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1

Wafer-Herstellung piezoresistiver Kragbalkensensoren

Authors:
Bartuch, Herbert; Völlmeke, Stefan; Doering, Lutz; Brand, Uwe; Peiner, Erwin
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

2

Waferlevel-Vakuum gekapselte 2D-Mikrospiegel-Scanner für kompakte Laserprojektions-Displays im Automobil

Authors:
Hofmann, Ulrich; Baumann, Sönke; Oldsen, Marten; Janes, Joachim; Wagner, Bernhard
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

3

4

Wellenleiterkoppler für die mikrointerferometrische Aktorregelung

Authors:
Kornfeld, Andreas; Kolleck, Christian; Ostendorf, Andreas
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

5

Wildau-Life Manufacturing Center

Authors:
Wolter, Nick; Böhme, Andrea; Kowolik, Jan; Lietzau, Kai-Henning; Edel, Carl-Heinz; Foitzik, Andreas
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

6

Wissenstransfer über Ausbildungsnetzwerke am Beispiel des „Ausbildungsnetzwerk Hochtechnologie Berlin“

Authors:
Schütz, Thorsten
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009