Nanorobotische Handhabung zum Aufbau von prototypischen CNT-basierten Mikrobauteilen im Rasterelektronenmikroskop

Abstract:
Für die Handhabung und Charakterisierung einzelner Kohlenstoffnanoröhren hat sich der Einsatz von nanorobotischen Systemen im Rasterelektronenmikroskop (REM) als eines der aussichtsreichsten Verfahren erwiesen. In diesem Beitrag werden Mikrogreifer-basierte Handhabungsstrategien vorgestellt, die eine reproduzierbare Manipulation von einzelnen CNTs erlauben und dadurch den Aufbau von prototypischen CNT-basierten Mikrobauteilen ermöglicht. Als Beispiel wird die Herstellung von AFM-Cantilevern mit verfeinerter CNT-Messspitze beschrieben. Kritische Sequenzen bei der teleoperierten Handhabung, wie z.B. die Annäherung von Greifer und CNT, werden dabei von einer flexiblen Bildverarbeitungssoftware unterstützt, die Algorithmen für die Objektverfolgung und Tiefendetektion zur Verfügung stellt. Die vorgestellten Handhabungsstrategien und Bildverarbeitungsverfahren bilden die Basis für eine Automatisierung von Nanohandhabungsprozessen.