TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Gerken, Anna; Paul, Johannes (Sensitec GmbH, Mainz, Deutschland)
Negulescu, Beatrice (Institute Jean Lamour, Universität Nancy, Vandoeuvre lès Nancy, Frankreich)
Duret, Christophe (SNR Bearings, Mechatronics, Annecy, Frankreich)

Abstract:
TMR-Sensoren bieten aufgrund ihrer hohen Sensitivität große Vorteile für verschiedenste Anwendungen, beispielsweise zur Positions- und Geschwindigkeitsmessung. Daher arbeitet die Sensitec GmbH im Rahmen zweier Kooperationsprojekte daran, TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen zu optimieren. Dabei werden zwei unterschiedliche Ansätze verfolgt: Zum einen wird ein auf Al2O3-Technologie basierender Sensor entwickelt, der eine lineare Kennline im Bereich von +/- 100 Oe bei einer Amplitude von 40% aufweist. Zum anderen wird an einem Schichtsystem auf der Basis von MgO-CoFeB gearbeitet, das weit höhere TMR-Amplituden verspricht. Bisher wurden mit diesem System TMR-Werte bis zu 100% bei Raumtemperatur erzielt.