Monolithische Integration von Organischen Leuchtdioden und Photodioden auf einem Chip für Sensorikanwendun
Conference: ANALOG '08 - Entwicklung von Analogschaltungen mit CAE-Methoden - Schwerpunkt: Constraint-basierte Entwurfsmethoden - 10. GMM/ITG-Fachtagung
04/02/2008 - 04/04/2008 at Siegen
Proceedings: ANALOG '08
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kreye, Daniel; Vogel, Uwe; Bunk, Gerd; Reckziegel, Sven; Törker, Michael; Amelung, Jörg (Fraunhofer IPMS, Dresden, Deutschland)
Abstract:
Die Integration von organischen Leuchtdioden (OLED) in den CMOS-Prozess als Nach-Prozessierungsschritt bietet im Zusammenwirken mit CMOS-Photodioden zahlreiche Anwendungen für stark miniaturisierte optische Sensor-Aktor-Systeme. Dabei können Treiber-Elektronik für die organischen Leuchtdioden sowie Auswerte- und Verstärkerschaltung für die Photodioden integriert realisiert werden, wodurch Kosten für Aufbau- und Verbindungstechnik eingespart werden können und das System sehr kompakt und mit geringen Abmessungen realisiert werden kann. Die Verwendung von hocheffizienten OLEDs mit geringen Betriebsspannungen (3,2V für 1000 Cd/m2) ermöglicht die Integration in beliebige CMOS-Prozesse ohne Hochvolt-Bauelemente. Ausgehend von den notwendigen Prozess-Schritten für die Integration der OLEDs in CMOS-Prozesse werden ein Reflex-Sensor, ein Partikelflusssensor sowie ein bidirektionales Mikrodisplay (integriertes Display + Kamera) als Anwendungen solcher Systeme beschrieben.