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1

Digital holographic two-wavelength contouring of high speed MEMS using ultrashort laser pulses

Autoren:
Hansel, Thomas; Steinmeyer, Günter; Grunwald, Rüdiger; Griebner, Uwe; Falldorf, Claas; Kopylow, Christoph von; Bonitz, Jens; Kaufmann, Christian
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

2

Direkt-LIGA-NiFe-Zahnräder mit extremen Aspektverhältnissen für Micro Harmonic Drive(R) Getriebe

Autoren:
Kirsch, Udo; Grützner, Gabi; Löchel, Bernd; Degen, Reinhard; Bednarzik, Martin; Waberski, Christoph; Ahrens, Gisela; Engelke, Rainer
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

3

Direkte und inverse Kinematik für ein Lasertrackersystem mit Galvanometerscanner

Autoren:
Wachten, Christian; Müller, Claas; Ament, Christoph; Reinecke, Holger
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

4

Drahtlose Überwachung physikalischer Parameter in metallischen Behältern für luftfahrtbezogene Anwendungen

Autoren:
Ngo, Luong van; Kluge, Martin; Sabater, Jordi; Schalk, Josef; Seidel, Helmut; Schmid, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

5

e-manufacturing mit Mikro Laser-Sintern

Autoren:
Büse, Hans-Ulrich; Petsch, Tino
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

6

Ein Mikromassenspektrometer in MEMS Technologie für mobile und stationäre Anwendungen

Autoren:
Hauschild, Jan-Peter; Wapelhorst, Eric; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

7

Eine neue Biochipplattform für die klinische Diagnostik

Autoren:
Brandstetter, Thomas; Wagner, Katrin; Brefka, Thomas; Neumann, Thorsten; Moschallski, Meike; Prucker, Oswald; Rühe, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

8

Eine neue Methode zur Untersuchung der durch AVT-Verfahren verursachten thermomechanischen Spannungen mittels eines Testchips

Autoren:
Majcherek, S.; Leneke, T.; Ranzenberger, B.; Hirsch, S.; Schmidt, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

9

Einfluss der Aufbau- und Verbindungstechnik auf die funktionalen Eigenschaften von Hallsensoren

Autoren:
Fischer, Sebastian; Wilde, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

10

Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung

Autoren:
Ivanov, Alexey; Mescheder, Ulrich; Kovacs, Andras; Huster, Rolf
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

11

Einfluss von Verlustmechanismen in OFW-Bauteilen auf die Akustomigration

Autoren:
Jewula, Tomasz; Ruile, Werner; Zidek, Herbert; Reindl, Leonhard; Courty, Diana
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

12

Einflüsse auf die Laufzeitbestimmung bei der transienten FEM-Simulation von akustischen Sender-Empfänger-Anordnungen

Autoren:
Friedrich, Sebastian; Pfeifer, Günther
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

13

Einsatz translatorischer MOEMS-Aktoren für FTIRSpektrometer

Autoren:
Sandner, Thilo; Schenk, Harald; Lakner, Hubert; Kenda, Andreas; Scherf, Werner
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

14

Einsatz von Atmosphärendruck-Mikroplasmen für die Aufbau- und Verbindungstechnik

Autoren:
Eichler, M.; Michel, B.; Thomas, M.; Klages, C.-P.; Klages, C.-P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

15

Einsatz von Schmelzklebstoffen zur Montage von MEMS und MOEMS

Autoren:
Hemken, G.; Böhm, S.; Dilger, K.; Raatz, A.; Rathmann, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

16

Einsatzmöglichkeiten der Mikrosystemtechnik in der dezentralen Energietechnik: Stand der Technik, Anforderungen, FuE-Bedarf

Autoren:
Heusinger, Peter; Ronge, Karlheinz
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

17

Electro Wetting - Transport von Mikrotropfen auf lithographisch hergestellten, ultra-hydrophoben Oberflächen

Autoren:
Mertsch, Olaf; Schondelmaier, Daniel; Walter, Antje D.; Rudolph, Ivo; Löchel, Bernd
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

18

Electrostatic Micro Energy Harvesting Devices based on SOI-Technology

Autoren:
Bartsch, U.; Gaspar, J.; Ruther, P.; Paul, O.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

19

Elektrostatisch angetriebenes Silizium-Membranventil für Gasanalysesysteme

Autoren:
Feind, Holger; Çubukçu, Ali Sükrü; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

20

Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieb

Autoren:
Eicher, Dirk; Schlaak, Helmut F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007