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1

Konzept und Fertigung von Komponenten eines ferrofluidischen Mikroaktors

Authors:
Hoheisel, Dominik; Schultheis, Thanin; Schultheis, Thanin; Molella, Luca Spani; Reithmeier, Eduard; Reithmeier, Eduard; Rissing, Lutz
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

2

Kostengünstige Fertigung großflächiger Druckköpfe durch Lamination von Trockenlacken auf vorstrukturierte Polymersubstrate

Authors:
Kalkandjiev, Kiril; Gutzweiler, Ludwig; Zengerle, Roland; Koltay, Peter; Koltay, Peter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

3

Kostengünstige und ressourceneffiziente Herstellung flexibler Leiterplatten, RFID-Antennen und Biosensoren mittels Plasma Printing & Packaging Technologie

Authors:
Borris, Jochen; Thomas, Michael; Dohse, Antje; Lachmann, Kristina; Hochsattel, Torsten; Weidlich, Ernst-Rudolf; Klages, Claus-Peter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

4

Kostengünstiges zweiachsiges hochgenaues Inklinometersystem

Authors:
Schwenck, A.; Kück, H.; Mayer, V.; Pojtinger, A.; Philipp, N.; Remer, U.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

5

Labor im Zentrifugenröhrchen zur dezentralen patientennahen Diagnostik (EasyTube)

Authors:
Steigert, Juergen; Stetten, Felix von; Paust, Nils; Kloke, Arne; Lorenz, Michael; Beller, Klaus; Sakka, Samir G.; Detmers, Jan; Daub, Martina
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

6

Laser-Mikroschneiden von schrägen Durchkontaktierungen

Authors:
Kagerer, Markus; Behlert, Regine; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

7

Lessons learnt - Erfahrungen bei der Entwicklung mit Elementen der Mikro- und Nanotechnologie

Authors:
Herrnsdorf, Johannes
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

8

LIGA - Neues von Tiefenlithographie und Abformung

Authors:
Schulz, Joachim; Lemke, Stephanie; Schulz, Joachim; Mohr, Juergen; Voigt, Anja; Walter, Marco; Worgull, Matthias
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

9

Lokale Modifikation dielektrischer Eigenschaften von glaskeramischen Hochfrequenzsubstraten

Authors:
Bittner, Achim; Schmid, Ulrich
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

10

Lokales Mikroschweißen als post-process Technologie zur permanen-ten Reduzierung des Elektrodenabstandes von HARMS

Authors:
Nowack, Markus; Leidich, Stefan; Reuter, Danny; Kurth, Steffen; Küchler, Matthias; Bertz, Andreas; Gessner, Thomas
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

11

Magnetische Mikrosysteme in Industrie-, Automobil- und Raumfahrtanwendungen

Authors:
Slatter, Rolf
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

12

Magnetisches Nanoaktorsystem

Authors:
Hartbaum, J.; Jakobs, P.; Leiste, H.; Kohl, M.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

13

Magnetpartikel-basiertes Mikrosystem zum magnetoresistiven Schnellnachweis Sepsis-relevanter Pathogene

Authors:
Sandetskaya, Natalia; Carstens, Cornelia; Gärtner, Claudia; Zilch, Christian; Lorenzen, Maren; Nachsel, Roman; Pötter, Harald; Kuhlmeier, Dirk
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

14

Materialcharakterisierung eines komplexen Metallschichtstapels für einen monolithisch-integrierten RF-MEMS Schalter

Authors:
Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Kurth, S.; Erler, B.; Tillack, B.; Tillack, B.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

15

Materialintegrierte Sensorschicht basierend auf Quantum-Dot- Lumineszenz

Authors:
Martin, Jörg; Piasta, Doreen; Kießling, Torsten; Otto, Thomas; Gessner, Thomas; Staudinger, Ulrike; Demir, Emrah; Pötschke, Petra; Voit, Brigitte
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

16

Mechanical Stress Measurements with the microDAC Stress Chip

Authors:
Schindler-Saefkow, F.; Schindler-Saefkow, F.; Rose, F.; Otto, A.; Rzepka, S.; Wunderle, B.; Wunderle, B.; Michel, B.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

17

Membran- und Cantileverherstellung mittels ICP-Kryo-Tiefenätzverfahren aus Silizium-Bulk-Material

Authors:
Merzsch, S.; Wasisto, H. S.; Waag, A.; Peiner, E.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

18

MEMS in Global Volume Markets - Opportunities and Risks

Authors:
Finkbeiner, Stefan
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

19

MEMS Strömungssensoren für die Notfallbeatmung

Authors:
Hedrich, F.; Billat, S.; Storz, M.; Kattinger, G.; Dietz, F.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

20

Messanordnung zur Optimierung mechanischer Spannungen an Siliziumsensoren

Authors:
Strutzberg, H.; Geiler, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011