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1

"Intelligenz im Metall" – Einsatz der Mikrosystemtechnik zur Zustands und Prozessüberwachung im Anlagen- und Maschinenbau

Autoren:
Jäger, Thomas; Huber, Richard; Hobler, Michael; Ruf, Daniel; Timmler, Frank
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

2

2D-Mikroscanner mit hoher Auslenkung zur Bildaufnahme

Autoren:
Schenk, Harald; Drabe, Christian; Klose, Thomas; Wolter, Alexander; Lakner, Hubert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

3

A new miniaturized Electronic Pill (ePille(R)) for mass medical application with bi-directional communication system

Autoren:
Fawaz, Nidal; Jansen, Dirk
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

4

A System for Calibration and Reliability Testing of MEMS Devices Under Mechanical Stress

Autoren:
Spinner, S.; Spinner, S.; Ruther, P.; Polian, I.; Becker, B.; Paul, O.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

5

Ableitung mikrotechnischer Prozessfolgen aus Funktionsbausteinen

Autoren:
Triltsch, U.; Büttgenbach, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

6

Adaptive Silikonmembranlinsen mit integriertem Piezo-Aktor

Autoren:
Schneider, F.; Müller, C.; Ulmer, U.; Eberhard, D.; Besser, H.; Pfleging, W.; Wallrabe, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

7

Aktiv-Matrix Mikrodisplays auf Basis integriert realisierter organischer Leuchtdioden

Autoren:
Kreye, Daniel; Törker, Michael; Vogel, Uwe; Amelung, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

8

Aktive hochauflösende intravaskuläre MR-Sonde in Mikrosystemtechnik mit optischer Signalübertragung

Autoren:
Fandrey, S.; Weiss, S.; Müller, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

9

All-Glas Bauelemente für die flüssig/flüssig Phasenseparation

Autoren:
Voigt, Elmar; Albert, Jens; Morgenroth, Wolfgang; Mayer, Günter; Henkel, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

10

Aluminiumnitrid als piezoelektrisches Membranmaterial für MEMS

Autoren:
Polster, Tobias; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin; Michael, Steffen
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

11

Analytikchip zur Erfassung intrazellulärer Potentiale adhärent wachsender Zellen nach lokaler Elektroporation: Einleitung - Biologische Aspekte

Autoren:
Koester, Philipp Julian; Tautorat, Carsten; Podssun, Angela; Gimsa, Jan; Baumann, Werner
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

12

Analytikchip zur Erfassung intrazellulärer Potentiale adhärent wachsender Zellen nach lokaler Elektroporation: Einleitung - Elektrotechnische Aspekte

Autoren:
Tautorat, Carsten; Koester, Philipp Julian; Podssun, Angela; Gimsa, Jan; Baumann, Werner
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

13

Angewandtes "Micro Energy Harvesting"-Systemkonzept für energieautarke Mikrosysteme

Autoren:
Bartsch, U.; Bretthauer, C.; Hehn, T.; Mack, B.; Ungan, T.; Manoli, Y.; Paul, O.; Reindl, L.; Reinecke, H.; Wallrabe, U.; Woias, P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

14

Anwendung des Direkt-LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis

Autoren:
Loechel, Bernd; Bednarzik, Martin; Waberski, Christoph; Rudolph, Ivo; Kutz, Oliver; Mucha, Sebastian; Schondelmaier, Daniel; Scheunemann, Heinz-Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

15

Applikationszentren für die Mikrosystemtechnik

Autoren:
Fernholz, G.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

16

Assistenzsystem für die Modellbildung zur Messunsicherheitsbewertung in der Mikrosystemtechnik

Autoren:
Weißensee, Karina; Kühn, Olaf; Heidenblut, Stefan; Ohrmann, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

17

Aufbau und Charakterisierung eines mikro-elektromechanischen Torsionssensors für die Hochfrequenzspannungsmessung

Autoren:
Dittmer, J.; Judaschke, R.; Büttgenbach, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

18

Aufbau- und Verbindungstechnik für ein mikrooptisches System

Autoren:
Kögler, Daniela; Huster, Rolf; Kronast, Wolfgang; Mescheder, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

19

Bedarfsorientierte Weiterbildung

Autoren:
Schütze, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

20

Beschichtung der inneren Oberflächen in gedeckelten mikrofluidischen Systemen

Autoren:
Eichler, M.; Berger, C.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007