Bistabiles Schalten mit einem thermoelektrisch getriebenen thermopneumatischen Aktuator
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt
Autoren:
Huesgen, Till; Ruhhammer, Johannes; Woias, Peter (Universität Freiburg – IMTEK, Lehrstuhl für Konstruktion von Mikrosystemen, Freiburg, Deutschland)
Inhalt:
Dieses Paper stellt einen neuartigen bistabilen thermopneumatischen Aktuator mit integriertem Peltierkühler vor. Das Konzept hat einige Vorteile gegenüber herkömmlichen thermopneumatischen Aktuatoren: Durch aktives Kühlen werden kürzere Ansprechzeiten realisiert. Ausserdem ist eine Membranauslenkung in positiver wie negativer Richtung möglich, was bistabiles Schalten erlaubt. Basierend auf einem Polymer-Waferbondprozess werden die mikro-miniaturisierten Peltierkühler integriert. Ein Demonstrator wurde hergestellt und getestet. Der Membranhub beträgt 41 µm und eine Schaltfrequenz von 3.8 Hz wurde erreicht.