1
Thermisch leitfähige Polymer-Keramik-Komposite für den Tintenstrahldruck
Authors:
Graf, Dennis; Jung, Judith; Hanemann, Thomas
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
2
Thermisch und elektrisch optimiertes Leiterplatten-Prepackage für 100V/100A GaN Leistungshalbleiter
Authors:
Huesgen, Till; Sharma, Ankit Bhushan; Weimer, Julian; Koch, Dominik; Kallfass, Ingmar
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
3
Transfer Printable 64 Gbps Lumped Driver for Optical Communication
Authors:
Inac, Mesut; Fatemi, Adel; Gerfers, Friedel; Malignaggi, Andrea
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
4
Transparente Fotodiode für ein Stehende-Wellen-Interferometer
Authors:
Moeller, Christian; Klein, Thomas; Brandel, Julia; Winzer, Andreas T.; Ortlepp, Thomas
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
5
Two-Photon Lithography Parameter Study for Manufacturing of Acoustic Metamaterials on MEMS
Authors:
Schweiger, Severin; Melnikov, Anton; Koch, Sandro G.; Schenk, Harald
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
6
Vapor HF Etching Based Surface Micromachining Process for Fabricating a Micromechanical Sterilization Cycle Counter
Authors:
Vora, Riddhesh; Spies, Irina; Hoffmann, Daniel; Trautner, Heiko; Blattert, Christoph; Dehe, Alfons
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
7
Vergleich der Plasmastrukturierbarkeit von Materialien mit sehr geringer thermischer Ausdehnung
Authors:
Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
8
Vier-Level-Mikro-Via-Technologie (4LμV) für die ASIC-Integration in aktive flexible Sensorfolien
Authors:
Zhou, Maolei; von der Heide, Chresten; Passlack, Ulrike; Hanka, Kevin; Harendt, Christine; Kaiser, Alexander; Dietzel, Andreas
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
9
Wafer-level fabrication of an EWOD-driven micropump
Authors:
Phi, Hai Binh; Bohm, Sebastian; Runge, Erich; Strehle, Steffen; Dittrich, Lars
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
10
Waferlevel Hermetizitätstest für Drucksensoren
Authors:
Elsinger, Georg; Sgouridis, Sokratis; Tuma, Anton; Aschauer, Elmar; Plank, Harald
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
11
Whispering Gallery Resonators with diffractive coupling elements
Authors:
Behrens, Arne; Fesser, Patrick; Bosch, Marti; Hentschel, Martina; Sinzinger, Stefan
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
12
“Safety Valve”: A Metal-Based, Self-Securing Switchable Microvalve for Medical Applications
Authors:
Durasiewicz, Claudia Patricia; Hoelzl, Wolfgang; Schrag, Gabriele
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress