IEC 62047-53:2025
Norm
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 53: MEMS electrothermal transfer device
- Gültig
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Zuständiges Komitee:
Hauptnummer/Reihe:
62047
- Edition: 1.0
- Umfang: 14 Seiten
- Sprache: Englisch
- Ausgabedatum: 2025-10
- Erscheinungsdatum: 2025-10-02









