Miniaturisierte piezoelektrische Wandler
Conference: Energieautarke Sensorik - 5. GMM-Workshop: Mikrosensorik mit autarker Energieversorgung und drahtloser Signalübertragung
11/12/2008 - 11/13/2008 at Düsseldorf
Proceedings: Energieautarke Sensorik
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kühne, Ingo; Frey, Alexander (Siemens AG, Corporate Research & Technologies, München, Deutschland)
Marinkovic, Djordje (Helmut Schmidt Universität, Lehrstuhl für Elektrische Messtechnik, Hamburg, Deutschland)
Seidel, Helmut (Universität des Saarlandes, Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik / Mikroaktorik, Saarbrücken, Deutschland)
Abstract:
In der vorliegenden Arbeit werden miniaturisierte piezoelektrische Wandler für den Einsatz in energieautarken Mikro-systemen näher beleuchtet. Hierzu wird als Einstieg kurz das Phänomen der Piezoelektrizität aufgegriffen. Anschließend wird das resonante Wandlerprinzip vorgestellt. Hierbei werden vibrationsbasierte piezoelektrische Wandler als elektro-mechanisch gekoppelte Feder-Masse-Systeme betrachtet. Des Weiteren wird ein Blick auf den Stand der Technik gewor-fen mit der Unterscheidung sowohl zwischen resonanten und nicht-resonanten als auch zwischen mesoskopischen und mikromechanischen (MEMS) Energiewandlern. Zu guter Letzt wird der eigens entwickelte MEMS-Membranwandler vorgestellt, der eine Alternative zu den bisherigen MEMS-Biegebalkenstrukturen darstellt.