Elektrische Charakterisierung und Bewertung von AVT Materialien für Hochfrequenz / High-Speed Anwendungen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Guttowski, Stephan; Maaß, Uwe; Ndip, Ivan (Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, IZM, Gustav-Meyer-Allee 25, 13355 Berlin, Germany)
Reichl, Herbert (Technische Universität Berlin, Straße des 17. Juni 135, 10623 Berlin, Germany)
Abstract:
Die Auswahl der Substratmaterialien für die Herstellung eines Mikrosystems hat großen Einfluss auf die elektrische Funktionalität, Zuverlässigkeit sowie den Fertigungsaufwand. Die Materialparameter können durch die Herstellungsverfahren und die Umgebungseinflüsse wie Temperatur und Feuchte beeinflusst werden. Durch Verwendung von planaren Teststrukturen können die Materialien mit den gleichen Verfahren hergestellt werden, wie sie auch in der späteren Anwendung zum Einsatz kommen.