1
Gehäusetechnologien für SAW-Filter, MEMS-Mikrofone und Drucksensoren
Authors:
Feiertag, Gregor; Waber, Tobias; Bauer, Christian; Krüger, Hans; Leidl, Anton; Pahl, Wolfgang; Seitz, Stefan
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
2
Gemeinsame Entwicklungsthemen für Halbleiterhersteller und ihre Zulieferer in Deutschland
Authors:
Schellenberger, Martin
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
3
Gitterstrukturen mit hohem Aspektverhältnis für eine neuartige auf Phasen- und Dunkelfeldkontrast beruhende Röntgenbildgebung
Authors:
Meiser, Jan; Kunka, Danays; Meyer, Pascal; Koch, Frieder; Amberger, Maximilian; Schulz, Joachim; Walter, Marco; Mohr, Jürgen
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
4
Gold-Nanodrähte auf Mikroelektroden zur extrazellulären Ableitung elektrogener Zellen
Authors:
Nick, C.; Quednau, S.; Sarwar, R.; Thielemann, C.; Schlaak, H. F.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
5
Herausforderungen für die Anwendung von kontaktfreien Dosiertechniken in in-vitro Diagnostik (IVD) Analysesystemen
Authors:
Losleben, Nadine; Spinke, Jürgen; Zengerle, Roland; Oranth, Norbert
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
6
Herstellung einer Messküvette als Teil eines Messsensors für Echtzeit Ölqualitätsmessungen
Authors:
Günschmann, Sabine; Mannebach, Horst; Steffensky, Jörg; Fischer, Michael; Müller, Jens
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
7
Herstellung eines preiswerten, bistabilen Mikroventils mit niedriger Ansteuerspannung
Authors:
Barth, A.; Krabbe, S.; Schomburg, W. K.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
8
Herstellung ferroelektrischer Dünnschichten mittels direkter UV-Lithografie
Authors:
Benkler, Manuel; Paul, Florian; Hanemann, Thomas
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Herstellung textilverstärkter Verbundbauteile mit strukturintegrierten Sensornetzwerken
Authors:
Heinig, Andreas; Weder, Andreas; Fischer, Wolf-Joachim
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10
Herstellung und Charakterisierung einer piezoelektrisch aktuierten bidirektionalen Polymer-Mikropumpe
Authors:
Feth, H.; Pothof, F.; Thoma, F.; Mueller, C.; Schmidt, T.; Goldschmidtboeing, F.; Woias, P.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
11
Herstellung und Charakterisierung von mikrofluidischen Strukturen für die Analyse von hochdichten Peptidarrays
Authors:
Schillo, S. M.; Fischer, A.; Huang, S.; Hahn, K. L.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
12
Herstellung von robusten und kostengünstigen Nickel-Wanderkeilaktoren
Authors:
Lämmle, D.; Schlosser, M.; Schlaak, H. F.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
13
Herstellung von SiC-Dünnschichten in einem Hochtemperatur-PECVD-Verfahren und deren piezoresistive Eigenschaften
Authors:
Jakovlev, Oleg; Fuchs, Tino; Seidel, Helmut
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Heterogeneous 3D Integration for Smart Systems
Authors:
Wolf, Juergen; Lang, Klaus-Dieter
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
15
Hoch dehnungsempfindliche Ni:a-C:H-Widerstandsschichten auf Polyimidfolie
Authors:
Pelt, T.; Probst, A.-C.; Bieck, W.; Clos, H.; Uhlig, S.; Schultes, G.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
16
Hoch-integrierte hermetische Durchführungen - Designaspekte und Zuverlässigkeit
Authors:
Ordonez, Juan; Bentler, Christian; Keller, Mark; Schuettler, Martin; Stieglitz, Thomas
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Hocheffiziente Leistungsverstärker für drahtlose Kommunikationssysteme
Authors:
Paulo, Robert; Wolf, Robert; Fritsche, David; Ihle, David; Kreißig, Martin; Schulze, Johannes; Tzschoppe, Christoph; Ellinger, Frank
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Hocheffizienter piezoelektrischer Mikrospiegel mit hohen Frequenzen und Amplituden
Authors:
Gu-Stoppel, Shanshan; Janes, Joachim; Quenzer, Hans-Joachim; Hofmann, Ulrich; Benecke, Wolfgang
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Hochempfindliche Drucksensoren mit lasergerechter Messbrückenanordnung
Authors:
Göttel, D.; Cerino, M.; Schultes, G.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Horizontales Wachstum von mehrwandigen Kohlenstoffnanoröhren in Mikrogräben in Mikrosystemtechnik
Authors:
Riekeberg, S.; Nawaz, A. S.; Trieu, H. K.; Müller, J.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen