Flüssigkeitsbasierte Mikromontage mit Nanostrukturen

Abstract:
Die Handhabung, Positionierung und Montage von Mikrochips, welche kleiner als 500 µm sind, stellen eine Herausforderung für die industrielle Produktion dar. In den dargestellten Forschungsarbeiten zur Mikro-Nano-Integration wird die flüssigkeitsbasierte Montage von Mikrochips, welche auf Effekten der Selbstorganisation beruht, behandelt. Diese Selbstorganisation wird durch den Einsatz von Flüssigkeiten sowie mikro- und nanostrukturierten Oberflächen erreicht und stellt eine Erweiterung und Alternative zum gängigen Pick-and-Place-Verfahren dar. Im Rahmen der Untersuchungen wurden Simulationen, Experimente und mathematische Berechnungen durchgeführt um eine optimale Dimensionierung der strukturierten und konträren Oberflächenbereiche zu ermitteln. Die Auswirkungen eines atmosphärischen Plasmas auf das Benetzungsverhalten einer Polykarbonatoberfläche wurden untersucht. Die benötigte Zeit für die Positionierung des Flüssigkeitstropfens, welcher die Ausrichtung des Mikrochips durchführt liegt im Bereich weniger Millisekunden.