MEMS Foundry - Erfordernisse und Herausforderungen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Merz, P.; Wagner, B.; Dudde, R.; Benecke, W. (Fraunhofer-Institut für Silizium Technologie ISIT, Fraunhoferstraße 1, 25524 Itzehoe, Germany)
Abstract:
Obwohl sich MEMS Foundries zwar produktionstechnisch aus der konventionellen Halbleitertechnologie ableiten, sind im Vergleich zu einer CMOS Foundry doch wesentliche Unterschiede im Geschäftskonzept erkennbar. Neben der Bereitstellung gängiger Standardtechnologien zeichnet sich eine MEMS Foundry insbesondere durch die Dienstleistung von produktorientierten Spezialprozessen ab. Zudem sind oftmals enge Kunden-Lieferanten Bindungen vorhanden. In dem Beitrag werden Eigenschaften einer MEMS Fabrikation aufgezeigt und wesentliche Erfordernisse und Herausforderungen einer MEMS Foundry erläutert.