Bestimmung von Pull-in-Parametern in nanoelektromechanischen Anordnungen
Conference: ANALOG '06 - 9. ITG/GMM-Fachtagung
09/27/2006 - 09/29/2006 at Dresden, Germany
Proceedings: ANALOG '06
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Haase, Joachim (Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen/Außenstelle EAS, Dresden)
Abstract:
Das Pull-In-Verhalten ist von elektromechanischen Anordnungen bekannt. Es wird beispielsweise in Aktuatoren der Mikrosystemtechnik ausgenutzt. Beim Übergang zu Abmessungen im Nanometerbereich sind zusätzliche Kräfte zu berücksichtigen. Ein Beispiel sind die durch quantenmechanische Fluktuationen zu erklärenden Casimir-Kräfte. Die Regeln zur Beschreibung von Pull-In-Phänomenen ändern sich dadurch. Im Beitrag wird ein systematisches Vorgehen zur Bestimmung von Pull-In-Parametern vorgestellt und auf Beispiele für nanoelektromechanische Anordnungen angewendet.