OFW Funktechnologie für Hochtemperatur-Anwendungen

Conference: Energieautarke Sensorik - 5. GMM-Workshop: Mikrosensorik mit autarker Energieversorgung und drahtloser Signalübertragung
11/12/2008 - 11/13/2008 at Düsseldorf

Proceedings: Energieautarke Sensorik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Eisele, David; Jäger, Thomas; Shrena, Ismail; Mayer, Elena; Reindl, Leonhard (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Institut für Mikrosystemtechnik – IMTEK, Lehrstuhl für Elektrische Mess- und Prüfverfahren, Freiburg, Deutschland)

Abstract:
Für energieautarke Sensorsysteme unter erschwerten industriellen Bedingungen bietet sich die passive drahtlose Oberflächenwellen (OFW) Technologie an, die außerhalb der Grenzen der Halbleitertechnik arbeiten kann. Nach einer kurzen Einführung in das Funktionsprinzip wird am Beispiel der Hochtemperatur-OFW-Sensorik in diesem Beitrag auf die Möglichkeiten und Grenzen der OFW Funksensorik eingegangen. Weiterhin wird über aktuelle Forschungen und Ergebnisse bezüglich Piezomaterial Langasit, einem Hochtemperatur beständigem OFW-Material berichtet. Dies beinhaltet aus Messungen extrahierte akustische Eigenschaften bis 750 °C.