1
Development of test chips for electrochemical analysis
Authors:
Hild, Olaf R.; Kurth, Eberhard; Sauer, Bodo; Graf, Alexander; Krause, Robert; Gogoi, Eshanee
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
2
Die MRD Disk: Automatisiertes Monitoring Minimaler Resterkrankung durch hochsensitive, zentrifugal-mikrofluidische Multiplex-qPCR
Authors:
Juelg, Peter; Kipf, Elena; Specht, Mara; Menges, Julian; Fillies, Marion; Eckert, Cornelia; Paust, Nils; Zengerle, Roland; Lehnert, Michael; Hutzenlaub, Tobias
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
3
Dielectric Properties of Plasma Oxides for Microfabricated Ion Traps
Authors:
Zesar, Alexander; Schoenherr, Helmut; Sieberer, Michael; Seebacher, David; Roessler, Clemens; Schueppert, Klemens; Aschauer, Elmar; Hadley, Peter
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
4
Dimensioning and characterisation of an EWOD-driven chipintegrated micropump using time-resolved simulations
Authors:
Bohm, Sebastian; Phi, Hai Binh; Moriyama, Ayaka; Dittrich, Lars; Runge, Erich
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
5
Direktabgeschiedene Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen für erhöhte Temperaturen
Authors:
Ottermann, Rico; Klaas, Daniel; Dencker, Folke; Hoheisel, Dominik; Rottengatter, Peter; Kruspe, Thomas; Wurz, Marc Christopher
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
6
Direktes Schreiben von magnetischen Mikroaktoren
Authors:
Geid, Nicolas; Prucker, Oswald; Rühe, Jürgen
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
7
Effect of Surface Roughness on the Adhesion of PECVD coated Silicon-Carbide Thin-films on (110) monocrystalline-Silicon Wafer
Authors:
Khazi, Isman; Kovacs, Andras; Mescheder, Ulrich
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
8
Efficient and cost-effective manufacturing of nanostructures with high aspect ratios using Soft UV-Nanoimprint Lithography with bi- and trilayer resist systems
Authors:
Handte, Thomas; Scheller, Nicolas; Dittrich, Lars; Thesen, Manue W.; Messerschmidt, Martin; Sinzinger, Stefan
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
9
Effiziente Plasmastrukturierung komplexer Gläser mit polymeren Resistmasken durch statistische Versuchsplanung
Authors:
Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Akkad, Mohammad; Strehle, Steffen
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
10
Ein auf ferroelektrischer Polarisationsinversion in AlScN basierender Doppellagen MEMS-Aktuator
Authors:
Kreutzer, Tom-Niklas; Fichtner, Simon; Wagner, Bernhard; Lofink, Fabian
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
11
Ein Prozess-Integrierendes Clustertool für 2D-Materialsysteme: vom Einzelprozess zur Integration auf Waferlevel
Authors:
Hoffmann, Martin; Awakowicz, Peter; Devi, Anjana; Schulze, Julian; Freyer, Benjamin; Witek, Helmut; Bock, Claudia
Conference:
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12
Ein tragbares, automatisiertes All-in-One-Mikrofluidiksystem mit 3D-gedrucktem Chip und neuartigem Fluidsteuerungsmechanismus
Authors:
Zhang, Yushen; Tseng, Tsun-Ming; Schlichtmann, Ulf
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
13
Einstellbare Prismen mit Glas-Luft Interface: Ein Vergleich verschiedener Aktuierungsmethoden
Authors:
Weber, Pascal M.; Lemke, Florian; Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
14
Electrical properties of functional Y2O3 films applied to thin film transistors
Authors:
Berning, Thomas; Beer, Sebastian; Boysen, Nils; Devi, Anjana; Bock, Claudia
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
15
Energieautarker Beschleunigungssensor mit Maximalwertspeicher
Authors:
Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin
Conference:
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16
Enhancing the performance of piezoelectric energy harvesters by integrating AlScN piezoelectric thin film
Authors:
Dankwort, Torben; Yarar, Erdem; Gruenzig, Sven; Gojdka, Bjoern; Fichtner, Simon; Lofink, Fabian
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
17
Entwicklung eines kalorimetrischen Zweidraht-Massenflusssensors für Wasser auf Basis von Glassubstraten
Authors:
Laske, Norman; Lisec, Thomas; Knieling, Thomas; Wille, Gunnar; Blohm, Lars
Conference:
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18
Entwicklung eines skalierbaren FOWLP AiP Moduls für 5G und mm-Wellen MIMO-Anwendungen
Authors:
Mueller, Friedrich; Braun, Tanja; Le, Thi Huyen; Rossi, Marco; Schwanitz, Oliver; Ndip, Ivan; Hoelck, Ole; Becker, Karl-Friedrich; Boettcher, Mathias; Schiffer, Michael; Aschenbrenner, Rolf; Voitel, Marcus; Schneider-Ramelow, Martin; Wieland, Marcel; Goetze, Christian; Trewhella, Jean; Berger, Daniel
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Entwurf einer CMOS-integrierten, rauscharmen Stromausleseschaltung mit niedriger Eingangskapazität für die medizinische Diagnostik via biologischer Nanoporen
Authors:
Amayreh, Mohammad; Elsaegh, Samar; Butz, Natalie; Kuderer, Markus; Manoli, Yiannos
Conference:
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20
Erweiterung des Einsatzbereiches von laserstrukturierten 3D-MID durch die Verwendung von keramischen Substratmaterialien
Authors:
Schilling, Alexander; Ninz, Philipp; Petillon, Simon; Weser, Sascha; Knöller, Andrea; Eberhardt, Wolfgang; Günther, Thomas; Kern, Frank; Zimmermann, Andre
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress