IEC 62047-25:2016
Norm
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area
- Gültig
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Zuständiges Komitee:
Hauptnummer/Reihe:
62047
Artikeldetails
- Edition: 1.0
- Umfang: 45 Seiten
- Sprache: Bilingual (EN/FR)
- Ausgabedatum: 2016-08
- Erscheinungsdatum: 2016-08-29
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