Herstellung von 3-D Mikrospulen in einem effizienten MST-Prozess
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kratt, K.; Badilita, V.; Burger, T.; Wallrabe, U. (Universität Freiburg – IMTEK, Institut für Mikrosystemtechnik, Lehrstuhl für Mikroaktorik, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland)
Mohr, J.; Börner, M. (Forschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik)
Korvink, J. G. (Universität Freiburg – IMTEK, Institut für Mikrosystemtechnik, Lehrstuhl für Simulation)
Korvink, J. G.; Wallrabe, U. (Universität Freiburg, Freiburg Institute for Advanced Studies - FRIAS)
Abstract:
In diesem Artikel stellen wir ein effizientes, teilautomatisiertes und MST-kompatibles Herstellungsverfahren für dreidimensionale Mikrospulen vor. Die Höhe der Spule übersteigt dabei den Durchmesser um ein Vielfaches. Der Durchmesser der Spulen ist bis zu 100 µm klein. Die Spulen werden mit Hilfe eines automatischen Drahtbonders um Pfosten aus SU-8 und PMMA gewickelt. Die Anzahl der Wicklungen hängt dabei nur von der Pfostenhöhe ab. Neben Zylinderspulen wurden mit dem gleichen Verfahren auch Helmholtzspulen hergestellt.