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1

Mikrosensorsystem auf Basis paralleler integriert-optischer Mach-Zehnder-Interferometer in neuartigem Polymer

Authors:
Sieber, Heinrich; Boehm, Hans-Jürgen; Schüle, Sven; Hollenbach, Uwe; Mohr, Jürgen; Ostrzinski, Ute; Pfeiffer, Karl
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

2

Mikrostanzen - Einsatz von einkristallinem Silizium als Werkzeugwerkstoff für Schneidprozesse von dünnen Folien

Authors:
Becsi, L.; Hildering, S.; Mescheder, U.; Engel, U.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

3

Mikrostrukturierter Plasmareaktor für Atmosphärendruck-Brennstoffreformierung

Authors:
Marchesseault, Andrew; Büttgemach, Stephanus
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

4

Mikrosysteme auf Basis der Mehrkomponentenmikrospritzgießtechnologie

Authors:
Schulze, Robert; Heinrich, Michael; Wegener, Michael; Schüller, Martin; Kroll, Lothar; Gessner, Thomas; Gessner, Thomas
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

5

Mikrotechnisches Sensorsystem zur Bestimmung des absoluten Feuchtegehalts von Gasen

Authors:
Kunze, M.; Merz, J.; Kattinger, G.; Ashauer, M.; Zengerle, R.; March, B.; Steinke, A.; Hummel, W.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

6

Mikrothermoformen und Mikroblasformen nanostrukturierter Polymerfilme - Replikationsverfahren zur Mikro-Nano-Integration

Authors:
Heilig, Markus; Schneider, Marc; Hamm, Veronika; Dinglreiter, Heinz; Worgull, Matthias
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

7

Miniaturisierte Signal-Schaltmatrix auf Basis von bistabilen Mikrorelais

Authors:
Staab, Matthias; Büttgen, Christoph; Riemer, Darina; Schlaak, Helmut F.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

8

Miniaturisierte Wolter-Optiken für harte Röntgenstrahlen

Authors:
Last, A.; Marschall, F.; Mohr, J.; Nazmov, V.; Simon, M.; Vogt, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

9

Mittels Nanostrukturierung optimierte Bimorph-Biegeaktoren großer Auslenkung

Authors:
Müller, Lutz; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

10

Mittelstand in der Mikrosystemtechnik - veränderte Rahmenbedingungen erfordern neue Kooperationskonzepte

Authors:
Kleinkes, Uwe
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

11

Mobile Diagnostiksysteme: Aktuelle Herausforderungen

Authors:
Hartwig, Kristina; Seydack, Matthias
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

12

Modular Adaptierbare Mikrooptische Systeme für die Mess- und Nachrichtentechnik

Authors:
Schüle, S.; Hengsbach, S.; Sieber, H.; Müller, F.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Leuthold, J.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

13

Monolothisch integrierte GMR/TMR Sensoren für Automobilanwendungen

Authors:
Zimmer, J.; Bever, T.; Raberg, W.; Schmitt, S.; Prügl, K.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

14

mst-Netzwerk Rhein-Main e.V. - Steigerung der regionalen Wertschöpfung durch Forschungskooperationen und nachhaltige Vernetzung

Authors:
Slatter, R.; Ralle, T.; Schlaak, H. F.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

15

Multielektroden Array mit Elektroden aus Kohlenstoff Nanoröhren für die extrazelluläre Ableitung von Aktionspotentialen

Authors:
Nick, C.; Nick, C.; Joshi, R.; Schlaak, H. F.; Schneider, J. J.; Thielemann, C.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

16

Multisensormodul für die Mikroverfahrenstechnik

Authors:
Frank, Thomas; Brokmann, Geert; Herbst, Steffen; Steinke, Arnd
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

17

Neuartige hochohmige Dünnschicht-Folien-DMS für Wireless Condition Monitoring

Authors:
Fellner, T.; Wilde, J.; Zeiser, R.; Jörger, T.; Törk, M.; Reindl, L.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

18

Neuartiges Frequenz- und Amplitudenabstimmbares Infrarotfilter

Authors:
Specht, H.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Ebermann, M.; Neumann, N.; Gittler, E.; Geßner, T.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

19

Neuartiges Mikroventil mit dielektrischen Elastomeraktoren für den Einsatz in einem Mikrobrennerarray

Authors:
Schlosser, M.; Flittner, K.; Ionescu, E.; Toma, L.; Riedel, R.; Schlaak, H. F.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

20

Neue Bearbeitungsstrategie und Fügetechnik für mikrooptische Bauteile und Systeme

Authors:
Wagner, Mario; Dilger, Klaus
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011