; Waser, Rainer
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

14

Neue Technologie zur Herstellung monokristalliner Silizium-Membranen auf Basis von porösem Silizium

Autoren:
Knese, K.; Armbruster, S.; Benzel, H.; Schelling, C.; Brasas, J.; Lammel, G.; Illing, M.; Seidel, H.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

15

Oberflächenmikromechanik - Schlüsseltechnologie für Automotive und Consumersensoren

Autoren:
Bischof, Udo
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

16

PDMS – Möglichkeiten und Designrichtlinien zur Prototypen- und Kleinserienfertigung funktioneller Strukturen in Silikon

Autoren:
Göttsche, Thorsten; Gronmaier, Roland
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

17

Silizium-Technologien für leistungsfähige, multi-axiale Sensorcluster auf einem Chip

Autoren:
Link, Thomas; Trächtler, Martin; Nommensen, Peter; Auber, Johannes; Reinecke, Holger
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

18

SU-8 als Material für die Fertigung hochpräziser LIGA-Röntgenlinsen

Autoren:
Last, A.; Reznikova, E.; Last, A.; Nazmov, V.; Nazmov, V.; Simon, M.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

19

Technologie pyrotechnischer Bauelemente mit porösem Silizium

Autoren:
Völlmeke, Stefan; Bartuch, Herbert
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

20

Toroid-Mikroinduktoren mit magnetischen Nanokompositen für HF-Anwendungen

Autoren:
Schürmann, Ulrich; Greve, Henry; Hettstedt, Falk; Quandt, Eckhard; Quandt, Eckhard; Gerber, Andreas; Schmutz, Clemens; Zaporojtchenko, Vladimir; Knöchel, Reinhard; Faupel, Franz
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop