Klebe- und klemmfreies Anschlusskonzept für mikrofluidische Systeme mittels nanostrukturierter Oberflächen
Conference: Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops
03/12/2009 - 03/13/2009 at Seeheim, Germany
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 2Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Stubenrauch, M.; Fröber, U.; Fischer, M.; Kremin, C.; Witte, H.; Hoffmann, M. (Institut für Mikro- und Nanotechnologien, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
Nanostrukturierte Siliziumoberflächen als mechanische Funktionselemente in Mikrosystemen eröffnen neue Konzepte zur Kopplung von Komponenten aus Silizium, Glas, Polymeren und Keramiken. Ein Verbindungsverfahren auf der Basis von ‚Black Silicon’-Siliziumnadeln und thermoplastischer Verformung wird hier vorgestellt. Damit können Standardelemente aus Labor und Industrie wie Schläuche oder Luer-Verbinder direkt an Silizium-Mikrosyteme angeschlossen werden. Flüssigkeitsdichte Koppelstellen mit Festigkeiten von bis zu 20 MPa sind dabei möglich.