IEC 62047-49:2025
Norm
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 49: Temperature and humidity test methods for piezoelectric MEMS cantilevers
- Gültig
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Zuständiges Komitee:
Hauptnummer/Reihe:
62047
- Edition: 1.0
- Umfang: 8 Seiten
- Sprache: Englisch
- Ausgabedatum: 2025-11
- Erscheinungsdatum: 2025-11-25








